Digitalna knjižnica Slovenije
Narodna in univerzitetna knjižnica
Splošne knjižnice
Celjsko območje
Vse knjižnice območja
Osrednja knjižnica Celje
Knjižnica Laško
Osrednja knjižnica Mozirje
Knjižnica Šentjur
Knjižnica Šmarje
Knjižnica Velenje
Medobčinska splošna knjižnica Žalec
Dolenjsko območje
Knjižnica Mirana Jarca Novo mesto
Knjižnica Brežice
Knjižnica Kočevje
Valvasorjeva knjižnica Krško
Knjižnica Miklova hiša, Ribnica
Gorenjsko območje
Mestna knjižnica Kranj
Občinska knjižnica Jesenice
Knjižnica A. T. Linharta, Radovljica
Knjižnica Ivana Tavčarja, Škofja Loka
Knjižnica dr. Toneta Pretnarja, Tržič
Goriško območje
Vse knjižnice območja
Goriška knjižnica Franceta Bevka Nova Gorica
Lavričeva knjižnica, Ajdovščina
Mestna knjižnica in čitalnica Idrija
Knjižnica Cirila Kosmača Tolmin
Koroško območje
Koroška osrednja knjižnica dr. Franca Sušnika Ravne na Koroškem
Knjižnica Radlje ob Dravi
Knjižnica Ksaverja Meška, Slovenj Gradec
Obalno-kraško območje
Osrednja knjižnica Srečka Vilharja Koper
Knjižnica Makse Samsa, Ilirska Bistrica
Mestna knjižnica Izola - Biblioteca civica di Isola->Matična knjižnica Izola
Mestna knjižnica Piran
Kosovelova knjižnica Sežana
Osrednjeslovensko območje
Mestna knjižnica Ljubljana
Knjižnica Jožeta Udoviča, Cerknica
Knjižnica Domžale
Knjižnica Grosuplje
Knjižnica Franceta Balantiča Kamnik
Knjižnica Litija
Knjižnica Logatec
Knjižnica Medvode
Cankarjeva knjižnica Vrhnika
Pomursko območje
Pokrajinska in študijska knjižnica Murska Sobota
Javni zavod Knjižnica Gornja Radgona
Splošna knjižnica Ljutomer
Spodnjedravsko območje
Knjižnica Ivana Potrča Ptuj
Knjižnica Franca Ksavra Meška Ormož
Štajersko območje
Mariborska knjižnica
Knjižnica Lenart
Knjižnica Josipa Vošnjaka Slovenska Bistrica
Druge knjižnice
Bayerische StaatsBibliotek
Centralna pravosodna knjižnica
Centralna tehniška knjižnica Univerze v Ljubljani
Knjižnica Dušana Černeta Trst
Kraljeva knjižnica, Danska nacionalna knjižnica in univerzitetna knjižnica v Kopenhagnu
Narodna in študijska knjižnica
Österreichische Nationalbibliothek
Semeniška knjižnica
Slovenska študijska knjižnica Celovec
Škrabčeva knjižnica
Univerzitetna knjižnica Maribor
Arhivi in muzeji
Arhiv Republike Slovenije
Goriški muzej
Loški muzej Škofja Loka
Muzej in galerije mesta Ljubljana
Muzej Miklova hiša
Muzej novejše zgodovine Celje
Narodni muzej Slovenije
Pokrajinski arhiv Maribor
Pokrajinski muzej Kočevje
Prirodoslovni muzej Slovenije
Slovenian Museum and Archives - Slovenski muzej in arhiv
Slovenski etnografski muzej
Slovenski šolski muzej
Škofijski arhiv Koper
Menu
SLO
|
ENG
author
full-text
keywords
date
title
source
publisher
collection
AND
OR
NOT
author
full-text
keywords
date
title
source
publisher
collection
AND
OR
NOT
author
full-text
keywords
date
title
source
publisher
collection
AND
OR
NOT
author
full-text
keywords
date
title
source
publisher
collection
AND
OR
NOT
ADVANCED SEARCH
About us
Cooperation
Terms of use
dLib Statistics
Partners
News
Virtual exhibitions
Contact us
My dLib.si
Email
:
Pass.:
Login
Register!
Forgoten password
home
query
URN:NBN:SI:DOC-4MP70BED
Zapri
<script>(function (d, script) { script = d.createElement('script'); script.type = 'text/javascript'; script.async = true; script.onload = function () { iFrameResize({ log: true, checkOrigin: false }) }; script.src = 'https://cdnjs.cloudflare.com/ajax/libs/iframe-resizer/3.5.11/iframeResizer.min.js'; d.getElementsByTagName('head')[0].appendChild(script); }(document));</script><iframe frameborder="0" width="100%" height="482px;" src="http://www.dlib.si/card/URN:NBN:SI:DOC-4MP70BED"></iframe>
Zapri
Mikroobdelava silicija
1. PDF document (1886 kB)
1. TXT document (16 kB)
Add to EndNote (RIS format)
Contibutor(s)
Resnik, Drago (author)
Language
slovenian
Source
Vakuumist
Year
1997
Numbering
volume 17,
issue 4
Publisher
Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije
Provider
Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije
description
This paper present an overview of techniques and fields involved in advanced micromachining of silicon. As the market demands new and sophisticated sensorsand actuators in a various fields of nowadays life, the micromachining as a tool in a constant progress, sometimes even ahead of manufactures needs. As a supplement to microelectronics it is capable to offer new solutions in area of micromechanical systems.
Rights
URN
URN:NBN:SI:DOC-4MP70BED
COBISSID
984148
Added
30.06.2011
Metadata
Citation
APA:
Resnik, Drago (1997). Mikroobdelava silicija.
Vakuumist
, volume 17, issue 4, str. 4-7
.
URN:NBN:SI:DOC-4MP70BED
from http://www.dlib.si
MLA:
Resnik, Drago. "Mikroobdelava silicija."
Vakuumist
volume 17. issue 4 (1997) str. 4-7.
<http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:DOC-4MP70BED>
Vakuumist
1981-
(Assembly record)