Karakterizacija krom-nitridne prevleke, nanesene na nerjavno jeklo s postopkom IBAD - Zalar, Anton (Vakuumist, 1999)
Krom-nitridne prevleke, nanesene na podlage iz nerjavnega jekla, omogočijo, da so površine trde in obrabno obstojne. V okviru skupnega raziskovalnega programa "Modifikacija materialov z ionsko obdelavo za industrijsko uporabo", ki ga je organizirala Mednarodna agencija za atomsko energijo (IAEA), je bila trda prevleka kriptona CrN z nestehiometrično sestavo nanesena na jeklene podlage (SS304) in preiskana v dvanajstih laboratorijih. Tu poročamo o rezultatih raziskav sodelavcev Laboratorija za analizo površin in tankih plasti Inštituta za tehnologijo površin in optoelektroniko v Ljubljani. Jeklene podlage so prekrili z okrog 1mim debelo prevleko CrN v laboratoriju Spire Corporation v Bedfordu, Massachusetts, ZDA. Za nanos so uporabili postopek IBAD-Ion Beam Assisted Deposition, med naparevanjem kroma z elektronskim curkom pa so tanko plast obstreljevali z ioni dušika. Za doseganje enakomerne debeline in sestave tanke plasti so se med postopkom njenega nanašanja jeklene podlage pomikale prečno nad izviroma Cr in N in se obenem vrtele. Za karakterizacijo krom-nitridne plasti smo uporabili spektroskopijo Augerjevih elektronov (AES), rentgensko fotoelektronsko spektroskopijo (XPS), mikroskop na atomsko silo (AFM), izmerili pa smo tudi njeno trdoto in Youngov modul.
Keywords: tanke plasti; prevleke; površine; kromov nitrid; karakterizacija