V vseh sodobnih vakuumskih sistemih upravljamo ventile in druge elemente indirektno z elektromagnetno pnevmatiko. Zaradi varnosti mora biti vklučena kontrola sproženih gibov, tehnološki proces pa zahteva še prirejenost teh dejanj spreminjajočim se parametrom, kot so tlak, temperatura, jakost toka, debelina nastajajoče tanke plasti, čas jedkanja itd. Potrebni so torej senzorji gibov in drugih pomembnih veličin. Za celotno obravnavanje podatkov ter upravljanje elementov in s tem vodenje procesa se vse bolj uveljavlja uporaba mikroprocesorjev. Prispevek opisuje razvoj in izvedbo računalniškega krmiljenja, ki je bilo vgrajeno v visokovakuumski črpalni sistem VS 10.

Pravice

URN

URN:NBN:SI:DOC-521WHUUQ

COBISS ID

66986

Objavljeno

22.07.2011

Metapodatki

Citiranje

APA:

Berič, Boris, Drab, Marjan, Pregelj, Andrej, Sulčič, Slavko (1997). Avtomatizacija postopka naprševanja na laboratorijskem visokovakuumskem sistemu, letnik 31, številka 3/4. URN:NBN:SI:DOC-521WHUUQ from http://www.dlib.si

MLA:

Berič, Boris, Drab, Marjan, Pregelj, Andrej, Sulčič, Slavko. Avtomatizacija postopka naprševanja na laboratorijskem visokovakuumskem sistemu. Inštitut za kovinske materiale in tehnologije
Železarna Jesenice
Železarna Ravne
Železarna Štore, 1997.
<http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:DOC-521WHUUQ>

Kovine zlitine tehnologije
1992-1999
(Zbirni zapis)

prejšnja

Procesiranje vakuumskih izolacijskih panelov
1997
(prejšnja številka)

Avtomatizacija postopka naprševanja na laboratorijskem visokovakuumskem sistemuAutomation of the sputtering process on high vacuum lab system

Avtomatizacija postopka naprševanja na laboratorijskem visokovakuumskem sistemu
Automation of the sputtering process on high vacuum lab system