Visokoenergijski pulz laserske svetlobe lahko uporabimo za uparitev majhnega volumna na površini tarče. Oblak delcev materiala tarče,ki pri tem nastane, kondenzira na podlagah. Laserska svetloba hkrati do visoke stopnje ionizira pare materiala. Za ta namen je najprimernejši ekscimerski plinski (ArF-193nm, KrF-248 nm, XeCl-308 nm) ali trdni Nd-YAG laser (266-1064 nm). Laserji delujejo v pulzih, ki trajajo med 5 in 45 ns, frekvenca ponavljanja je med 1 in 100 Hz, energija enega pulza pa je približno 0,1-1 J. Ta tehnika nanašanja je idealna za nanos tankih plasti kompleksnih, večkomponentnih materialov, kot so visokotemperaturni superprevodniki, feroelektrične in feromagnetne snovi.

Pravice

URN

URN:NBN:SI:DOC-TSY87GE2

COBISSID

16109095

Objavljeno

16.09.2009

Metapodatki

Citiranje

APA:

Kek-Merl, Darja, Panjan, Peter (2001). Nanašanje tankih plasti s pulznim laserjem. Vakuumist, letnik 21, številka 2, str. 4-7. URN:NBN:SI:DOC-TSY87GE2 from http://www.dlib.si

MLA:

Kek-Merl, Darja, Panjan, Peter. "Nanašanje tankih plasti s pulznim laserjem." Vakuumist letnik 21. številka 2 (2001) str. 4-7.
<http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:DOC-TSY87GE2>

Vakuumist
1981-
(Zbirni zapis)

Nanašanje tankih plasti s pulznim laserjemPulsed laser deposition of thin films

Nanašanje tankih plasti s pulznim laserjem
Pulsed laser deposition of thin films