Osnovne značilnosti nizkotlačne šibkoionizirane plazme - Mozetič, Miran (Vakuumist, 1997)
Opisujemo osnovne značilnosti nizkotlačne šibkoionizirane plazme, ki se pogosto uporablja pri različnih obdelavah površin trdnih snovi. S preprostim fizikalnim razmislekom ocenimo vlogo elektronov, ionov in drugih težkih delcev v plazmi in razložimo, zakaj lahko v takšni plazmi v isti komori obstajajo delci z bistveno različnimi temperaturami.
Keywords: vakuumska tehnika; vakuum; plazma; fizika plazme; termodinamika