URN:NBN:SI:DOC-KRFF67C82000Zalar, Antondocuments/doc/K/URN_NBN_SI_doc-KRFF67C8_001.pdfdocuments/doc/K/URN_NBN_SI_doc-KRFF67C8_001.txt304articlestr. 203-2090352-90452234964URN:NBN:SI:doc-KRFF67C8engStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCAESAugerjeva spektroskopijakarakterizacija materialovnaprševanjepolprevodnikitanke plastiKarakterizacija materialov z Augerjevo elektronsko-spektroskopsko (AES) profilno analizoMaterials characterization by Auger electron spectroscopy sputter depth profiling