Študij Ni-Cr tankih plasti z elektronsko mikroskopijo - Irmančnik-Belič, Lidija (Kovine zlitine tehnologije, 1997)
Pri kapacitivnem senzorju vlage sta nekaj sto nanometrov debeli plasti No-Cr elektrodi kondenzatorja. Elektrodi morata biti električno prevodni, imeti morata majhne notranje napetosti in zadostno elastičnost, da pri nasičenju dielektrika z vodno paro ne pride do porušitve spoja Ni-Cr plasti in dielektrika. Zgornja elektroda mora biti prepustna za vodno paro. Prepustnost elektrode dosežemo z naparevanjem pod kotom. Kot naparjevanja je definiran kot kot med normalama podlage in uporove ladjice. V delu je podan študij plasti Ni-Cr z analizo TEM, AFM in AES. Tanka plast Ni-Cr je zaradi različnih parnih tlakov Ni in Cr med nanašanjem zelo nehomogena. Spreminja se sestava, prevodnost in morfologija. Plast, ki je naparjena pri kotu 0°, je razpokana, pri kotu 75° pa ima usmerjeno stebričasto strukturo, ki kompenzira napetosti.
Keywords: tanke plasti; nikelj; krom; morfologija; elektronska mikroskopija