Izračun koeficienta razprševanja - Vesel, Alenka (Vakuumist, 1998)
Obstreljevanje površine z energijskimi ioni povzroči razprševanje atomov, to je odnašanje (erozija) površine trdne snovi. Razprševanje povzročajo tako trki vpadnih ionov z atomi na površini trdne snovi kot tudi medsebojni trki atomov trdne snovi (trkovne kaskade). Trkovne kaskade se razširjajo v vseh smereh. Če doseže kaskada površino snovi, lahko le-to zapusti eden ali več atomov. To se seveda zgodi le v primeru, če je njegova kinetična energija večja od površinske vezavne energije. Velikost erozije pri razprševanju nam pove koeficient razprševanja, ki je definiran kot število atomov, ki jih izbije vpadni ion. Koeficient razprševanja lahko eksperimentalno izmerimo, lahko ga ocenimo teoretično, lahko pa ga dobimo tudi z računalniško simulacijo kaskade trkov. V članku najprej opisujemo Sigmundovo teorijo razprševanja, natao pa predstavljamo IBM-ov program SRIM, s katerim simuliramo nastanek trkovnih kaskad.
Keywords: plini; razprševanje; ioni; interakcije; računalniška simulacija