Cleaning of thin passivation layers on the Ag contact material with vacuum outgassing
Čiščenje tankih pasivacijskih prevlek na Ag kontaktnem materialu z vakuumskim razplinjevanjem

angleški

2000

letnik 30, številka 2

električni kontakti   razplinjevanje   srebro   tanke plasti

Strokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale

Srebro je dobra električno prevodna in sorazmerno mehka kovina. Zaradi tega je po elektromehanskih lastnostih primerna za električne kontakte. Ker pa je neobstojno v atmosferi s primesmi ?$H_S, CO_2, in Cl_2$?, je treba kontaktni material površinsko zaščititi. Izbrali smo tri pasivacijske zaščitne prevleke in jih nanesli na kontaktni material ?$AgNiO.1S$?. Za dober električni kontakt in nizko kontaktno upornost je poleg električnih lastnosti zelo pomembna tudi čista površina kontaktnega materiala. V laboratorijski razplinjevalni napravi, razviti doma, smo vzorce pasiviranega srebrnega kontaktnega materiala razplinjevali v visokem vakuumu ?$1X10^7$? mbar pri temperaturi 200°C. Analiza razplinjenih substanc je pokazala, da je velikost razplinjevanja vseh treh zaščitnih prevlek majhna, koncentracija plinskih nečistoč pa je odvisna od zaščitne plasti same. Nanose tankih zaščitnih prevlek po visokovakuumskem razplinjevanju smo analizirali še s spektrometrom Augerjevih elektronov.

18.12.2015