A detailed analysis of the resonant frequency and sensitivity of flexural modes of atomic force microscope cantilevers with a sidewall probe based on a nonlocal elasticity theory - Abbasi, Mohammad (Strojniški vestnik, 2014)
Mikroskopi na atomsko silo (AFM) imajo sestavljena tipala na ročico (ACP), katerih debelina je velikostnega reda nekaj mikronov ali manj kot mikron, zato je za preučitev njihovega od velikosti odvisnega dinamičnega vedenja nujna uporaba neklasičnih teorij nosilcev, kot je npr. nelokalna teorija elastičnosti. V članku sta preučeni resonančna frekvenca in občutljivost mikroskopa na atomsko silo s sestavljenim tipalom na ročico s pomočjo nelokalne teorije elastičnosti. ACP je sestavljen iz vodoravne ročice z navpičnim podaljškom. Konica je nameščena na prostem koncu podaljška, zato lahko AFM meri topografijo stranskih sten mikrokonstrukcij. Najprej so bile s kombinacijo osnovnih enačb nelokalne teorije elastičnosti in Hamiltonovega načela določene vodilne diferencialne enačbe gibanja in robni pogoji za upogibne vibracije.
Keywords: mikroskop na atomsko silo; nelokalna teorija elastičnosti; odvisnost od velikosti; sestavljeno tipalo na ročico