Karakterizacija v vakuumu naparjenih tankih plasti Al na Si rezine - Praček, Borut (Informacije MIDEM, 1994)
Nanašanje tankih plasti aluminija na silicijeve rezine je pomemben del polprevodniške tehnologije. V članku so podani rezultati karakterizacije tankih plasti aluminija s spektroskopijo Augerjevih elektronov v kombinaciji s C-V metodo in interferometrijo. Prikazani rezultati so dobljeni s preiskavo šestih karakterističnih vzorcev. Tanka plast aluminija je bila nanešena na tri vzorce z elektronskim curkom, na preostale tri pa z indirektnim uporovim ogrevanjem na volframski spirali. Na enem vzorcu iz obeh skupin je bila pred nanosom plasti aluminija, na silicijevih rezinah s termično oksidacijo izdelana samo tanka plast silicijevega oksida. Na drugih dveh je pred nanašanjem Al plasti z difuzijo bora izdelan np spoj ter na preostalih dveh z difuzijo fosforja pn na spoj. Debelina, kemična sestava in elektronske lastnosti tako naparjenih plasti aluminija se najbolj razlikujejo pri tistih plasteh, ki so nanesene na silicijev dioksid, zaradi redukcije tega z aluminijem. Prav tako smo ugotovili, da so Al plasti nanešene z elektronskim curkom veliko boljše v pogledu gibljivih in negibljivih nabitih delcev, katere vnašajo na silicijev dioksid.
Keywords: Electronika; elektronika; nanašanje aluminija; polprevodniški elementi; tanke plasti; vakuumsko naparevanje