Termična analiza tankih plasti
Thermal analysis of thin films

slovenski

2003

letnik 23, številka 1

tanke plasti   termična analiza   termogravimetrija   kalorimetrija    diferenčna dinamična kalorimetrija

Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije

Velikost optične modulacije nikeljskih tankih plasti je pri procesu obarvanja in razbarvanja močno odvisna od stopnje termične obdelave teh plasti. Premalo termično obdelane plasti se kmalu ne razbarvajo več popolnoma. Po drugi strani pa je optična modulacija plasti, ki so bile izpostavljene previsoki temperaturi, majhna. Tako je smiselno iskati optimalnl temperaturo in čas toplotne obdelave. V prispevku opisujemo optimizacijo elektrokromnega odziva nikeljoksidnih tankih plast, pripravljemih iz NiSOpod4 - prekurzorja po sol-gel postopku, s termogravimetrično analizo. Iz dinamičnih TG-meritev tankih plasti določimo temperaturo, iz izotermnih pa možni čas termične obdelave. Postopek omogoča pripravo termično različno obdelanih tankih plasti, pri katerih lahko spreminjamo razmerje med termično neobdelano amorfno fazo in nanokristaličnim nikljevim oksidom, ki nastaja med toplotno obdelavo. Elektrokromne lastnosti pripravljenih plast je nato treba določiti s spektroelektrokemijskimi merjenji.

16.09.2009