Preiskava tankih večplastnih kovinskih struktur v področju ohmskega kontakta tranzistorja z metodo AES - Praček, Borut (Kovine zlitine tehnologije, 1999)
Ohmski kontakt tranzistorja je električni kontakt med kovinsko plastjo in polprevodnikom. Njegove značilnosti so majhen električni upor, neusmerljivost in linearna tokovna in napetostna karakteristika. V delu je prikazana AES-preiskava tankoplastne kovinske strukture defektnega ohmskega kontakta tranzistorja z neustreznimi električnimi karakteristikami. Preiskana je večplastna tanka kovinska struktura AuSnNiTiSi. Istočasno je bil preiskan vpliv onesnaženja na adhezijo tanke kovinske plasti in podlage. Rezultati preiskave kažejo tudi možne nedoslednosti v tehnologiji izdelave tankih plasti.
Keywords: kovine; električni kontakti; večplastne strukture; nečistoče; površine