Avtomatizacija postopka naprševanja na laboratorijskem visokovakuumskem sistemu - Berič, Boris (Kovine zlitine tehnologije, 1997)
V vseh sodobnih vakuumskih sistemih upravljamo ventile in druge elemente indirektno z elektromagnetno pnevmatiko. Zaradi varnosti mora biti vklučena kontrola sproženih gibov, tehnološki proces pa zahteva še prirejenost teh dejanj spreminjajočim se parametrom, kot so tlak, temperatura, jakost toka, debelina nastajajoče tanke plasti, čas jedkanja itd. Potrebni so torej senzorji gibov in drugih pomembnih veličin. Za celotno obravnavanje podatkov ter upravljanje elementov in s tem vodenje procesa se vse bolj uveljavlja uporaba mikroprocesorjev. Prispevek opisuje razvoj in izvedbo računalniškega krmiljenja, ki je bilo vgrajeno v visokovakuumski črpalni sistem VS 10.
Keywords: vakuumski sistemi; računalniško krmiljenje; krmilni sistemi; avtomatizacija