november 1983
GLASILO DRUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO SLOVENIJE
5
VSEBINA
1.	Vrstični elelctronski mikroskop
2,	Novi ionizaci^ski vakuumeter
5. IX. jugoslovanski vakuumski kongres - ZaR:reb 1983
4.	Delo JUVAK-a od 1979 do 1983
5.	^lani republiških društev izvoljeni v orisane JUVAK-a na skupSSini 15.lo.1983
6.	Vtisi z IX. mednarodnega vakuuraskef!;a kongrese - Madrid 1985
7.	Vakuumski merilnik z vrtežim se rotorjem
8.	Tečaj: "Tanke vakuumske plasti" - priprave in prva izvadba
9.	Koledar pomembnih prireditev
10.	Vabilo na tečaj: "Osnove vakuumske tehnike"
11.	Kratke novice, obvestila
VRSTIČNI ELEKTRONSKI MIKROSKOP
Let8il963 je znani raziskovalni inštitut naredil analizo tržišča z namenom, da bi ugotovili koliko vrstičnih elektronskih mikroskopov bi lahko prodali v ZDA. Napovedali so, da bi s prodajo treh do petih mikroskopov pokrili to tržišče in da bi bil trg z desetimi mikrosko-
pi zasičen. Čez deset let se je pokazalo, da so v ZDA prodali preko 12oo tovrstnih mikroskopov. Vprašanje je, zakaj so se raziskovalci tržišča zmotili? Mogoče ker so vprašali napačne ljudi, ki so predvidevali le majhno uporabo instrumentov, z ločljivostjo samo okrog
- ? -
2o Hin. Očitno 80 mnogi znanstveniki uvideli, da je informacija v sliki lahko važnejša kot ločljivost sama po sebi. Prav tako v mnogih hitro se razvi.jajonih tehnologijah raziskovalci vedno pogosteje potrebujejo informacije ir pravilno razlago dogajanj v dimenzijskem območju nikrometra ali še nanj. Eden od nepogrešljivih in najbolj udobnih pripomočkov za tovrstna opazovanja je tudi vrstični elektronski mikroskop.
Vrstični elektronski mikroskop ali angleško Scanning Electron Kicrosoop a kratico SEK, je naprava za preiskovanje mikrosveta, kjer s finim curkom elektronov preiskujemo površino vzorca toSko za točko. Bistvene komponente naprave so: elektronska puška, magnetne leče, odklonski sistem, detektorji signalov, ojačevalniki in TV-zaslon. Ves sistem od katode do vzorca ir detektorjev je evakuiran in tlak je okrog l.lo"^ CPa) = l.lo"5 mbar
Slika 1. Shema važnejših elecentov za nastanek slike v vrstičnem elektronskem mikroskopu. ZO zalonka objektiva; PD - polprevodniški detektor odbitih eleJrtronovj E-T - Everhart--Thornley detektor sekundarnih in odbitih elektronov; PP - fotopomnoževalka; V, E - valovno ali / in energijsko disperzivni detektor X-zar-kov; TV - TV zaslon; ABS - merilnik absorbira-nega toka^ GON - generator odklonskih napetosti; OT - odklonske tuljave.
Pomembno za nastanek slike je, da curek elektronov ne udarja na vzorec stalno v isti točki, temveč potuje po njem nekaj časa v določeni smeri; če je naslednja pot elektronskega curka nekoliko pod prejšnjo in naslednja zopet nekoliko pod prejšnjo, bo elektronsKi curek prepotoval določeno ploskev na vzorcu. Ker elektronski odklonski sistem mikroskopa in televizijskega zaslona vodi isti generator, odgovarja vsaki poziciji elektronskega curka'na vzorcu enskolezna pozicija na televizijskem zaslonu; če torej pri potovanju po vzorcu opiše curek pravokotni raster, se bo ustrezen raster pojavil tudi na TV zaslonu.
V vsaki točki na vzorcu sc elektronski curek raudi dolo>"en čas (r^ . Med tem r.aso-n hitri vpadni elektroni nekaterim ato;iiom izbijejo elektrone in jih vzbudijo. Atom je v vzbujenem stanju zelo kratek čas v primerjavi s časom (r), tako da je interakcija ele'<tronske-:a curka v tO'"ki končana takoj, ko jo elektronski curek ZBpusti. l'osle<lice prf^hoda elektrona v osnovno stanje so lahko:
-	visoko energetski elektroni (odbiti)
-	nizko energetski elektroni
-	Augerjevi elektroni
-	S-žarki
-	sevanje v UV, TR in vidnem delu spektra
2a tvorbo siijnala in nato slike, Inhko uporabimo vsakega od teh delcev (fotonov), lahko tudi več hkrati, Sf1 vsak nosi določeno informacijo o vzorcu.
bpremembe v signalu in s tem tudi kontrast (drugače je slika enakomerno svetla), dajo lahko sliki: topografija, sestava, kristalna
Slika 5., 5., f,., Posnetki nečistoče na čistem indiju z uporabo različnih signalov. Posnetki so narejeni po pretaljevanju v visokem vakuumu. Delec na sliki je v glavnen sestavljen iz MgO in SiOg. Slika 5., je posneta s sis;nalom odbitih elektronov iz E-T detektorja, ki je v smeri puščice. Sence so ostre in ni znakov nabijanja. Slika je posneta z istim E-T detektorjem s sifjnalom sekundarnih elektronov. Tudi tu je detektor v smeri puščice. Sence so majhne in niso ostre. IIa mestu A se pojavljajo znaki električnega nabijanja. Slika 5», je posneta s signalom odbitih elektronov iz polprevodr.iškega detektorja; tip signala je TOPO. Povdarjene so topo^jrafske spremembe. Slika 6., je posneta na enak način, le signal je tipa KOtiPO, očitna je sprememba v sestavi.
Slika 7. Posnetek s si^nalop^ odbitih elertro-nov na kristalu W. Kristalocrafskn orientacija kristala je u, 1,
Slika 8. Najprej smo po zpomjem električnem dovodu pripeljali v tranzistor napetost - 3 V proti okolici in posneli zgornji temnejši del slike, i:ato smo električno napetost odklopili in posneli še spodnji svetlejši del slike. Kontrast je nastal zaradi različnega električnega potenciala na določenih površinah na vzorcu.
zgradba, magnetni gradienti, ele)ctrični gradienti.
Povečavo dobimo, če je površina po kateri potuje elektronski curek manjša, kot površina Blike na TV zaslonu, Običajno imajo TV zasloni obliko kvadrata s stranico loo (mm) in če želimo lo-kratno povečavo mora elektronski curek potovati na vzorcu po rastru v obliki kvadrat» 8 stranico lo (mm); pri loooo-kratni povečavi pa po kvadratu a stranico o,l (mm).

i' WffiRCC


Petektor odbitih in sekundarnih elektronov
Tovrstni detektor je najboj uporabljan v vrstični elektronski mikroskopiji, Osnovni deli detektorja eo: kovinska mrežioa, fluorescentni zaslon, svetlobni vodnik In fotopomnoževal-ka.
Po definiciji imajo sekundami elektroni energijo manjšo od 5o (eV), odbiti elektroni pa imajo energijo večjo od 5o (eV); z električno napetostjo med vzorcem in mrežico izberemo vrsto elektronov, ki jih želimo detektirati. Če je mrežioa na potenicalu -5o (eV), se sekundami elektroni odklonijo in v detektor vstopajo samo odbiti elektroni, na katere ta napetost le malo vliva. Je je mrežica nabita pozitivno, pritegne detektor skoraj vse sekundarne elektrone in so odbiti v manjšini. Odbitih elektronov pride v detektor vedno le toliko, kolikor jih odleti v smeri detektorja. Med mrežico in fluorescentnim zaslonom je napetost okrog 12 (keV), tako da fluorescentni zaslon pri trku s temi elektroni sveti. Sproščena svetloba potuje po svetlobnem vodniku v foto-pomnoževalko, ki pretvori svetlobni signal v električni, s katerim krmilimo svetlost slike na TV ekranu. (Slika 3, 7, 8).
Cilici.iev P-N' polorevodniSki detektor odbitih elektronov
Detektor je P-N spoj, v katerem pod vplivom hitrih elektronov nastajajo pari elektron vrzel". Če na nasprotni strani spoja pritisnemo elektrodi zunanjega tokokroga, steče šibek električni tok. Primerno ojačan signal uporabimo za kontrolo svetlosti slike na TV ekranu. Običajno je ta detektor sestavljen iz dveh ločenih detektorjev postavljenih simetrično glede na vzbujevalni snop. V operacijski enoti lahko signala šeštejemo ali odštejemo. V prvem primeru dobimo sliko, kjer se pokaže predvsem razlika med področji z različno sestavo, v drugem primeru pa se pokažejo predvsem reljefne značilnosti vzorca. (Slika 5, 6).
Slika 2. Shema delovanja polprevodniškega detektorja odbitih elektronov. KOriPO - sprememba signala zaradi različne sestave vzorca; TOPO - sprememba signala zaradi topografskih sprememb.
Detektor UV. IR in vidne svetlobe
Nekateri vzorci sevajo svetlobo pod vplivom upadnih elektronov. Tovrstno sevanje detekti-rsuno direktno z fotopomnoževalko.
Detektor X-žarkov in elektronska mikroanal i y.a Sta opisana v vakuumistu št. seu, 19&2,
Priprava vzorcev za raziskave z vrstičnim elektronskim mikroskopom
Velika prednost vrstičnega elektronskega mikroskopa je v tem, da vzorce lahko preiščemo praktično brez predhodnih priprav, saj je SEK površinski raziskovalni pripomoček. Debelina vzorca ni važna kot v primeru transmisijskega elektronskega mikroskopa, kjer morajo biti vzorci tanjši od l^um. Velikost vzorca je omejena le z velikostjo vakuumskega recipients. Vzorci tudi ne smejo biti hlapni in biti morajo površinsko električno prevodni, če niso, naparimo nanje tanko prevodno plast (npr. ogljik, Al ali Au).
Kontrast v SEM
V splošnem se signala v dveh različnih točkah vzorca razlikujeta zaradi fizikalnih razlik pri interakciji curka hitrih elektronov z vzorcem ali pa je to posledica različnih vplivov na elektrone, ko zapuščajo vzorec, Ka ravnem vzorcu, ki je pravokoten na primaren snop elektronov in vsebuje področja, ki so v kemijski sestavi različna (npr. večfazna zlitina), opazimo odboj elektronov, ki je tem večji, čim večje je povprečno vrstno število elenentov v točki. Svetlost slike na zaslonu naravnamo ta-
ko, da 80 področja z največjim vrstnim številom bela, področja z najmanošim temna, ostala področja iraajo določen eiv ton, ki je sorazmeren povprečnemu vrstnemu številu elementov. Te vrste kontrast es Imenuje KOMPO.
Kontrast TOPO nastane zaradi topografije vzorca, če kontroliramo množino odbitih elektronov nad površinama, ki sta različno nagnjeni glede na vpadni curek elektronov, ugotovimo, da je izstopajočili elektronov veS na površini, ki je bolj navajena glede na vabujevalni enop elektronov. Pri opazovanju vzorca s signalom odbiti elektronov so temna vsa mesta, ki jih detektor ne vidi. Pri uporabi samo enega detektorja odbitih elektronov vplivata na kon-
trast slike oba efekta Kori-ü in 'rOFÜ, aedtem ko pri uporabi dveh detektorjev ta dva efekta lahko lojeno registrirano.
i-ri opazovanju vzorca s sekunilamimi elektroni so mesta obrnjena proti detektorju najsvetlejša, signal pa dobimo tudi iz področij, ki jih detektor neposredno ne vidi. Poleg tega dobimo s signalom sekundarnih elektronov informacijo iz površinskih slojev vzorca - iz približno lo x manjše globine kot s signalom odbitih elektronov; tudi ločljivost je z uporabo tega signala največja.
Peter Pavli
lEVT, Ljubljana
NOVI lOKIZACIJSKI VAKUUHMETEH
Prikazan je ionizacijski vakuummeter z Bayard-
-Alpertovo triodo za merjenje tlakov od 10"' —Q
do 10 mbar, lastne konstrukcije. Podane so glavne karakteristike in opis aparature.
1.	Uvod
Raziskovalno delo in tehnologije v ultra visokem vakuumu so v zadnjih letih narekovale razvoj lastnega merilnika za visoki in ultra visoki vakuum. Razvoj na področju elektronike je prinesel nove sodobne elemente, ki smo jih s pridom uporabili pri gradnji novega ionizacij-skega vakuummetra.
Čeprav ostaja klasična Bayard-Alpertova (BA) trioda še vedno najprimernejši "senzor", pa se je napajalni in ojačevalni del močno posodobil.
Gradimo prvo serijo takih merilnikov, za katere je veliko zanimanja.
Celotno delo je razdeljeno na tri dele: razvoj BA triode, elektronske merilne in napajalne enote.
2.	Razvoj glavnih sestavin ionizaci.lskega merilnika za visoki in ultra visoki vakuiun
2.1. Bayard-Alpert (BA) trioda EA triodo sestavljajo:
a) stekleno ohiške - balon s standardnim podnožjem OCTAL, ter provodi iz zlitine VAGON 10
b)	elektrodni sistem s samonosno mrežico (ano-do) iz volframa. Prednost samonosne mrežice (brez dodatnih vzdol?.nih opornikov) je predvsem v razmeroma enostavni mehanski izdelavi, pri razplinjevanju pa jo lahko segrejemo kar z elektrir^nim tokom. Tako dosežemo med razplinjevanjem temperaturo rrežioe looo do 12oo®C, ne da bi potrebovali močnejšo kato— do za bombardiranje z elektroni. Slaba lastnost pa je v tem, da mora biti mrežica izdelana iz debelejše žice, kar ina za posledico nanjšo prepustnost za elektrone in s tera tudi manjšo občutljivost elektronke. Tehnologija izdelave vključuje termično obdelavo mrežice, pri čemer je postopek rekristalizacije volframa najbolj zahteven. !'režica je nanire? primerna z8 vprsdnjo v 35A triodo le, če ie tako pripravljena, da se med razplinjevan.iem v vakuumu ne bo posedla, oz. kako druija'^e spremenila svoje oblike, kar je po;'.e;abno za točnost in ponovljivost meritev.
c)	Kolektor ionov je prav tako izdelan iz vol-framske žice. Imeti mora dobre mehanske lastnosti in prav tako kot mrežica ne sme spreminjati svoje oblike niti lege v triodnem sistemu.
d)	Katoda iz volframa mora imeti podobne mehanske lastnosti kot mrežica in kolektor.
2.1.1. Umerjanje BA triode
Naše BA triode smo umerili po metodi dinamiČ-
ne redukcije tlaka. Ta metoda se uporablja predvsem aato, ker ni absolutnih merilnikov za najnižje tlake, sekundarne noroiale pa so težko dosegljive.
Uporabljena metoda dinamične redukcije tlaka je primerna tudi za aktivne pline in v principu ni omejena proti nižjim tlakom. Navadno umerjamo ionizacijske merilnike na zrak, dušik ali argon. Za druge pline si običajno pomagamo s koeficienti relativne občutljivosti, ki so tabelirani v literaturi.
Umeritveno krivuljo za zrak, ki smo jo dobili po omenjeni metodi, prikazuje si. 1.
r(A)
}0 p (m bar)
Slika 1. Umeritvena krivulja BA. triode - določitev občutljivosti
Iz nje je razvidno, da umeritvene točke ležijo na premici le v področju med oznakama 1 in 2. To je uporabno področje za naše meritve, v katerem določimo občutljivost. Poprečna občutljivost naših BA triod je 5.51 mbar"^.
Netoda dinamične ekspanzije, ki nam je sicer omogočila točno določitev občutljivosti, pa ni bila primerna za kontrolo v širšem tlačnem področju} zato smo uporabili referenčni ionizacij-ski merilnik.
Kontrolni diagram prikazuje si. 2.
p (mhar)
Slika 2.: Kontrolni diagran - kontrola linearnosti v širšem tlačnem področju
Pri natančnih meritvah je bilo potrebno predhodno vakuumski sistem dobro pregreti (6 do 8 ur pri temperaturi 18o®C), 5A triodo pa dobro razpliniti. Le tako smo zagotovili točnost in ponovljivost meritev.
2.2. Elektronska merilna in napajalna enota
Pri izdelavi teh enot smo skušali doseči predvsem naslednje:
-	uporabiti čim manjše število sestavnih delov in enostavnih podsklepov ter s tem zagotoviti enostavnost in nizko ceno merilnika
-	uporabiti čim več domačega materiala
-	zagotoviti potrebno stabilnost elektronskega toka in anodne napetosti, s katerima je povezana tudi točnost meritve
-	izdelati čim enostavnejši in hkrati dovolj zanesljiv elektrometer za merjenje majhnih ionskih tokov
-	zaščititi elektronsko vezje pred okvarairi, ki bi nastale v primeru kratkih stikov na priključnih kablih, konektorjih ali v saryii merilni elektronki
-	preprečiti pregoretje vroče katode merilne elektronke v primeru nenadnega vdora zraka ali vklopa f^retja katode pri slabem vakuumu
Merilno in napajalno enoto sestavljajo tile podsklopi: mrežni del. stabilizator elektronskega toka, vezje za vklop in izklop gretja katode, elektrometer in elementi zaščite.
Pri izdelavi vseh teh podsklopov smo upoštevali vse navedene zahteve.
V podrobnosti raavoja merilne ir napajalne enote se v tem sestavku ne bomo epulfiali: prikazujemo le sliko aparature in detektorja

točnost meritve: i lo *
izhod za pisalnik: O do 10 V
elektronski tok:
-	nastavljiv v območju o,5 do 1,5 mA
-	stabilnost - 2
-	možnost zunanjega lo-iniljenja vklopa elektronskega toka
anodna napetost: " 2oo V (stabilnost boljša kot 1 %)
zaščita katode:
-	avtonataki izklop kurjave pri prekoračenju merilnega področja za 2oji
-	pri tlaku v področju lo~^ mbar je temperatura katode nižja. Elektronski tok je lo-
krat manjši kot na drugih področjih.
ter navajamo osnovne tehnične podatke:
- nlerilno območje: 5.1o~' do	mbar
(7 dekad)
Marko Pribošek dr.Jože Gasperič mgr.Bojan Po^
lEVT Ljubljana
IX. JUGOSLOVANKI VAKUUMSKI KONGRES ZAGREB - 1985
Zveza društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije (JITVAK) v povezavi s posameznim republiškim društvom že vrsto let organizira strokovne kongrese o uporabi vakuuma ter o znanosti in tehnikah, ki so vezane na vakuum. Dosedanji kongresi so se zvrstili takole: 1. - 1959 Ljubljana, 2. - 1964 Beograd, 3. - 1966 Zagreb, 4. - 1968 Bled, 5. - 1971 Portorož, 6. - Postojna, 7. - 1975 Beograd, 8. - 1979 Bled, 9. - 1985 Zagreb.
Letošnji IX. jugoslovanski vakuumski kongres je potekal v zagrebškem hotelu Internacional in sicer 14. in 15. oktobra 1983. Organizator je bil Društvo za vakuumsko tehniko Hrvaške v povezavi s Fakulteto aa strojništvo in brodo-gradnjo v Zagrebu ter s SOZD-om Rade fConžar, prav tako iz Zagreba.
Osrednji temi kongresa sta bili proizvodnja in merjenje vakuuma, ter vakuumske tehnologije. Skupno je bilo prijavljenih 53 referatov in sicer (prepis iz zbornika referatov - JUVAK Bilten 2o, ki je bil izdan že pred kongresom)«
1. M. V. Kurepa:
"Mjerenje paroijalnih pritisaka gasova i para"
2. B. Povh:
"Prevodnost odprtine pri realni namestitvi" 5. I- Belič, B. Jenko:
"Izčrpavanje in razplinjevanje ultra visoko vakuiunskega sistema s pomočjo računalnika"
4.	M. Pribošek, J. Gasperič, B, Povh: "Novi lonizaoijski vakuummeter"
5.	R. Zavašnik, J. Gasperič: "Vakuumska leak detekoija"
6.	M. Kajzer, N. Radiž, Z. Sternberg: "Ispitivanje i konstrukcija titanske subli-
macione pumpe"
7.	I. Naumovski:
"Mjerenje rezidualnog tlaka vakuumskih pre-kidnih komora magnetronskim postupkom"
8.	A. Gavrilovi5:
"Jonska implantacija u poluprovodniČkoj tehnologiji"
9.	N. J. Tanovič:
" Oeavršavanje optike ubrzanih snopova nae-lektrisanih čestica u sistemu za implanta-ciju
lo. B. Navinšek, A. Žabkar:
"Reaktivno ionsko prekrivanje materialov s titanovim nitridom in karbidom "
11. 12. 15.
14.
15.
16.
17.
18.
19.
20.
21. 22.
25.
24,
25.
A. Zalar:
"Analiza tankih plasti s spektroskopijo Anger,levih elelrtronov (AES)"
A. 7,alar, K. Kanaky, Ii. Prarpk: " Ugotavljan.je kemijskih spojin s spektroskopijo Augerjevih elektronov (AES)
K. Murko Jezovšek:
"Analiza kontaktnih površin hermetiänih kontaktnikov s spektroskopijo Augerjevih elektronov"
M. Jenko, E. Kansky, V. Nemanit?, E. Zavašnik: "Preiskave procesov na površini tekoJega indija"
H.	Zoro, K.Švenda, A. Peršin, V. Bartoliž: "Primjena višeslojnih interferenoionlh sistema u izradi zaititnih laserskih naočala
B- Nftvinšek:
"Priprava ultraSistih večplastnih struktur z enosmemita, reaktivnim in H? naprševan-jem"
T. M. Nenadovi6:
"Morfološke pronene u sistenima tankih slojeva"
T.Mihad, T.Diaiitrijevi6, N.Bibii, I.Nena-dovic:
"Doponovanje i karakterizacija Ni-2r sistema u vakuumu"
A.Banovec, M.Kern, K.Požun, S.Vrhovec: "Tankoplastni tenziometer"
T.Dimitrijevič, N.Bibič, M.MiloaavljeviS, T.Nenadovi^:
"Vakuumsko deponovanje tankih slojeva za solarne eelije"
K.Tasevski:
"Vakuumsko naparevanje kontaktov za sončne celice"
S.Lugonier, M.StipanSic, M.Kerenovid, M.Vrdoljak!
"Komparativna "IH SITU" študija rasta op-tičkih tankih slojeva nekih metalnih oksida"
J.Lirdav, A..^vajger:
"Vpliv spremembe parametrov naparevan.ia na optične lastnosti sloja"
M.Miliž, K.Popovič, V.Spasič, T.Nenadovič, T.Mihač:
"Vakuurosko deponovanje TiN za poboljšan,je raehaničkih osobina materijala"
A.Švajser:
"Vpliv hrapavosti podloge na optično kvaliteto slojev"
I.Esih:
"Primjena vakuuma u tehnologiji prevlačenja"
27. A.PrerelJ:
"Dekorativne tanke plasti"
Z.W.r'.tfimhPni:
"l'rim,:»>nii vakuiimn u akJ opro.1 Lrlniicj."
29.	D.Buževič, K.GoRer:
"Vakuumska tehnika kao preduvjet suvremene sklopne tehnolofcije"
30.	D.Gracin, A.Pavlešin, Z.'.'.'ternberg: "Uredjaj za odredjivanje plinova u mate-
rijaliina"
31.	V.IIemanič, B.Erjavec, R.Zavašnik; "Ultravisoko vakuiunske prirobnice in
tesnilke"
32.	Dj. Bošan, D.Srdoč, H.Pavlica: "Herraetičnost GM cevi zaptivenih aralditom"
35. T.Čordašič:
"Sistemi va vakuumsku obradu izvora sv.^etla"
34. A.Srdoč, A.Sliepčevič, B.Obelic, N.Horva-tinčič, I.Krajcar:
"Dobivanje plinova velike čistoče pomoču vakuumske tehnologije"
55.	E.Pernan, P.Pavli, R.Zavašnik: "Določevanje sestave stek«l z elektronskim.
mikroanalizatorjem"
56.	F.Brecelj:
"Neusklajeni spoji bakra s steklom"
57.	R.Tavzes, L.Koller, M.Jenko: "Vakuumsko tesni laserski zvari"
38. T.JokiS, B.Gorcič, Z.,T-irela:
"Vakuunsko degaziranje olektrolitičkih prevlaka"
59. Dj.Milosavljevič:
"Destilacija kalcijuaa"
40.	Dj.Milosavljevi6:
"Uredjaj za destilaciju kalcijuxa"
41.	V.Aliž:
"Sistemi za vakuumsko hlad.ienje recirk'.i-lacione vode"
42.	K.Pohl, B.Jenko:
"Elektronsko krrailjenje pe'^i za pregrevanje ultravakuuraskih sistemov (UVS)"
43.	J.Gvozdanovič, V.Lazio, M.Curakovič, l.Vujkovic:
"Primena vakuureske aetoda ispitivanja pro-pustljivosti polietilenskih filmova na g;asove "
44.	R.Jugovič:
"Neki aspekti suženja mjernih transforria-tora"
45.	B.Tomčik, ".Zlatanovič:
"Jonsko intriranje Velika č.4732 sa dodatnim grejanjem uzoraka"
V.Prešern:
"Uticaj obrade u vakuumu na kvalitetu nekih čeliVa"
M.Stupnišek:
"Toplinska obrada Selika u vakuumu"
J.Gasperič, V.Rebec, B.Kos, A.Virant: "Eazvo.ina usmerjenost vakuumske dejavnosti na lEVT"
Dj.Kilosavljevio:
"Laboratorija za vakuum raetalurgiju IHIS-a"
50.	J.Gasperič, V.Rebec, B.Koa:
"Nekatere aplikacije vakuumske tehnike v medicini"
51.	K.Kojič, R.Petrovič:
"Proražun sudova pod pritiskom metodom konaonih elemenata uz automatsko gene-risanje podataka"
52.	A.Cimerman, M.Legiša: "Liofilizaoija - metoda za shranjevanje
nekaterih industrijskih gliv"
A.Kambič:
"Visokovakuumsko ulje za difuzione pumpe Kadiff Oil 3?"
V okviru kongresa sta bili organizirani tudi dve okrogli mizi z naslovoma:
- Problematika uporabe in vzdrževanja vakuumsko tehnične opreme in
je n.pr. pacetre.ie usmeriti v pravo proizvodnjo PNE'JROP vak-mmsV-ih priključkov Prvo Iskro Baric ali kako dnif^o tovnrno kot pa lEVT, ki naj bi ukvarjal z razvojem oz. izdelavo manjših serij zahtevnejših vak. proizvodov. Prišlo je torpl do pričetkov dogovarjanja o delitvi dela na podro^^ju vakuuma.
Iz razprav nekaterih udfileženccokrorle mize je bilo razvidno, da se v Juposlaviji uporablja tudi precej fp^obef^a vakuuma (-^rpalke z vodnim obro?em: Litostroj, Jastrebac), a ^a uporabniki vzdržujejo vsak zase, brez povezave z znanjem, ki je koncentrirano v društvih. V bodoi'e naj bi uporabni^-'i in društva ve? sodelovali, pripravili naj bi se primerni tečaji in k vzgojno - izobraževalnemu delu naj bi se pritegnilo tudi ve? uriteljev z različnih fakultet, katerih udeležba na kongresu ni bila dovoljžna glede na ponenbnost stroke v sedanjem gospodar-ski!>m trenutku.
Kot posledica misli in idej izre'^enih na omenjenih pogovorih so bile na skupščini JUVAK, ki je bila 15.1o.f5;^ zveče" po zaklju-ku konscreea, izvoljene naslednje konisije:
-	Komisi,-ia za eksploatacijo in vzdrževanje vakuurs>e opr»me,
-	Komisira zn rapredek '-ospodarstva, ter
-	KoRisija za izobraževanje in strokovno problematiko.
- Problematika projektiranja, proizvodnje, kooperacije inplasisana vakuumsko-tehnične opreme
Obe sta bili dobro obiskani in veliko udeležencev je tudi sodelovalo v diskusiji. Prikazano je bilo.kakšna vakuumska oprema v Jugoslaviji obstaja, kakšni so problemi z vzdrževanjem in kaj lahko že izdelamo dona. Tu precej izstopa lEVT z dolgoletnimi izkušnjami, vendar je bilo poudarjeno, da v Jugoslaviji obstaja že več tovarn, ki bi bile sposobne proizvajati dobršen del vakuumske opreme in ki bi jim izdelovanje posameznega vakuumskega elementa z ozirom na proizvodni program popolnoma pristojalo. Tako
Kongres ."ie potekal v eni sani dvorani zelo intenzivno (pnsaniszen referent j" imel le okrog lo nin časa za nnstop) in v dveh dneh kongresa je bilo zelo malo časa za diskusije, oz. za stike s kolegi od drugod, kar tudi eden od nanenov kongresnih srečanj. Kljub tenu morano reči, da je koncxes dobro uspel, za kar gre zahvala neu'^ornira članon brvaškpga društva.
Za i<.onp-r®s je bilo razposlanih okrog 15oo vabil na ra-li"ne naslove. .?-^feratov je prispelo 55 iz 2o različnih delovnih organizacij CI5 iz znanstveno-raziskovalnih in 5 iz Kospo-darstva), prisotnih udeležencev pa je bilo 90.
Andrej Pregelj
DELO JUVAK-a OD 1970 DO 1^83
Zveza društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije -JUVAK je bila ustanovljena 26. oktobra 1979 leta na Bledu, kot naslednica Jugoslovanskega
komiteja za vakuumsko tehniko (lQfi2 do l'^79)oz. Jugoslovanskega centra za vakuumsko tehniko, osnovanega 1. 196o. Naša organizacija je bila
- lo -
ort vsega zaößtka članica Sh^EITJ (Zveza 8tro,1-nih in elektrotehniških inženirjev in tehnikov Jugoslavije) in je od 1. 1962 soustanoviteljica ter Slanica Mednarodne Unije za valoiutiako znanost, tehnologije in aplikacije (TUVSTA). Člani zveze so: Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije, Hrvatske in Srbije.
Že takoj, ob zaf.etku, t.j. 1979 so nastale težave z registracijo zveze, kajti SZDLJ ni dala pristajika, da bi bila pravna oseba. Nastala je "komična" situacija: člani zveze, to so društva, 80 bili pravne osebe, zveza le-teh pa zaradi nesprejemljivega stališča odgovornih v SZDLJ ni mogla biti. V tem "brezpravnem" položaju ee je delo JUVAK-a odvijalo v Društvu za vakuumsko tehniko Slovenije. Šele odlofino stališče Sveta za znemstveno delo pri oboroženih silah Jugoslavije je pripomoglo, da se je v SZDLJ spremenilo mnenje in ae je JUVAK lahko registriral kot pravna oseba, vendar je od ustanovitve do tega trenutka pretklo skoraj dve leti (do 3.6.1983). Šele po registraciji se je lahko začelo normalno odvijati delo in izpolnjevati sklepe blejske skupščine.
tehnika v BiH in tudi v i^-rni i^ori l^ar dobro vpeljana, pa med tankajšn.iimi vakiiumis nisrao našli tistepra, ki bi bil pripravljen prijeti za organizacijo društva.
Izvršni odbor je med drugim sklenil, da poveri organizacijo IX, jugoslovarskes?a vakuiunskeRa kongresa društva iz Hrvatske s posebnim namenom, da bi le to spet zaživelo. Hrvaški vakuu-misti so aicer pobudo sprejeli, vendar so izvedbo odlagali. Da bi jira na koncu le uspelo, smo morali vložiti veliko truda, premagati veliko kritičnih faz. Vsi smo bili srečni, ko je kongres minil.Od tisti dobrih idej, ki so jih imeli organizatorji na zeöetku, jih je na koncu ostalo prav malo. Dveletno delo oz. priprave so se prezrcalile v dva borna dneva kons^re-38 s poprečno strokovno ravnjo.
Finančni položaj JUVAK-a je bil ?,e od začetka in je ostal do danes problematičen. Samo slovensko društvo je izpolnjevalo svoje finm-'ne obveznosti, medtem ko ostali rive v vsej JUVAK-ovi zgodovini nieta prispevali ni'^esar, ker sta sami gospodarili na finančnem robu.
Med temi sta bila ustanovitev društev v BiH in črni gori. Na Bledu so bili imenovani inicia-torji, ki pa so po vrsti odnehali; zaradi bolezni, zaradi začetnih neuspehov. Iskali smo nove ljudi, ki bi bili pripravljeni delati, vendar nam to ni uspelo. Skoraj na vsaki seji izvršnega odbora smo o tem razpravljali, vendar je bil trud zaman. Kjub temu, da je vakuumska
Predstavniki JUVAK-a so sodelovali v izvršnem odboru Mednarodne Unije lUVSTA v njenih sekcijah in komitejih. Skupaj z DVT3 smo pripravili udeležbo jugoslovanskih vakuumistov na IX. mednarodnem kongresu v Madridu. O glavnih aktivnostih društev pa bomo še pisali,
dr. Jože GasperiČ
ČLANI REPUBLIŠKIH DHUSTEV - IZVOLJENI V ORGAtTE JUVAK-.! NA SKUPŽČINI 15,10.1983
Predsednik: mgr. Zalar Anton
Podpredsedniki: dr. Perovič Drana (Srbija) Živkovič Dragan (Hrvaška) dr. Evgen Kansky (Slovenija)
Izvršni odbor:- Hranisavljevič Sava
-	Milosavljevič Dorde
-	Radulovi6 M.
-	mgr. Zort Hrvoje
-	mgr. Obelič Vlado
-	Rukavina Jadranka
-	Lindav Janez
-	Žabkar Anton
-	Pavli Peter

Srbija
Hrvaška
Slovenija
Organizac. sekretar: Zavašrik Rasto Finančni sekretar: Jenko F.onika
Nadzorni odbor:
-	dr, Nenadovič T,,	narrestnik
-	Srdoc D,,	"
-	dr, Lah F.,	"
Vukobratovic S. r.iloševič A. Svajger A.
Disciplinska komisija:
-	mgr, Obradovič K,, namestnik:BudinČevir I.
-	Tomaš P,,	"	Antunovif N. -Pregelj A., " Grahek K.
Polef^ omen.ienih standardnih organov smo se na skupščini dogovorili, da bodo v okviru JUVAK-a odšle,1 delovale še naslednje tri komisi,!«:
- na izobrn^evar.ie in strokovno problematiko: Predsednik: dr. Kurepa Milan Člami: dr. Bošan Dorde Sternberg Zdenko dr. Gasperi? Jože
-	za eksploatacijo in vzdr?.evan,ie vaVuuniske opreme:
Predsednik: nrrr. Obplif Vlfido Člari: Dir,itri,ievir. T.
-	za napredek {gospodarstva:
Predsednik: Ven Slobodan
Člani: čordaSic Tomislav
VTISI Z IX. ^tEDNARODKEGA VA?CUUM£KEGA KONGRESA
Priprave
Za Madridski kongres seiü se, oziroma smo se, razmeroma dobro pripravili. Zgošžene povzetke naših strokovnih poroSil smo morali poslati že pred 1. aprilom. V 5-tih kongresnih dneh ee je lahko zvrstilo poleg 85 naročenih uvodnih predavanj le 63o predstavitev novih dosežkov, zato so programske komisije predloge, ki so morali biti originalni, še neobjavljeni in kvalitetni, strogo presojale ter zavrnile okoli 4oo tem. Lahko smo zadovoljni, saj od 6 predlogov iz Ljubljane ni bil odbit nobeden, kar potrjuje resnost naših priprav. Iz cele države smo se predstavili z enim uvodnim predavanjem teoretika R. Braka iz Zagreba ter z lo izvirnimi strokovnimi poroSili. Torej	vseh referatov, kar je bistveno več kot kdajkoli po-prejl Vključili smo se tudi v organizacijski del kongresa. Med predsedniki posamezih sekcij predavanj so bili trije Jugoslovani, po eden je bil v mednarodnem svetovalnem odboru in odboru dopisnih članov. Imeli smo svojo polnošte-vilno delegacijo na generalni skupščini lUVSTA in svoje predstavnike na vseh sejah strokovnih komisij UP/STA ter seveda tudi svojega zastopnika v njenem izvršnem odboru.
Za naše priprave je bilo izredno pomembno, da smo prejeli dokončno urejeni program z naslovi prispevkov in spiskom avtorjev že julija. Zato sem lahko že med počitnicami začel razporejati čas in se pripravljati na srečanja z zanimivimi znanimi ali še neznanimi strokovnjaki. Razmeroma močna ekipa z lEVT si je zato lahko že vnaprej smotrno razdelila področja, ki so jih posamezniki zasledovali.
In končno sodi med naše priprave tudi organizacija skupinskega potovanja jugoslovanskih va-kuuciistov v Madrid, ki je bila zares vzorno izpeljana v okviru DVT SR Slovenije.
V Madridu
Prvič sem se srečal s Španijo. Pokrajinsko je popolnoma drugačna od drugih dežel, ki sem jih doslej videl: suha, kamnita, gorata. Madrid je najlepše urejeno velemesto v katerem sem bil. Preseneča z širokimi ulicami, razkošnimi spomeniki, palačami, muzeji, zelenicami, gostim a urejenia prometom, založerostjo trgovin. V tem širokopoteznem stilu je zgrajen tudi kongresni center, v katerem je naša prireditev našla svojemu pomenu zares ustrezno okolje vključno s predavalnicami. Bili smo popolnoma izolirani od hude \rročine in velemestnega vrveža. Organizacija je bila dobra, ne, nnogo ve", bila je odlična. To ugotavljam z vso treznostjo šele sedaj, ko se je preaing kongresnih dni že odmaknil. Prireditelji nas niso izpustili tudi po 7 uri zvečer, ko smo delovni dan zaključili. V Bvoji mapi sem našel vahila za 4 večerne prireditve - od sprejema pri županu do koncerta in srečanja delegatov peneralre skupščine lUVSTA. Ta neforr^alna in sproščena srečanja strokovnjakov so nudi]a obilo priložnosti za zbliževanja in iskrene pogovore.
Kaj je bilo nove?:a
Naštevam kar na pamet, ker nimam časa urediti vtise. Posebno doživetje je bilo vseh 5 plenarnih uvodnih predavanj. *e posebej naj omenim prvega "Rast tankih plasti - atomska slika",
Hi Ra ^e portal G. Erlich, iz Univerze Illinois. Nekatere od n.iegovih slik tudi sam kažem na predavanjih, vendar z novimi izsledki jin ^e povezal v presenetljivo ubrano celoto. Neslutene perspektive se odpirajo z epitoksialnimi večplastnimi III-V strukturami tipa GaAs-GaAlAs. Kriočrpalke so postale pri doseganju skraonega UW neprekosljive in nenadomestljive. Za TR senzor iz Hg Cd Te sem dobil poDembne napotke. Tudi za luminiscentne kazalnike smo prinesli v Ljubljano draijocene podatke. Na področju analitike površin je zablestela nova izboljšala metoda SlMS-a imenovane SNMS -secondary neutral mass spectronietry. Resno moramo razmišljati da bi se doopremili s to analitsko tehniko. Trde Prevleke za obdelovalna orodja in proti obrabi stopajo v novo zrelo obdobje. Francoski izumitelj je prikazal popolnoma suho in 5isto črpalko za področje do l.lo~'mbar. Pomembna inovacija je rentgenska elektronka z lebdeče megnetno uležajeno rotirajočo anodo, ki jo je razvil naš znanee R. Comsa. še in še bi lahko našteval ........
Srečanja
S številnimi znanci sem se pogovarjal, spoznal sem pa tudi dosti novib, zanimivih ljudi. Naj le omenim nekatera srečanja.
Od fotokatodistov so bili navzoči f^panci, ki so svoje osnovno znanje nabirali v USA in šele sedaj na Univerzi organizirajo raziskovalni laboratorij, v katerem bo kot glavno oroSje služila ESCA. Čas jih je hudo prehiteval: od 4 najavljenih prispevkov so uspeli pripraviti sarac enega pa tudi obljubljenega obiska njihovega inštituta ni bilo, niti separatov mi niso dali. Vsebinsko bistveno polnejši so bili pogovori s tremi strokovnjaki iz Philipsove grupacije. Tema, ki smo jo premlevali s presledki dni je-bila: sestava in struktura antimonidnih katod.
Dr. Hibson z National Research Concila, Ottava Canada in avtor plenarnega predavanja: Limita of vacuum production and measurements:
"Sem v zelo težki situaciji: vpeljati moram nekaj novih raziskovalnih smeri na inštitutu. Katere? Zato poslušam čim več predavanj v različnih sekcijah, skrbno pregledujem posterje, vsak prost trenutek izkoriščam za razgovore. Jugoslovani iz Ljubljane ste me presenetili z raziskovalno vsebino, ki ste jo izluščili pri
reševanju uporabnih nalop za proisvodnjo. Lepe reči delate. Sodim, da ste za današnje ^ase v vašem okolju na pravi poti".
Prof. Dr. E. Bas, vodja laboratorija 7,a vak. tehniko in el. optiko na ETH, Zürich:
"čez leto grem v pokoj. Delano na zelo sorodnih področjih: površinska analitika, preiskave tekočih kovin, gradnja naprav, UW. Marsičesa se še lahko naučite pri nas. Kombinacija dveh metod za analizo površin AE3 in ISS, ki smo jo razvili, je izredno učinkovita in perspektivna. Z mojim odhodom se bo program spremenil. Zato pohitite, zaželjeni obiskovalci boste!"
Prof. Dr. Antal.novi predsednik ITIVSTA, Fiz. Inst. Tehnološke Univerze, Budapest:
"Hvala za čestitke. Mimo zadolžitev v zvezi z lUVSTA si bom močno prizadeval, da dvostranske vakuumske simpozije Kadžarska - Avstrija razširimo z vključitvijo Jugoslavije na tristranske v smislu naših zares dobrih sosedskih odnosov. Pomagajte mi, da bi steklo že v letu 1984!"
R. Savfin, komercialni direktor firne Ceramseal, USA:
"Vidira, da zelo dobro poznate tehnologijo spojev keramika-kovina. Če vas bo pot zanesla v Ameriko nas na vsak način obiščite. Pokazali vam bomo kaj delamo in radi se bomo pogovarjali o raziskovalnih aspektih tehnologije spojev,"
Dr. Imachi, direktor ULVAC - Tokio (vodilne japonske grupacije na področju vakuumskih tehnologij):
"Kot v vaši deželi se na Japonskem srečuoer.o tudi z velikimi problemi v gospodarstvu. Ti nas silijo, da skrbno z iramo podatke, Tnnogo premišljamo in se skušamo odločati z pogledom v prihodnost. ULVAC je zafrotovo zainteresiran sa sodelovanje z lEVT. Vaša misel, da bi se začeli spoznavati in zbliževati z zanenjavo mlajših raziskovalcev mi je zelo všeč. Pričakujem vaše pismo s konloretnimi predlogi."
Zabeležk o podobnih razgovorih se mi je nabralo še okoli 251
dr. Evgen Kansky
VAKUUI'ioKI MEHn,KIK Z VRTEČIM SE ROTORJEM
Ha ra/.stnvi vBVuuwBlff» opreme, ki bila istočasno z IX. svetovnim vakuumskim konc^esom v Madridu,je firma K?A iz JUlioha v Zvezni republiki NemÄiji ponovno predstavila vakuumslci me-rilni)c z vrteSim se rotorjem. Kot so nara povedali predstavniki firme se cena giblje okrog lo.ooo DM. V tem kratkem obvestilu so podane glavne značilnosti tega merilnika.
Princip delovanja
Tlak plina je doloäen iz zaviralnega efekta, ki nastopi zaradi delovanja plinskih molekul na prosto s® vrtečo jekleno kroglico (krogli-
ca za lezaje 0 4-5 mm). Kroglica je magnetno obešena - brez stikov - znotraj cevi,iz stekla ali nerjavečega jekla, vezane na vakuumski sistem.
-	za fiii^ritvp tlnkn Vorozivnih \n rsnVtivnih plinov
-	za meritve tlaka, k.'isr je zelo pomembno, da merilnik re kvari plina in ne spreminja tlaka
-	za meritve tlaka v majhnih r«rmeti?no zaprtih sistemih
Lastnosti merilnika
-	pasivni transducer tlaka z naslednjimi lastnostmi:
a)	nobenih vzbujanj plinskih molekul
b)	nobenih termičnih motenj
c)	temperatura v merilni glavi se n® razlikuje od temperature okolice
d)	ni efektov črpan,-<a ali razplinjevan.la v sami merilni slavi
-	umerjenost j« odvisna samo od rotorja v obliki kroglice
-	kalibracija je dolgoročno stabilna bolj kot na i 1
-	delovno podrot^je tlaka sega od lo""^ mbar do atmosferskega tlaka. Kazanje merilnika je proporcionalno tlaku od lo""^ Rbar do 1 mbar
-	merilna glava je pregrevljiva do Aoo^O
-	v merilnik je vključeno procesiranje digitalnih podatkov (16-bitni mikroračunalniK)
Predstavniki firme so nam tudi povedali, da je spodnja merilna meja lo""^ mbar določena z napako pri Štetju števila vrtljajev kroglice. Če bi hoteli napako ani?ati na polovico, bi morali šteti vrtlja.ie dvakrat dlje časa - namesto 5 sekund bi morali šteti vrtljaje lo sekund. To daljšanje časa štetja pa seveda ne pride v poštev, saj je možno, da se tudi tlak sam že menja v tako dolgem času.
Uporaba merilnika
- za kalibracijo merilnikov tlaka (kot sekun-dami-prenosni standard)
lEVT, Ljubljana
Rasto Zavašnik dipl. ing
TEČAJ: VAKUUMSKE TANKE PLAST I—PRIPRAVE IN PRVA IZ"/EDEA
Sloraj dve leti sta minili od začetnih zamisli do realizacije prvega tečaja z zgornjim naslovom. Ker v društvu takrat rezen želje nismo imeli ničesar za organizacijo takega tečaja, smo si kot prvo nalogo zadali zbiranje gradiva.
Odbor za pripravo tečaja je najprej izbral osnutek tem za vsebino; le-tega smo nato večkrat popravljali in dopolnjevali naslove posameznih področij, nato pa iskali ir še razmeroma hitro zbrali sodelavce, ki so obljubili, da bodo na-
pisali rradivo vsak za svoje področ^ie. Cd tu naprej je delo potekalo precej počasneje, v Clavnem zato, ker se je pisanje tekstov precej zavleklo. Tudi koordinacija je šepala; prvotno je bilo namr^n tniSljeno, da bi avtorji najprej pripravili osnutke, katere bi skupno obravnavali, da bi ne prišlo do pomanjkljivosti oziroma do prekrivanja vsebine; nato naj bi vsak dokončno izdelal svoje poglavje tako, da bi bilo primerno za objavo v zborniku predavanj, katerega tudi nameravamo izdati.
Do datuma - junij 85 - ki sno Ra izVrali za začetek prvega tečaja: "Tanke vakuumske plasti", smo končno le uspeli zbrati vse pismene prispevke in sestavili smo sledeči umik tečaja:
-	Vakuumske tanke plasti - splošni uvod,
dr. Navinšek B.....................5o min
-	Fizikalne osnove vakuumskega nanašanja tankih plasti, agr. Povh B.........45 min
-	Vakuumske tanke plasti - nastajanje
in lastnosti, dr. Kansky E.........50 min
-	Vakuumske naprave za naparevanje
tankih plasti, Tavzes R............45 min
-	Materiali in izvori za nanašanje
tankih plasti, Jerič S............. 55 min
-	Mehanizmi nanašanja tankih plasti
v plazmi, Žabkar T.................45 min
-	Kaprave za naprlevanje tankih
plasti, Banovec A..................45 rnin
-	Tanke plasti v mikroelektroniki,
prof. dr. Trontelj L...............45 min
-	Kermetne tanke plasti, dr. Gasperič Jo min
-	Prevodne in transparentne tanke
plasti, Kavinšek B................. Jo min
-	f.arnetne tanke plasti., ibkar T. ... jo min
-	Tantalove tanke plasti, RazinRer J. 5o min
-	Uporovne plasti KiCr naparjerr^ s preskakujo^im elelrtronskin iiirkon
Perlič P........................... ^o nin
-Dekorativne tarke plasti, Prelij i, 5o min
-	Optične tanke plasti, fvft.ip:or . ... 45 nln
-	Elektronsko mikroskopske raziskave strukture tankih plasti,Harinkovič V.45 min
-	Nekatere netode za merjenje debelin tankih plisti, Lind.av J............ min
-	Analiza tankih plasti s spektroskopijo Augerjevih elektronov (AES),
2alar A............................45 min
Našteti prispevki so - kot se je pokazalo pri prvi javni predstavitvi - še potrebni precej dopolnjevanja in vsklajevanja. C.lede na pomembnost bo potrebno nekaterim temam pri sestavljanju bodočih urnikov in še posebej pri obdelavi zbranega gradiva za izdajo zbornii^a predavanj nameniti ve? časa oz. prostori, nekatere pa skrajšati. Vključili bomo tudi Se kako novo področje n.pr.: trde prevleke in norda re kaj.
Kljub vsem opaženim pomanjkljivostim m kljub temu, da v prvi tečaj niso bile vkl.i-ičene vaje niti Of^led laboratorijev, smo bi]i z izvedbo zadovoljni tako orgaiii.tatorji iz DVTT. kot tudi s]ušatPlji. Tečaj je potpkal od 2o do 24,6.85 v dopoldanske:: času r.a IFiT. Udeležilo se (^a je 1? vakuumistov iz domače hi^e. Naslednji točaj "Tanke vakn\iraske plasti" bo v začetku leta 1084.
Andrej	;
KCLEDnS PO^;E^lBM^: raiKiiLiTEV
27. - 28.10.^-'
Tehnologija in uporaba ionskega curka; Univerza Princeton, Princeton, ZDA
1. - 4.11.85
5o. vakuumski simpozij Združenih držav, Boston, ZiA
7.	- 9.1]
Taljenje ir. rafir.ac i.ia z e]-»ktrnt s/cim curkom, Rftno, ZDA
8.	- IP.1].35
5. mednaro'lni sejer. o izdelnvi elp>tronski\ sestavnih de] i h: Prodiictrori-.a, I''H'.chen, ZKK
14. - lfi.11.85
Simpozij dnjitva za preiskavo materialov -"Tanke plasti in stif.ne ploskve", Boston, ZDA
22. - 24.11.83
5.	mednarodna konferenca o kvantitativni analizi površin, Teddington, Middlesex, Anglija
22. -
2. simpozi;) o euhih gravurah v mikroelektro-niki, Grenoble, Francija; informacije: francosko vakuumsko društvo; 19 rue de Renard, V5oo4 Paris
28.11. -
Tehnologije za optična interferenčna prekritja, ÜCLA, Los Angeles, ZDA
6.	- g.12.83
Mednarodni simpozij o vakuumskih tehnologijah in uporabi vakuuma pri izkoriščanju .ledrske energije; BAABHA atoiHiC Research Centre -- dr. P. Vijendran, Bombay, India
14. - 16.12.8^
Površine in fazne meje; Oxford, Anglija, informacije: Cavendish Laboratory - Cambridge
29.2. -
Seminar o uporabi površinske analianih metod za reševanje praktičnih problemov; Boca Raton, F.L., ZDA
11. - 16.;.8»
Optična mikrolitografija III: Tehnologije za naslednje desetletje; napredek v thenologiji rezistov ter pri submikroroeterskih litografi-jah a elektronskim curkom, z X-žarki in a ionskim curkom; Santa Clara, ZDA
1. - 4.4.84
Vacuum 84: Tehnološki aapekti o obdelavi in analizi površin; Fizikalni institut; 47, Bel-grave Square, London, Anglija
6. Kvroi-sVa konferenca o povrSinah trdnih snovi (ECÜoo-<>); dr. Ir.glesfield J.E., Iiaresbury Laboratory; York, Ani^lija
f . -
Vakuumski sinpoaij o naprševarjii , Sekcija ameriškega vak. društva za tanke plasti; San Diego, Kalifornija, ZDA
6. - i;.4.R4
Simpozij o karakterizaciji materialov v proizvodnji mikroelektronskih sestavnih delov; St. Luis, ZDA
9. - 13.4.84
11. mednarodna konferenca o metalurških prek-ritijih; Metalurška sekcija ameriškega vakuumskega društva, San Diego, ZDA
2.	- 6.'7.84
8. mednarodni kongres o katalizah, Zahodni Berlin, ZRK
13. - 17.8.84
6, mednarodna konferenca o tankih plasteh (ICTP-fi); Stockholm, i^vedska; informacije: dr. Soren Berg, Institut of Technolof^y, Uppsala University Box 534, 7512:1 Uppsala, Sweden
27. - 31.8.84
3.	mednarodna konferenca o trdnih plasteh in površinah; Sydney, Avstralija
29*8. - 3.9.84
16. mednarodna konferenca o pojavih v ioniai-ranih plinih (ICPIG-XVI), Düsseldorf, ZkK
8. - 13.10.84
9. mednarodni kongres o reologiji; Acapulco, Univerza Coysoan, 8451o ^exico
TEČAJ "OSNOVE VAKUUMSKE TEHNIKE"
Jis Inštitutu aa elektroniko in valniuniolco tehni-Ico, pripravljamo ponovitev težaja predvidoma od I't. do 16. nobembra 85. Kotizacija bo 5.5oo din. Vsak udeleženec bo pre^jel zbornik predavanj, ki obsega naslednja poglavja:
1.	Fooen in razvoj vakuumske tehnike
2.	Fizikalne osnove vakuumske tehnike
3.	Rotacijske črpalke 4-. Membranske Srpalke
5.	Difuzijeke črpalke
6.	Sorpcijske Srpalke
7.	Vakuumski spoji in tesnilke
8.	Vakuumski sistemi
9.	Vakuummetri
10.	Odkrivanje netesnih mest (leak detekcija
11.	Vakuumski materiali in delo z njimi
12.	Vakuumske tankoplastne tehnologije 15. Pomen površin v vakuumski tehniki in
njihova karakterizaoija l'i-. Vakuumska higiena in čisti postopki 15. Doziranje, čiščenje in preiskave plinov
Tečaj je namenjen za vse, ki imajo opravka z vakuumskimi postopki in napravami. Poleg predavanj bo obsegal še vaje in ogled inštituta. Prijave na naslov: Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije, Teslova Jo, Ljubljana. Dodatne informacije po telefonu 263-461 daje organizacijski odbor: Pavli Peter, Nemanič Vinko in Pregelj Andrej.
VI. JUGOSLOVANSKO-NEKŠI SIMPOZIJ O PRIPRAVI IN RAZVOJU KERAMIKE IK IIATERIALOV NA OSNOVI PRASKASTE METALURGIJE (atruga-Ohrid, 11. do 13. april, 1985)
Jugoslovansko-nemški simpoziji o raziskavah in pripravi sodobnih keramičnih materialov so že tradicionalni. Vršijo se izmenično vsaki dve leti v Zvezni republiki Nemčiji in Jugoslaviji. Spodbuda za začetek je bil podpis sporazuma o znanstveno tehničnem sodelovanju med obema deželama. V ta sporazum ^e vključeno delo na skupnih projektih, izmenjava strokovnjakov in izmenjava informacij o dosežkih raziskav na področjih, ki zanimajo obe strani v obliki simpozijev. V okviru skupne problematike so bila opravljena že tudi številna diplomska dela in disertacije kandidatov is Jugoslavije in ZRN.
Letos je potekalo jugoslovansko-nemško srečan-
je v Strugi ob Ohridu pod pokrovitpl.lstvora Univerze Cirila in Metoda v rikopju. 1'padni jezik je bila angleščina, iokrai se je prvič pojavila tudi zanimiva tematika s področja vakuumske tehnologije. Prof. dr. dr. h.c. G. Petzow, vodja Laboratorija za praškaeto metalurgijo na Max-Planck Institutu za raziskavo kovin v Stuttgartu je imel eno od uvodnih predavanj o spojih kovine 6 keramiko. Naveden? so bile posebne študije o načinu spajanja po metodi "so-lid-state bonding". Vzorci so bili pripravljeni v obliki sendvičev, kjer je bila vmesna plast med keramičnimi kosi kovinska folija. Kvaliteta spoja je močno odvisna od mikrostruk-ture prehodnega območja med krhko keramiko in duktilno kovino. Metoda "solid-state bonding" obljublja spoje, ki dosegajo trdnosti delov, ki jih spajamo. Razvite so bile tudi posebne metode, ki omogočajo kvantitativno določanje prelomne trdnosti spoja. Ker so raziskave o spojih keramika-kovina v svetu zaradi pomembnosti izredno potencirane, se zdi pomembna izjava prof. Petzov-a, da so v okviru jugoslovan-sko-nemškega sodelovanja dane vse možnosti za sodelovanje jugoslovanskih strokovnjakov pri raziskavah na tej problematiki v Laboratoriju za praškasto metalurgijo na Max-Planck Institutu v Stuttgartu.
Na simpoziju so bili udeleženi sodelavci naslednjih inštitucij: Inštitut za nuklearne znanosti "B, Kidrič", Vinča; Center za multidis-ciplinarne študije, Univerza Beoitrad; Inštitut für Gestinshüttenkunde, RWTH Aachen; Inštitut "Jožef StefanJ Univerza £. Kardelja, Ljubljana; Institut für Material - und FestkSrper-forschung, Kernforschungszentmira, Karlsruhe; Max-Planck Institut für Materialforschung, Stuttgart; Institut für Heaktorwerkstoffe, KFA, Jülich; Rheine-Westphalian TUV, Essen; Tehnološki fakultet. Univerza Skopje in lEVT, Ljubljana.
M. Buh
LEVT Ljubljana
Simpozij: VAKUUMSKE TANKE PLASTI - MERILI.-E METODE IN SODOBNI IZVORI
Dne 19.'^.1985 je Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije v povezavi z zastopstvom zahodno nemške firme Leybold-Heraeus in Inštitutom za elektroniko in vakuumsko tehniko organiziralo enodnevni simpozij z zgornjim naslovom in sicer v veliki predavalnici Kemijskega inštituta "Boris Kidrič" v Ljubljani. Med 8.5o in uro so se zvrstila naslednja predavanja:
-	Meritev debeline tankih plasti b te.itnico na kremenov kristal
-	Meritev deteline tankih plasti s fotometrom
-	Naparevanje tankih plasti z elektronskim snopoQ
-	Magnotronske katode za velike hitrosti napr-ševanja in njihovo elektriSno napajanje
Predavali so strokovnjali firme LH: Melchert, Dellert in Siegtound, prevajalca pa sta bila dr. Kansky in tov. Kalan. Snov so podali v povezavi z najnovejšimi proizvodi Leybold Hera-eus-a na omenjenih podroSjih: predstavitev so poživili z mnogimi diapozitivi, z vzorci in bogatim prospektnid materialom. V uvodu so propagandno opisali dosežke in uspehe svoje firne, ki je eden največjih vakuumskih koncernov na svetu. Zanimiva je bila tudi njihova ugotovitev, da kljub znakom gospodarskih težav po celem Bvetu, ni opaziti pomanjkanja dela za proizvajalce vakuumskih elementov, naprav in eis-temov^ pri njih n.pr. imajo za leto 19a'i- že sedaj (v aprilu) naroJil približno It- % ve5 kot za letos.
Simpozij je bil istožasno ponovna potrditev dobrega sodelovanja raed LH in DVTS, kar je bilo lepo omenjeno v pozdravnem nagovoru predsednika društva mgr. Zalarja in predstavnika gostov g. Melchert-a. Ob zakljužku so gostje Društvu za vak. tehniko Slovenije podarili rotacijsko črpalko liH-S 1,5 za tehnično izobraževalne namene.
Poleg obvestil posameznikom na lEVT, je bilo za simpozij poslanih še okrog loo vabil na različne naslove v SRS. Udeležba je bila precej manjša, vendar zadovoljiva, saj je bilo poslušalcev blizu 5o. Z zanimanjem so sledili vsebini in so-deloaali z vprašanji. V odmorih smo imeli lepo možnost spoznati se med seboj in ob pogovoru o podobnih problemih navezati stike za sodelovanje v bodoče.
Andrej Pregelj
lEVT, Ljubljana
vetovanj po vrstnem redu sledeča mesca: Ljubljana - 1965, Zagreb - 19?'+, Niš - 1'^7't, Ljubljana - 197P, Banja Luka - 1977, Zagreb - 1P78, Beograd - 1979, Niš - 198o, Ljubljana - 1981, Banja LuKa - 1982, Zagreb - 1985.
Letošnje XI. Jugoslovansko posvetovanje o mik-roelektroniki MIEIL 85 je bilo v Zafprebu na Elektrotehniški fakulteti od 23. do 27. aprila 1985. Lokalna organizatorja sta bile HO RIZ-KOMEL OOUK Tvornica poluvodiSa in Elektrotehnižki fakultet vseučilišta u Zagrebu.
Osrednje teme posvetovanja so bile: nonolitna integrirana vezje, hibridna integrirana vezja, polvodniški senzorji, prikazovalniki in elektronski elementi iz Ga As. Prijavljenih je bilo 58 referatov, od tega 9 iz inozemstva.
Uvodna predavanja so imeli:
-	B. Kurari iz SGS - ATES, Kilano ; Linear Power Integrated circuits
-	P.L. Kriby iz Welwyn Electronics, Ltd., Bedlington: Kicroelektronics - Its Future Hole
-	K.H. Zschauer, Siemens, Mönchen: Devices and Technology on GaAs
Letos je bilo posvetovanje zastopano prvič z mednarodnimi referati, kar gre prav gotovo zahvala organizatorjem iz Zagreba in predsedniku SSESL dr. Rudiju RoČaku, ki so f^loboko zaveda pomena povezovanja strokovnjakov v nednarodnem prostoru, predvsem še sedaj, ko so marsikomu zaprta vrata za tovrstno seznanjanje s tehnološkim razvojem v svetu izven naše donovir.e. Hkrati je takšno posvetovanje tudi priložnost za primerjavo dosežkov domače industrije z dosežki v svetu in končno je to tudi potrditev dnižbenepa poner.a in vlOKe raikroelektronike pri nas.
Referati, razporejeni v sekcije, so pokrivali celotno področje od tehnologij, uporabe polprevodnikov do teoretičnih del. Pred posvetovanjem je bil izdan zbornik referatov.
POSVETOVANJE MIEL 85 V ZAGRE3U
Strokovna sekcija za elektronske sestavne dele. mikroelektroniko in materiale - SSESD pri Jugoslovanski zvezi za ETAN, ki ima svoj sedež v Ljubljani, organizira že vrsto let strokovna posvetovanja o mikroelektroniki. Posvetovanje je vedno v drugem centru elektronske industrije v Jugoslaviji. Doslej so bila gostitelj pos-
Posvetovanje je spremljala razstava strokovne literature Jugoslovanskih avtorjev ns temo "mikroelektronske koniponente in tehnologija" . Proizvajalci mikroelektronskih komponent pa so razstavili svoje proizvode.
V okviru posvetovanja je bila organizirana 27. aprila 19S5 tudi okrogla miza z naslovom "Visokošolski študij elektronike in delež raikroelektronike v njem", Ka posvetu, ki ga je vodil prof. dr. Petar Biljanoviž, so se zbrali
predstavBiki skoraj vseh fakultet v Jugoslaviji, kakor tudi predstavniki nekaterih organizacij združenega dela, ki se bavijo z raikro-elektroniko.
Najprej je bil podan pregled visokošolskega študija pri nas. Prof. Kirby ia Velike Britanije, ki se je tudi udeležil posveta, je pojasnil prisotnim organiziranje tovrstnega študija pri njih. Poudaril je, da je potrebno pri njih pripisati dober napredek elektronike dobremu sodelovanju industrije in fakultet. Precejšnjo veljavo ima podiplomski študij, ki šola strokovnjake za industrijo. Podiplomoi seveda delajo med Študijem na fakultetah. V Veliki Britaniji je znanstveno pedagoška organiziranost specializirana na posamezna podro5ja mikroelek-tronike. Tri do štiri fakultete so povezane z enim zmogljivim računalniškim (CAD) centrom.
Sledila je diskusija skoraj vseh prisotnih. Bili 80 enotnega mnenja, da morajo inženirji zaradi današnjega hitrega razvoja tehnologije neprestano slediti temu razvoju. Povdarjeno je bilo, da če kje, potem je treba prav pri šolanju kadrov za mikroelektroniko šolati inženirje za jutri in ne za danes. Posebej je bilo povdarjeno, da bi se morali industrija, fakultete in inštituti še tesneje povezati, že želimo slediti napredku raikroelektronike.
"Advanced Solar Cells". Povedal je da izdelujejo amorfne sončne celice s izkoristkom
o
površine 1 dn v 1/2 ure. Z njim sem se dogovoril, da lahko pridem k njim na strokovno izpopolnjevanje, kar je v zvezi z mojo nalogo is programa "Novi vir energije" V prvem delu sta bili zanimivi predavanji še o znižanju plastne upornosti Si z uporabo mikrovalov (Francozi) in o vplivu getranja z Ar pri ionsko implati-ranih sončnih celicah (Južna Afrika). Popoldansko uvodno predavanje je imel A. Luque z naslovom "Photovaltaic Concentration". Povedal je, da so od nedavnega dostopni komercialni koncentratorski sistemi in pokazal je diapozitive take elektrarne - celo polje v Saudski Arabiji za potrebe ene vasi. Postavili bodo 2ooo takih elektrarn. Uporabljajo Presnelove leče, celice površine 1 cm hladijo z vodo, električni bakreni vodi pa so skoraj tako debeli kot vodi za hlajenje. Celica 1 cm^ pri ojačanju loo x daje 4 A. Izkoristek se še poveča z uporabo spektralnega razdeljevaloa svetlobe, kratkovalovna svetloba gre k GaAlAs celici dolgo valovna pa k Si sončni celici.
Milan Tasevski dipl. ing
lEVT Ljubljana
Na koncu smo se prisotni domenili, da bomo v informacije SSESD objavljali članke, preko katerih bomo na sprejemljiv način podajali informacije o novostih s področja mikroelektronike za vse, tudi za tiste, ki nimajo fakultetne izobrazbe. Članke bodo pripravili profesorji z vseh fakultet v Jugoslaviji.
Alojzij Keber, dipl.ing.
SSESD, Ljubljana
XIX. JUGOSLOVAKSKI SIMPOZIJ O nn.KFTHOKSKin SESTAVKU! DELIH IK MATERIALIH SD-85
Strokovna sekcija za elektronske sestavne dele, mikroelektroniko in materiale - SSESD pri Jugoslovanskem združenju za ETAN je priredila skupaj z Elektrotehniško zvezo Slovenije 3. in oktobra 1985 ob razstavi Sodobna elektronika 85 na Gospodarskem razstavišču v Ljubljani XIX. Jugoslovanski simpozij o elektronskih sestavnih delih in materialih SD 85.
MEUlCON '83 V ATENAH
Melecon je elektrotehnična konferenca mediteranskih deSel in j« organizirana vsako drugo leto. Prireja jo sekcija mednarodne elektrotehnične zvese lEEB, ki zavzema Evropo,-Afriko in del Azije. Konferenca, ki ses se je udeležil v maju 196? je imela aa glavni temi energijo in informacijske sisteme.
Na njej sem imel referat s naslovom "SnOg/n-Si solar cell", ki je vzbudil nekaj- zanimanja, posebej pri A. Luque vodji inštituta za sončno energijo v Španiji. Prvo uvodno predavanje je imel I. Guimaraes iz Portugalske z naslovom
Ka simpoziju je bilo prebranih dvaintrideset referatov. Povdarek letošnjega simpozija je bil na obravnavi problematike elektromehanskih sestavnih delov. Tovrstna tematika je bila prikazana v osmih referatih, ki so obravnavali: preiskave atmosfere v hermetičnih relejih, elek"" tromehaničnekonstrukcije v AX-tehrologiji, izbiro sistema koračnih motorjev, merilno letev, montažo jedernega magneta, ocenjevanje magnetnih razmer v- prožilnen releju za tokovno zaščitno stikalo, analizo mehanskega momenta preklopne hitrosti in obloka pri vrtljivih preklopnikih in fleksibilne prevodnike ter prevodnike za notranjo montažo, ki so bili atestirani v renomiranih inštitutih v Evropi in Ameriki. V
uvodu v to problematiko Je bil podan referat o perspelctivi elektronehanslcih in mehanskih delov do leta 2ooo.
V ostalih referatih so referenti predstavili splošno problematiko tehnoloških problemov pri raziskavah, razvoju in izdelavi elementov za elektroniko.
Siinpozi;5a sta se udeležila tudi referenta iz Zvezne republike Nemčije in Poljske.
Organizatorji so izdali pred zaSetkom simpozija zbornik referatov.
Medtem, ko so bili raziskovalni instituti in razvojni instituti organizacij združenega dela dobro zastopani, je bilo čutiti premajhno udeležbo uporabnikov elektronskih sestavnih delov. iG-jub temu lahko prištevamo letošnji simpozij med tiste strokovne manifestacije, ki so doprinesle svoj delež k zbližanju in medsebojnemu povezovanju strokovnjakov iz vse Jugoslavije, kar je v današnjih dneh še kako pomembno.
vetovanja:
-	materipli za tehnologije trdnih snovi; novi postopki za izdelavo debelih plasti
-	riaprave in postopki za kemijsko obdelavo; galvanot ehnika zn el ki; '■'.•n;
-	izvedbe sestavmih delov, postopki in naprave; novosti konektorske tehnike
-	nove metode v navijalni tehnikijnaprave za kontrolo pri gradnji instrumentov
-	novi načini opremljanja industrijskih pogonov z instrumenti; uporaba LWL sistemov
Čeprav med zgoraj naštetimi naslovi ni posebej omenjena vakuumska tehnika, je sejem dokaj zanimiv tudi za strokovnjake s področja vakuumskih tehnologij.
Strokovna sekcija za elektronske sestavne dele, oikroelektroniko in materiale pri Jugoslovanski zvezi za STAN bo priredila, kot že vrsto let doslej, strokovno ekskurzijo na PRODUCTRO-NICO 85. SSESD vas vabi, da se nam pridružite na strokovnem potovanju v f.Unchen.
PRODUCTRONICA 83
Alojzij Keber, dipl.ing. SSESD, Ljubijan
V času od 8. do 12. novembra 198? bo v MUnchnu letos že mednarodni sejem opreme za elekt-ronsko-industrijo. PRODUCTRONICA, kot se sejem imenuje, je na sporedu vsako drugo leto, vsako drugo leto pa je ob tem času v Ktinchnu razstava ELECTRONICA. Zadnji sejem leta 1981 je ob-segal skupno površino 55.55© m razstaviščne-ga prostora, ki so ga zasedli 9o4^ razstavljal-oi iz 21, dežel. Sejem je obiskalo 5?.ooo strokovnjakov iz 53. dežel. Ti podatki kažejo na svetovno razsežnost in veljavo sejma, zato je la-ta prav gotovo in še kako pomemben tudi za naše strokovnjake.
Letošnji sejem bo po tematiki razdeljen na sledeče sektorje:
-	naprave in pripomočki za izdelavo elementov iz trdnih snovi in hibridov
-	naprave in pripomočki za izdelavo ploščic tiskanih vezij
-	naprave in pripomočki za gradnjo elektronskih aparatur
-	naprave in pripomočki za splošno proizvodnjo in navijalno tehniko
-	merilne naprave za zagotavljanje kvalitete in kontrolo
Ustrezno tematiki posameznega sektorja bodo sejem spremljala tudi sledeča strokovna pos-
YUSEM-85
Od 26. do 28.5.1983 je bil v Kranjski gori
jugoslovanski simpozij o elektronski miJa-o-skopiji,/uSEK-83. Organiziralo ga je Društvo za elektronsko mikroskopijo iz Ljubljane, v sodelovanju z Medicinsko fakulteto. Institutom j.Stßfan, Inštitutom za biologijo. Univerzo E. Kardelja v Ljubljani in SŽ-;''etalurškim inštitutom. Referate in posterje na kon^esu, prav tako pa poglavja v zborniku so razdelili na naslednja področja: biologija celice, klinična ir. eksperimentalna patalogija, mikrobiologija in materiali, V zborniku zbrani referati 80 večinoma s področja medicine, najzanimivejša sa vakuumiste pa so vsekakor dela zbrana v poglavju "Materiali", ki obsega 4 uvodna predavanja in 51 razširjenih povzetkov. Ta dela so s področja elektronske mikroskopije, TEM in SEN, elektronske mikroanalize, spektroskopije Augerjevih elektronov in nekaj s področja rtg. in elektronske difrakcije. V razširjenih povzetkih je prikazana uporabnost teh metod pri preiskavah materialov: kovin, rud, mineralov, tekstila in barv. Na razpravi za okroglo mizo z delovnim naslovom "Opremljenost na področju elektronske mikroskopije in mikroanalize v Jugoslaviji" je bilo ugotovljeno, da
ne tem področju težko sledimo razvoju v svetu	na,i bi v Ju.TOslaviji onoi^of'ile rsadaljni razvoj
aaradi zastarele opreme, neorganiziraneRa ser- elektronske wikroskopi.ie. visiranja naprav in nenačrtnega šolanjf ndadih
strokovnjakov. Vsled te^a so se udeleženci ok-	A. Zalar
rogle mize dogovorili za nekatere akcije, ki
VAKUUraST - Glasilo Društva za vakuumsko tehniko Slovenije, Teslova Jo, 6111 Ljubljana,
telefon: 265-461. Ureja uredniški odbor: Andrej Pr^pelj, ludvik Pipan, Konika Jenko, Peter Pavli, Milan Tasevski, riemani? VinVo, Jože Gasperi^, Rastislav Zavašnik, Borut Pra5ek