Nanašanje tankih plasti aluminija na silicijeve rezine je pomemben del polprevodniške tehnologije. V članku so podani rezultati karakterizacije tankih plasti aluminija s spektroskopijo Augerjevih elektronov v kombinaciji s C-V metodo in interferometrijo. Prikazani rezultati so dobljeni s preiskavo šestih karakterističnih vzorcev. Tanka plast aluminija je bila nanešena na tri vzorce z elektronskim curkom, na preostale tri pa z indirektnim uporovim ogrevanjem na volframski spirali. Na enem vzorcu iz obeh skupin je bila pred nanosom plasti aluminija, na silicijevih rezinah s termično oksidacijo izdelana samo tanka plast silicijevega oksida. Na drugih dveh je pred nanašanjem Al plasti z difuzijo bora izdelan np spoj ter na preostalih dveh z difuzijo fosforja pn na spoj. Debelina, kemična sestava in elektronske lastnosti tako naparjenih plasti aluminija se najbolj razlikujejo pri tistih plasteh, ki so nanesene na silicijev dioksid, zaradi redukcije tega z aluminijem. Prav tako smo ugotovili, da so Al plasti nanešene z elektronskim curkom veliko boljše v pogledu gibljivih in negibljivih nabitih delcev, katere vnašajo na silicijev dioksid.

Pravice

URN

URN:NBN:SI:DOC-C44DQ2B4

COBISSID

109492736

Objavljeno

18.12.2015

Metapodatki

Citiranje

APA:

Praček, Borut, Muštra, S. (1994). Karakterizacija v vakuumu naparjenih tankih plasti aluminija na silicijeve rezine. Informacije MIDEM, letnik 24, številka 2, str. 123-125. URN:NBN:SI:DOC-C44DQ2B4 from http://www.dlib.si

MLA:

Praček, Borut, Muštra, S.. "Karakterizacija v vakuumu naparjenih tankih plasti aluminija na silicijeve rezine." Informacije MIDEM letnik 24. številka 2 (1994) str. 123-125.
<http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:DOC-C44DQ2B4>

Informacije MIDEM
1986-
(Zbirni zapis)