Primerjava metod merjenja debeline tankih plasti - Čekada, Miha (Vakuumist, 2000)
V članku so kratko opisane metode, s katerimi merimo debelino tankih plasti. Pri vsaki je opisano fizikalno ozadje in način merjenja ter podan obseg debeline, na katerem je metoda uporabna. Predstavljene so tudi omejitve glede na vrsto plasti in podlage ter potrebna oprema.
Keywords: materiali; preizkušanje; tanke plasti; meritve; debelina