Materials characterization by Auger electron spectroscopy sputter depth profiling
Karakterizacija materialov z Augerjevo elektronsko-spektroskopsko (AES) profilno analizo

angleški

2000

letnik 30, številka 4

AES   Augerjeva spektroskopija   karakterizacija materialov   naprševanje   polprevodniki   tanke plasti

Strokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale

Profilna analiza v kombinaciji ionskega jedkanja s spektroskopijo Augerjevih elektronov je postala zelo uporabno analitsko orodje v mikroelektroniki in na tistih področjih preiskav in tehnologij, kjer je pomembna kemična sestava površin, faznih mej in tankih plasti. Uporablja se za temeljne preiskave površin in faznih mej, kakor tudi za preiskavo tankoplastnih struktur za elektronske in mikroelektronske naprave, za obrabno in korozijsko obstojne prevleke, površine obdelane s plazemsko tehniko ali implantacijo, itd. Reakcije na površinah in z njimi povezane električne in mehanske lastnosti lahko razumemo samo, če so poznane ustrezne kemične in strukturne spremembe v tankoplastnih strukturah. To zahteva kvantitativno prostorsko ločljivo analizo in globinsko porazdelitev kemične sestave z veliko globinsko ločljivostjo. Pri tem moramo vedeti, da ionsko jedkanje ne predstavlja idealnega primera odstranjevanja plasti za plastjo, ampak je to rezultat kompleksne interakcije ionskega curka s preiskovanim vzorcem. Različni pojavi, od katerih sta najpomembnejša sprememba hrapavosti in sestave, povzročena z ionskim curkom, omejujejo eksperimentalno dobljeno ločljivost. V delu so obravnavani principi metode in njena zmogljivost ter omejitve. Uporabnost AES profilne analize v mikroelektroniki in na nekaterih drugih tehničnih področjih je ilustrirana z globinskimi profili karakterističnih vzorcev.

18.12.2015