Študij napršenih tankih plasti platine na polimerno podlago
Study of Pt thin films sputtered on polymer substrate

slovenski

1999

letnik 33, številka 1/2

polimeri    naprševanje   platina    relativna vlažnost    senzorji

Inštitut za kovinske materiale in tehnologije

Tanki plasti plantine smo napršili na polimerno podlago kot aktivni elektrodni plasti kapacitivnega senzorja relativne vlažnosti zraka. Odlične električne lastnosti tanke plasti platine in velika korozijska odpornost kot najpomembnejši lasstnosti sta nas vodili k podrobnejši analizi morfoloških lastnosti platinskih plasti. Nanašali smo jih pri različnih naprševalnih pogojih, analizo pa smo usmerili na njihove morfološke strukturne lastnosti. Na elektronskem presevnem mikroskopu (TEM) smo analizirali strukturne lastnosti platinskih plasti, napršenih na polimerno podlago in monokristalno podlago KCl. Topografijo površine platinskih plasti in povprečno velikost otočkov v teh plasteh smo določili z mikroskopijo na atomsko silo (AFM). Na polimerno podlago smo napršili plasti platine debeline 10 in 20 nm. To smo naredili pri sobni temperaturi in študirali vpliv na spremembo morfoloških lastnosti. Z naprševanjem plasti platine na polimerno podlago pri sobni temperaturi smo dobili pri debelini 10 nm nezvezno plast z razpokami. 20 nm debele plasti, napršene pri sobni temperaturi polimera, pa imajo zvezno plast brez razpok.
Nadaljuje se kot: Materiali in tehnologije

13.05.2010