Nanostructuring surfaces by using ion sputtering - Valbusa, Ugo (Kovine zlitine tehnologije, 1999)
Ionsko jedkanje površine, ki ustvarja ravnotežne oblike podobno kot pri molekularni epitaksiji (MBE), se lahko uporabi tudi za neuravnotežno preoblikovanje površine, kar poveča možnosti MBE. Z uskladitvijo tekmovanja med erozijo pri vpadnem kotu ter reorganizacijo površine zaradi difuzije, je na primer možno oblikovati substrat kvadratne oblike z dobro urejeno valovito površino vzdolž poljubno željene smeri. Potencialna uporaba za tako nano-izdelane substrate je med drugim na področju površinskih prevlek, kjer pričakujemo izboljšanje adhezije kot tudi izboljšanje triboloških lastnosti trdih prevlek. V članku je obravnavana uporaba ionskega jedkanja kot močnega orodja na področju znanosti o materialih, ki omogoča in situ izdelavo substratov z dobro definirano vertikalno hrapavostjo, lateralno periodičnostjo in s kontrolirano velikostjo in orientacijo stopnic.
Keywords: ionsko jedkanje; površine; nano tehnologije; erozija; morfologija; hrapavost