The characterization of polymer thin films grown by plasma polymerization

Avtor(ji)

Grant, John T. (avtor)
Jiang, H. (avtor)
O'Neill, K. (avtor)
Eyink, K. (avtor)
Johnson, W.E. (avtor)
Johnson, E.M. (avtor)
Tullis, S. (avtor)
Tomlin, D.W. (avtor)
Fleitz, P. (avtor)
Bunning, Timothy J. (avtor)

Jezik

angleški

Vir

Materiali in tehnologije

Leto

2004

Številčenje

letnik 38, številka 1/2

Vsebina

tanke plasti polimeri karakterizacija materialov

Založnik

Inštitut za kovinske materiale in tehnologije

Izvor

Inštitut za kovinske materiale in tehnologije
(Obvezni izvod spletne publikacije)

Opis

Kemijski nanos iz pare s plazmo (PECVD) je bil uporabljen za pripravo homopolimeriziranih, kopolimeriziranih in večplastnih tankih plasti na različnih podlagah. Uporaba polimerov kot linearnih optičnih materialov raste, ker imajo organski materiali več prednosti pred anorganskimi materiali. Med prednostmi so tudi procesiranje in stroški. Optični polimeri imajo lomne količnike v ozkem pasu med 1,4 in 1,6 in za večplastno interferenco je ppotrebna debelina plasti med 75 nm in 100 nm. V tem delu sta kot prekurzorja uporabljena benzen in oktafluorciklobutan (OFCB), ki sta bila zreagirana protitočno iz plazemske cone in v nekaterih primerih iz OFCB plazemske cone. Hitrosti nanašanja in lomni količnik so bili izmerjeni in podatek je uporabljen za načrtovanje in izdelavo fotonskih struktur. Karakterizacija plasti je bila izvršena z vrstično elektronsko mikroskopijo (SEM), Fourier transformacijsko infrardečo spektroskopijo (FTIR), večkotno spektroskopsko elipsometrijo (VASE) in rentgensko fotoelektronsko spektroskopijo (XPS).

Pravice

URN

URN:NBN:SI:DOC-894OIBX1

COBISSID

339114

Objavljeno

16.09.2009

Metapodatki

Citiranje

APA:

Grant, John T., Jiang, H., O'Neill, K., Eyink, K., Johnson, W.E., Johnson, E.M., Tullis, S., Tomlin, D.W., Fleitz, P., Bunning, Timothy J. (2004). The characterization of polymer thin films grown by plasma polymerization. Materiali in tehnologije, letnik 38, številka 1/2, str. 3-8. URN:NBN:SI:DOC-894OIBX1 from http://www.dlib.si

MLA:

Grant, John T., Jiang, H., O'Neill, K., Eyink, K., Johnson, W.E., Johnson, E.M., Tullis, S., Tomlin, D.W., Fleitz, P., Bunning, Timothy J.. "The characterization of polymer thin films grown by plasma polymerization." Materiali in tehnologije letnik 38. številka 1/2 (2004) str. 3-8.
<http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:DOC-894OIBX1>

Materiali in tehnologije
2000-
(Zbirni zapis)