Modification of surface morphology of graphite by oxygen plasma treatment
Sprememba morfologije grafita med obdelavo s kisikovo plazmo

angleški

2011

letnik 45, številka 3

grafit    kisikova plazma   elektronska vrstična mikroskopija   morfologija    nanodelci

Inštitut za kovinske materiale in tehnologije
(Obvezni izvod spletne publikacije)

Vzorce visoko orientiranega pirolitskega grafita smo izpostavili delovanju popolnoma disociirane kisikove plazme, ki smo jo vzbujali z radiofrekvenčnim generatorjem. Generator deluje pri industrijski frekvenci 13,56 MHz in izhodni moči 1000 W. Grafitne vzorce, narezane na kose z merami 10 mm x 10 mm * ("1,7) mm v višino in jih obdelovali s plazmo v različnem času do 90 s. Morfologijo prvotno povsem ravnih vzorcev smo opazovali z vrstičnim elektronskim mikroskopom visoke ločljivosti. Opazili smo, da plazemska obdelava vodi k nehomogenemu jedkanju. Sprva se na površini grafita tvorijo kroglasti skupki dimenzije pod 1 m, ki kaj kmalu prerastejo v stožce. Velikost stožcev narašča s časom plazemske obdelave do okoli 40 s, z nadaljnjoobdelavo pa postopoma izginjajo. Po dolgem času obdelave stožci povsem izginejo, namesto njih pa nastanejo okrogle vdolbine. Pri krajših časihobdelave smo opazili tudi nepravilno orientirane kanale. Na mestih, kjer so se nahajali prašni drobci, smo opazili tudi večje stožce dimenzije več mikrometrov. Opažene pojave smo razložili z interakcijo visoko vzbujenih kisikovih delcev s površinskimi atomi ogljika.

14.08.2012