Študij reakcij v večplastnih strukturah - Panjan, Peter (Kovine zlitine tehnologije, 1995)
V prispevku so predstavljeni rezultati meritev na večplastnih strukturah Ni/Si,Ti/Si, Mo/Si in Ni/Cr/Si, ki smo jih pripravili z naprševanjem. Za podlage smo uporabili silicijeve rezine (100) in visoko polirano keramiko. Vzorce smo segrevali v cevni peči, v inertni atmosferi od sobne temperature do 750°C. Kinetiko rasti posameznih faz na mejah tankih plasti smo med samim segrevanjem zasledovali (in situ) z merjenjem električne upornosti, po segrevanju na izbrano temperaturo, pa smo vzorce analizirali z Augerjevo elektronsko spektroskopijo (AES), rentgenskim uklonom (XRD), Rutherfordovo spektroskopijo povratno sipanih ionov (RBS) in presevno elektronsko mikroskopijo (XTEM).
Keywords: fizika trdne snovi; tanke plasti; večplastne strukture; reakcije