Two-port piezoelectric silicon carbide MEMS cantilever resonator - Sviličić, Boris (Informacije MIDEM, 2013)
Keywords: silicijev karbid; silicon carbide; MEMS; resonatorji; resonators; ročice; cantilever; piezoelectric actuation; piezoelektrično vzbujanje; piezoelectric sensing; piezoelektrični senzorji; frequency tuning; uglaševanje frekvence