Digitalna knjižnica Slovenije
Narodna in univerzitetna knjižnica
Splošne knjižnice
Celjsko območje
Vse knjižnice območja
Osrednja knjižnica Celje
Knjižnica Laško
Osrednja knjižnica Mozirje
Knjižnica Šentjur
Knjižnica Šmarje
Knjižnica Velenje
Medobčinska splošna knjižnica Žalec
Dolenjsko območje
Knjižnica Mirana Jarca Novo mesto
Knjižnica Brežice
Knjižnica Kočevje
Valvasorjeva knjižnica Krško
Knjižnica Miklova hiša, Ribnica
Gorenjsko območje
Mestna knjižnica Kranj
Občinska knjižnica Jesenice
Knjižnica A. T. Linharta, Radovljica
Knjižnica Ivana Tavčarja, Škofja Loka
Knjižnica dr. Toneta Pretnarja, Tržič
Goriško območje
Vse knjižnice območja
Goriška knjižnica Franceta Bevka Nova Gorica
Lavričeva knjižnica, Ajdovščina
Mestna knjižnica in čitalnica Idrija
Knjižnica Cirila Kosmača Tolmin
Koroško območje
Koroška osrednja knjižnica dr. Franca Sušnika Ravne na Koroškem
Knjižnica Radlje ob Dravi
Knjižnica Ksaverja Meška, Slovenj Gradec
Obalno-kraško območje
Osrednja knjižnica Srečka Vilharja Koper
Knjižnica Makse Samsa, Ilirska Bistrica
Mestna knjižnica Izola - Biblioteca civica di Isola->Matična knjižnica Izola
Mestna knjižnica Piran
Kosovelova knjižnica Sežana
Osrednjeslovensko območje
Mestna knjižnica Ljubljana
Knjižnica Jožeta Udoviča, Cerknica
Knjižnica Domžale
Knjižnica Grosuplje
Knjižnica Franceta Balantiča Kamnik
Knjižnica Litija
Knjižnica Logatec
Knjižnica Medvode
Cankarjeva knjižnica Vrhnika
Pomursko območje
Pokrajinska in študijska knjižnica Murska Sobota
Javni zavod Knjižnica Gornja Radgona
Splošna knjižnica Ljutomer
Spodnjedravsko območje
Knjižnica Ivana Potrča Ptuj
Knjižnica Franca Ksavra Meška Ormož
Štajersko območje
Mariborska knjižnica
Knjižnica Lenart
Knjižnica Josipa Vošnjaka Slovenska Bistrica
Druge knjižnice
Bayerische StaatsBibliotek
Centralna pravosodna knjižnica
Centralna tehniška knjižnica Univerze v Ljubljani
Knjižnica Dušana Černeta Trst
Kraljeva knjižnica, Danska nacionalna knjižnica in univerzitetna knjižnica v Kopenhagnu
Narodna in študijska knjižnica
Österreichische Nationalbibliothek
Semeniška knjižnica
Slovenska študijska knjižnica Celovec
Škrabčeva knjižnica
Univerzitetna knjižnica Maribor
Arhivi in muzeji
Arhiv Republike Slovenije
Goriški muzej
Loški muzej Škofja Loka
Muzej in galerije mesta Ljubljana
Muzej Miklova hiša
Muzej novejše zgodovine Celje
Narodni muzej Slovenije
Pokrajinski arhiv Maribor
Pokrajinski muzej Kočevje
Prirodoslovni muzej Slovenije
Slovenian Museum and Archives - Slovenski muzej in arhiv
Slovenski etnografski muzej
Slovenski šolski muzej
Škofijski arhiv Koper
Meni
SLO
|
ENG
avtor
celotno besedilo
ključne besede
leto
naslov
vir
založnik
zbirka
IN
ALI
NE
avtor
celotno besedilo
ključne besede
leto
naslov
vir
založnik
zbirka
IN
ALI
NE
avtor
celotno besedilo
ključne besede
leto
naslov
vir
založnik
zbirka
IN
ALI
NE
avtor
celotno besedilo
ključne besede
leto
naslov
vir
založnik
zbirka
IN
ALI
NE
NAPREDNO ISKANJE
O nas
Sodelovanje
Pogoji uporabe
dLib statistike
Seznam partnerjev
Novice
Virtualne razstave
Pišite nam
Moj dLib.si
Epošta
:
Geslo:
Prijava
Registriraj se!
Pozabljeno geslo
domov
poizvedba
URN:NBN:SI:DOC-HOZNHQ5H
Zapri
<script>(function (d, script) { script = d.createElement('script'); script.type = 'text/javascript'; script.async = true; script.onload = function () { iFrameResize({ log: true, checkOrigin: false }) }; script.src = 'https://cdnjs.cloudflare.com/ajax/libs/iframe-resizer/3.5.11/iframeResizer.min.js'; d.getElementsByTagName('head')[0].appendChild(script); }(document));</script><iframe frameborder="0" width="100%" height="482px;" src="http://www.dlib.si/card/URN:NBN:SI:DOC-HOZNHQ5H"></iframe>
Zapri
Sputtering of thin films
Naprševanje tankih plasti
1. PDF datoteka (933 kB)
1. TXT datoteka (22 kB)
Izvoz v EndNote (RIS format)
Avtor(ji)
Musil, Jindrich (avtor)
Jezik
angleški
Vir
Kovine zlitine tehnologije
Leto
1997
Številčenje
letnik 31,
številka 1/2
Vsebina
naparevanje
naprševanje
tanke plasti
magnetroni
plazma
Založnik
Inštitut za kovinske materiale in tehnologije
Železarna Jesenice
Železarna Ravne
Železarna Štore
Izvor
Narodna in univerzitetna knjižnica
Opombe
Naprševanje in izparevanje trdih snovi sta fizikalna procesa, ki sta osnova današnjih fizikalnih (vakuumskih) postopkov nanašanja (PVD) tankih plasti. Do sredine sedemdestih let je naparevanje prevladovalo v PVD tehnologijah. To pa v glavnem zaradi majhne hitrosti nanašanja in relativno visokega tlaka (> 1 Pa), ki je bil potreben pri naprševanju za vzdrževanje plazme. Do preloma je prišlo leta 1971, ko je Chaplin razvil magnetron. Od takrat naprej je bil razvoj postopkov naprševanja zelo intenziven. V tem prispevku so podani glavni mejniki pri razvoju le-teh. Osvetlili bomo tudi sedanje trende razvoja na tem področju v luči zahtev sodobnih tehnologij za 21 stoletje.
Pravice
URN
URN:NBN:SI:DOC-HOZNHQ5H
COBISS ID
68010
Objavljeno
22.07.2011
Metapodatki
Citiranje
APA:
Musil, Jindrich (1997). Sputtering of thin films, letnik 31, številka 1/2.
URN:NBN:SI:DOC-HOZNHQ5H
from http://www.dlib.si
MLA:
Musil, Jindrich.
Sputtering of thin films
.
Inštitut za kovinske materiale in tehnologije
Železarna Jesenice
Železarna Ravne
Železarna Štore
, 1997.
<http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:DOC-HOZNHQ5H>
Kovine zlitine tehnologije
1992-1999
(Zbirni zapis)