Predstavljamo uporabo analitskih tehnik s hitrimi ioni pri analizi tankih plasti in površin. Z metodo Rutherfordovega sipanja (RBS) smo določali dušikove globinske koncentracijske profile v tankih plasteh ?$TaN_x$?. S spektroskopijo elastično odrinjenih ionov (ERDA) smo izmerili koncentracijske globinske profile vodika v kemijsko obdelanih površinah ?$LiNbO_4$?. Opisujemo lastnosti in potek gradnje spektrometra za ERDA z merjenjem časa preleta, s katerim bomo določali globinske koncentracijske profile lahkih elementov.

Pravice

URN

URN:NBN:SI:DOC-XKXMSKBM

COBISSID

222378

Objavljeno

16.09.2009

Metapodatki

Citiranje

APA:

Pelicon, Primož, Budnar, Miloš, Zorko, Benjamin, Razpet, Alenka (2000). Karakterizacija tankih plasti in površin s hitrimi ioni. Materiali in tehnologije, letnik 34, številka 3/4, str. 161-164. URN:NBN:SI:DOC-XKXMSKBM from http://www.dlib.si

MLA:

Pelicon, Primož, Budnar, Miloš, Zorko, Benjamin, Razpet, Alenka. "Karakterizacija tankih plasti in površin s hitrimi ioni." Materiali in tehnologije letnik 34. številka 3/4 (2000) str. 161-164.
<http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:DOC-XKXMSKBM>

Materiali in tehnologije
2000-
(Zbirni zapis)

Karakterizacija tankih plasti in površin s hitrimi ioniCharacterization of thin films and surfaces with ion-beam analytical techniques

Karakterizacija tankih plasti in površin s hitrimi ioni
Characterization of thin films and surfaces with ion-beam analytical techniques