6
marec 1984
GLASILO DRUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO SLOVENIJE
V.S_E B_I N. A
1.	Sodelovanje Društva za valcuumsko tehniko Slovenije z Društvom za fiziko Kadi^arske, Roland EStvbs
2.	O jesenakeo teSaju "Osnove vakuumske tehnike"
3.	Vakuumski ventili z novim načinom tesnenja t-j Prisotnost računalnika v vakuumskih sistemih
5.	Elektroluminisoentni kazalniki
6.	Uporabnost sorpeijskih črpalk
7.	Sekcija za elektronske sestavne dele, mikroelektroniko in materiale pri jugoslovanski zvezi za ETAN
8.	Program dela DVTS za leto 1984^
9.	Včlanjenje v DVTS
10.	Hazpis tečaja "Osnove" za leto 198'i-
11.	Kratke novice in obvestila
SODELOVANJE DRUŽTVA ZA VAKUUMSKO TEHKIKO SLOVENIJE Z DRUŠTVOK ZA FIZIKO MADŽARSKE, ROLAND EOTVÖ'S
V Budimpešti smo 5•3•198'^ podpisali sporazum o sodelovanju med Društvom za vakuumsko tehniko Slovenije in Društvom za fiziko Madžarske Roland Eötvös. Z naše strani je sporazum podpisal predsednik DVTS, mag. A. Zalar, z madžarske pa je podpisnikov več: predsednik Društva za fiziko Madžarske, prof. dr. K, Kroo, predsednik Mednarodne zveze za vakuumsko znanost.
tehniko in aplikacije (lUVSTA) prof. dr. J.An-tal, predsednik sekcije za vakuumsko fiziko dr. I, Berecz, namesto predsednika sekcije za tanke plasti pa je sporazum podpisal dr, P.Bar-na. Do sporazuma je prišlo na iniciativo in po razgovorih dr. E. Kanskega (lEVT) in dr. P.Barne (MUFI) že v lanskem letu in po predhodnih pripravah na sejah obeh društev. Osnovni namen
Spurgzuma je izmenjava strokovnih informacij med člani obeh društev, ki delajo na področju vakuumske tehnike in tenkih plasti.
Poleg drugih določil sporazum predvideva izmenjavo strokovnih predavanj in publikacij. Članki članov enega društva, ki bodo objavljeni v strokovnih glasilih drugega društva, naj bodo prevedeni v angleščino. Predvideno je tudi, da se določeno število članov enega društva udeleži strokovnih posvetovanj, ki jih priredi drugo društvo. Sporazum zelo natančno določa financiranje aktivnosti, ki potekajo med društvoma.
Kako se bo to sodelovanje razvilo v naslednjih letih je seveda odvisno od aktivnosti članov obeh društev. Pri tem mislim predvsem na pripravo predavanj in strokovnih člankov. Zaželje-no je, da Člani DVTS povečajo aktivnost na tem področju, da bi potem lahko najboljša dela predstavili madžarskim kolegom.
Ob mojem obisku, do katerega je prišlo na povabilo Društv» za fiziko Madžarske sem imel v Budimpešti, v prostorih društva in 6.5.8t- v Debrecenu na Inštitutu za nuklearne preiskave pri Madžarski akademiji znanosti (ATOMKI), predavanje z naslovom:"Analiza tankih plasti s spektroskopijo Augerjevih elektronov in ionskim jedkanjem." Na posebno željo vodje oddelka za vakuumsko fiziko inštituta v Debrecenu, dr. I. Berecza, sem predstavil tudi osnovno dejavnost lEVT.
Inštitut v Debrecenu ima poseben oddelek za vakuumsko fiziko, ki bi bil po besedah direktorja tega inštituta pripravljen sodelovati z lEVT. Po moji oceni, ki sem si jo ustvaril med ogledom te ,a inštituta, je tako v pogledu visokega strokovnega nivoja kot v dobri organiziranosti in urejenosti inštituta, stran, ki bi s tem sodelovanjem največ pridobila, vsekakor lEVT. Zato bi morali vakuumisti in vodstvo lEVT dani predlog resno premisliti.
Znano je, da Društvo za fiziko Madžarske s svojo vakuumsko sekcijo sodeluje z avstrijskim vakuumskim društvom, ter da prirejata
društvi vsaki 2-5 leta skupne kongrese na področju vakuumske tehnike. Več let je znana ideja, da bi k temu sodelovanju pristopila tudi Zveza društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije - JUVAK. Iz razgovorov, ki sem jih imel z madžarskimi kolegi, smo ugotovili, da bi lahko že na naslednjem takem vakuumskem kongresu, ki bo predvidoma oktobra, leta 1985 v Debrecenu, že sodelovali člani JUVAK, tako pri organizacijskem delu kot z aktivno udeležbo na kongresu. V prihodnje naj bi ti kongresi postali srečanja vakuumistov treh držav: Kad-žarske, Avstrije in Jugoslavije. Verjetno bi kongres v letu 1986 ali 1987 že organizirali v Jugoslaviji. Ali bo res do tega prišlo, je odvisno sarao od naše aktivnosti.
V Budimpešti sem na Raziskovalnem inštitutu za tehnično fiziko pri Madžarski akademiji znanosti obiskal še laboratorija za analizo površin in za elektronsko mikroskopijo, kjer so mi predstavili njihovo najnovejše področje dela in zadnje dosežke.
12 nekajdnevnega obiska sem poleg drugega lahko spoznal, da imajo na Madžarskem podobne težave z uvozom nove raziskovalne opreme in rezervnih delov kot pri nas, ki pa jih deloma rešujejo s povezovanjem strokovnjakov z različnih področij v interdisciplinarne skupine in izdelujejo različne, tudi večje naprave, ki jih ne zmorejo kupiti na zapadu. Na primer, na inštitutu v Debrecenu so izdelali svoj ESCA sistem, ki ga sedaj izdelujejo tudi za druge naročnike. Pri tem je pomemben podatek, da praviloma take delovne skupine opravljajo delo pogodbeno in za opravi jeno delo, izven rednega delovnega časa, dobijo dodatno plačilo. Enak trend je opaziti v madžarski družbi tudi na drugih področjih dejavnosti, sa^ je privatna iniciativa vse bolj dobrodošla in nagrajena. Sklep je enostaven: od takšne oblike organiziranosti ima ta koristi tako posameznik kot družba. Tudi na tem področju bi se morali iz madžarskih izkušenj česa naučiti, da bi laže premagali uvavnilniško miselnost v naših razmerah.
mag. Anton Zalar
lEVT, Ljubljana
O JESENSKEM TEČAJU "OSNOVE VAiCUUMSKE TEHNIKE"
Standardni program tečaja, objavljen v pretekli številki "Vakuunista", smo izpeljali v treh dneh: 15., 16. in 17. novembra 1985.Vse je po-
tekalo tekoče po že ustaljenem urniku: prva dva dneva od do 15*^ in od 15^ do 18^® ure, zadnji dan pa le dopoldne.
Priprave na tečaj so se pričele po poletnih dopuatih in sicer z obvešSanoera po pošti v septembru (pismena obvestila na okrog 2oo naslovov -različni OZD-i v SRS), nato pa še v glasilu ISKRA in v "Vakuumistu". V roJcu je poBlalo prijave komaj 14 posameznikov, oziroma delovnih organizacij, zadnje dni pa se jih je želelo kar telefonično prijaviti še toliko, da vseh ni bilo več možno sprejeti. Meja zmogljivosti male predavalnice na EEVT-ju je namreč med 3o in 35 slušateljev.
Tečaj je tokrat obiskovalo 35 tečajnikov in sicer iz sledečih delovnih organizacij:
-	Lek, Ljubljana	7
-	ETA, Cerkno	1
-	FHT, Univerza v Ljubljani	1
-	Inštitut J. Štefan, Ljubljana 1
-	IMP - črpalke, Ljubljana	1
-	Univerzitetni klinični center, Ljubljana	1
-	METALNA, Maribor	1
-	Iskra Žarnice, Ljubljana	1
-	Bayer Pharma, Ljubljana	1
-	Zlatorog, Maribor	1
-	Železarna Jesenice	1
-	Iskra-upori, Šentjernej	1
-	Fakulteta za strojništvo Univerza v Ljubljani	1
-	Vozila, Nova Gorica	2
-	IMV - Razvojni institut	1
-	Iskra-Kondenzatorji, Semič	2
-	IMV Novo Mesto	1
-	Tovarna org. kislin -Ilirska Bistrica	k
-	Iskra - Telematika, Kranj	1
-	lEVT, Ljubljana	1
-	Pecro - Gorenje, Slovenj Gradec	1
-	Samostojni poslušalec	1
Ob zaključku tečaja smo se za slabo uro sešli tečajniki, predavatelji in organizatorji.
Opisano je bilo delovanje društva in pomen njegovega vzgojno-izobraževalnega dela; nato pa so predstavniki udeleženih OZD na kratko prikazali, kako pri njih uporabljajo vakuum in kakšne probleme imajo z njim pri vsakdanjem delu. Za odpravljanje le-teh bodo nekaj pripomogla tudi nova znanstva tako med udeleženci samimi, kot tudi med udeleženci in sodelavci lEVT oziroma predavatelji.
Glede tečaja smo bili enotnega mnenja, da je bil uspešen, vendar so bile izrečene tudi nekatere kritične misli oz. napotki za boljše delo v prihodnje; tu naj omenimo predvsem želje po večjem poudarku na vajah. Tako iz omenjene razprave na zaključnem srečanju, kot tudi iz seznama delovnih organizacij - udeleženk je razvidno, da se vakuumska tehnika uporablja vse pogosteje in na najrazličnejših tehnoloških področjih. Ker v slovenskem prostoru očitno obstaja tudi veliko naprav z grobim vakuumom, je še kako prav da DVTS pripravlja nov krajši tečaj in sicer s tematiko vzdrževanja vakuumskih postrojenj.
Andrej Pregelj
lEVT, Ljunljana
VAKUUMSKI VENTILI Z NOVIM NAČINCK TESNENJA
Na vakuumskem kongresu v Madridu so nekateri proizvajalci vakuumske opreme in naprav predstavili svoje proizvodne programe ter razstavili zanimive in nove dosežke.
VAT, švicarski proizvajalec vakuumskih sestavnih delov je prikazal ultravisokovakuumske ventile z novim načinom tesnenja, ki jih je poimenoval VAT SPRING ventili. Ti ventili so narejeni izključno iz kovinskih materialov in imajo vrsto prednosti pred ventili z elasto-memimi tesnilkami.
Na raznih vakuumskih sistemih se največ uporab-
ljajo ventili z elastomernimi tesnilkami. So razmeroma poceni in imajo dolgo življenjsko dobo. Vzdržijo do nekaj deset tisoč zapiranj, ne da bi bilo potrebno tesnilko zamenjati. Pri zapiranju ventila je potreben vsakokrat približno enak pritisk na tesnilko, saj se le-ta elastično deformira. To omogoča izdelavo ventilov, ki jih avtomatsko krmilimo, tako da lahko celoten vakuumski sistem uporabljamo s pomočjo računalnika.
Zapiralni mehanizem je običajno izveden z vzmetjo, ki daje vedno enak pritisk na tesnilko, ventil pa odpiramo pnevmatsko ali elektromag-
netno. Ventili se avtomatsko zaprejo, če zinanj-les komprimiranega zraka ali izpade električna napetost. Seveda so možne txidi drugačne izvedbe avtooBtskega zapiran;3a ali odpiranja.
vajalec zagotavlja tesnoet po loo ooo in več zapiranjih in več kot Jo pregrevanjih d) narejeni so iz materialov, ki niso občutljivi na korozivne medije
Slaba stran teh ventilov je razmeroma velika permeabilnost elastomernih tesnilk. Elastome-ri tudi ne vzdržijo visokih temperatur in take ventile lahko pregrevamo največ do 2oo''C
Kako tesnijo VATSPHING ventili? Prerez ventila je prikazan na slikah 1 in 2. Tesnilna plošča spominja na krožnikasto vzmet. Njena površina je zelo trda, natančno geometrijsko obdelana
Slika 1.: Zaprt ventil
Slika 2.: Odprt ventil
Za najstrožje ultravisokovakuumske zahteve se uporabljajo ventili s kovinskimi tesnilkami, ki jih lahko pregrevamo do '^oo®C in imajo zelo veliko tesnost. Pri zapiranju se tesnilka (običajno je bakrena) plastično deformira in se prilagodi reliefu tesnilnih površin. Pri vsakem naslednjem zapiranju je potreben večji pritisk na tesnilko, da tesno zapira. Slaba stran teh ventilov je razmeroma kratka življenjska doba tesnilke. Močni "vakuumisti" zaprejo ventil le nekaj deset krat, potem pa morajo tesnilko zamenjati. Pri pazljivem ravnanju zdržijo tesnilke nekaj sto zapiranj. Ker moramo pritisk na tesnilko povečevati, ventilov ni mogoče z enostavnim mehanizmom avtomatsko lo'Diliti.
Novi ventili z VATSPHING načinom tesnenja potrebujejo za tesno zapiranje vedno enako silo, tudi po velikem številu zapiranj. Tako je mogoče opremiti ventile z enostavnim mehanizmom za avtomatsko zapiranje oziroma odpiranje na vzmet ali komprimiran zrak. Ti ventili imajo še vrsto dobrih lastnosti;
a)	zelo velika tesnost do 1 x lo"^® mbar 1/sek
b)	lahko jih pregrevamo v odprtem ali zaprtem položaju do 450*^0. Niso občutljivi na večje temperaturne razlike med gretjem ali ohlajanjem
c)	imajo zelo dolgo življenjsko dobo. Proiz-
in spolirana na supefiniš. V priraerih ko so ventili namenjeni za prepjrevanje nad 15o°C je prevlečena še s kovinsko prevleko, debelo le nekaj tisočink mm, ki preprečuje, da bi se (pri segrevanju) hladno zavarila na elastični tesnilni sedež.
Tesnilni sedež ima obliko ploščatega obročka, ki je privarjen po zunanjem robu v ohišje ventila. Obroček je stožčaeto izbočen, tako da v preseku stoji pravoko.;no na tesnilno ploščo. Notranji tesnilni rob obročka je zaokrožen. Obroček je izdelan iz nikljeve zlitine, ki je termično obdelana in ima visoko mejo elastičnosti.
Ko ventil zapremo, se tesnilna plošča pritisne v elastični tesnilni nased. Spoj je vakuumsko tesen, brž ko se plošča s stožčastim obodom okrog in okrog dotika tesnilnega sedeža. Za zapiranje ventila je potrebna razmeroma majhna sila. Zaradi dobro preračunane geometrije in natančne obdelave imajo VATSPHING ventili izjemno dolgo življenjsko dobo, ker se pri zapiranju tesnilni površini povsem elastično deformirata. Tudi po velikem številu zapiranj je za tesen spoj potrebna še vedno enaka sila.
Šetina Janez, dipl.ing. lEVT, Ljubljana
PRISOTNOST RAČUKALKIKA V VAKITOKSKIH SISTEMIH
Uvod
V okviru devetega mednarodnega vakuumskega kongresa v Madridu je potekala tudi razstava, na kateri so svoje izdelke razatavljali proizvajalci vakuumske opreme. Velik del razstave je bil odmerjen meritvam; videli smo najrazličnejšo merilno opremo: od takoreko<5 vsakdanjih pripomočkov za merjenje tlaka in razpoznavanje posameznih sestavin atmosfere v vakuumskem sistemu do najzahtevnejših instrumentov, kot so sistemi za analizo materialov. Prav tako kot v ostalih področjih tehnološkega razvoja, tudi na podro5ju vakuumske tehnike nezadržno prodirajo računalniki. Ta prodor je bil jasno razviden tudi na madridski razstavi. Pri nekaterih instrumentih je bila prisotnost računalnika očitna že na prvi pogled, pri drugih pa je že kratek pogovor s predstavniki proizvajalca odkril, da gre za elektronske rešitve,ki v sebi skrivajo mikroračunal-niški sistem. Če že ne drugače, so instrumenti vsebovali vsaj elektroniko, ki omogoča ra-čunalniši nadzor oziroma računalniško odčitavanje merilnih vrednosti.
Mislim, da je umestno povedati nekaj besedi o prisotnosti računalnika pri praktičnih sistemih tudi v reviji, ki se sicer ukvarja isključ-no e problematiko vakuumske tehnike in tehnologije.
Prikaz postopnega spreminjanja vloge računalnika pri tehničnih problemih
S samim razvojem računalnikov katerih spominske in s tem tudi računske zmožnosti so dovoljevale obravnavanje enostavnih tehničnih prob-
je, porabili več časa, kot so ga porabili strokovnjaki za izračun po klasični "peš" poti.
Z nadaljnim razvojem računalnikov, so le-ti postali praktično vse uporabnejši. Novo razviti in pogosto že standardizirani programski paketi (S(FTWAHE) so močno skrajšali čas, potreben za proeramiranje.Tako izvedeni računalniški jeziki 80 naenkrat postali dostopni širšemu krogu uporabnikov, ki niso strokovnjaki na področju računalništva. Ravno s tem je bila dana možnost, da se uporaba računalnika razširi na vsa mogoča področja znanosti in tehnike.
Kadaljnemu razvoju je botrovala človekova počasnost in njegova nesposobnost sledenju hitro spreminjajočih se praktičnih problemov. Pretok informacij je šel sprva iz merilnega instrumenta preko človeka do računalnika (si. 1).
Pri takem režimu dela računalnik v glavnem čaka na informacijo, ki jo bo podal človek. Na ta način se torej ne da spreminjati za človeka hitro spreminjajočih se dogodkov. Uvesti je bilo treba direktno povezavo med računalnikom in merilnim instrumentom. Ta povezava teče preko naprav, ki jih imenujemo vmesniki.Naloga in smisel vmesnika postaneta jasna, če si ogledamo probleifi merjenja temperature,
Napetost, ki jo daje senzor za temperaturo (termočlen) zaradi nadaljne obdelave močnostno ojačimo. Tako ojaoan signal moramo spremeniti iz analogne v digitalno obliko, da bo informacija za računalnik sprejemljiva. To preoblikovanje izvaja analogno/digitalni pretvornik. Ka sliki 2 je skiciran opisan merilni sistem.
REZULTATI
PROCES -
slika 1
MSRILMI INSTRTOE^T:
- »- RAČUNALNIK
leraov, smo prišli do možnosti, da izvedemo včasih zamudno računanje po hitrejši poti. S tem si pridobimo nekaj časa, ki ga lahko porabimo za koristnejše stvari. Prvi poskusi izračunavanja praktičnih problemov so bili delo računalniških zanesenjakov, ki so za samo izdelavo programov, po katerih naj bi teklo računan-
TERMOCLER-->-OJAC,
U —-- I
A/D
RAC.
TOESNIK
slika 2
v našem primeru lahko rečemo ojačevalniku in A/D pretvornilcu skupaj kar vmesnik.
Celotni sistem, pri katerem sta merilni instrument in raSunalnik povezana direktno, bi shematsko lahko predstavili tako, kot je to na sliki 3.
Ce tako še naprej sledimo razvoju, pridemo do naslednjega koraka, kjer računalnik ne aamo izvaja analizo dobljenih podatkov, ampak tudi po vnaprej podanem algoritmu knaili proces. Razmere ponazarja slika 4.
V novejšem času ae pojavljajo tudi vmesniki, ki so že sami sposobni lo'militi določene merilne instrumente oz. sisteme. Tak sistem bi imel obliko, ki je podana na sliki 5. Tu ni treba posebej poudarjati, da se v notranjosti inteligentnega vmesnika spet nahaja raitooračunalnik.
Kratek opis vmesnika za krmiljenje guadrupol-nega masnega spektrometra
Na madridski razstavi je bilo prisotnih mnogo
REZULTATI
slika 3
KRMILNI^ I ČLEN___
PROCES
MERILNI "i INSTRUMENT
—«^vmesnik!- -1
alika 4
ČLOVSK y» PRcjaRAM
-- 1
RAČUNALNIK
M
EH
<
►J S
to »
«
PROCES
KRMILNI, ČLEN
MERILNI INSTRUMENT
INTELIG.^ VMESNIK ^
(človek^ prcIgrak
I
- I -
RAČUNALNIK
H g
t3 N
CC
slika 5
Tako sestavljen sistem že močno razbremeni človeka. Ima pa to slabo lastnost, da popolnoma zasede računalnik. Računalnik je v večini primerov, kjer se krmili preproste procese, s tem slabo izkoriščen. Z namenom, da bi sprostili čas računalnika takrat, ko čaka na podatke oziroma, ko ponavlja množico preprostih računskih operacij, so se v toku razvoja pojavili tako imenovani inteligentni vmesniki, ki določene računske operacije lahko izvajajo sami. Računalniku podajajo le povzetke izračunov. S tera je računalnik mnogo manj zaseden in lahko v sproščenem času opravlja druge, pomembnejše in predvsem težje naloge.
računalniško krmiljenih instrumentov. Ker je računalniška industrija danes že prišla na nivo standardizacije, ki omogoča, da za isti namen lahko uporabimo mnogo različnih univerzalnih računalnikov, so se proizvajalci merilne opreme orientirali tako, da proizvajajo instrumente, ki v svoji notranjosti že vsebujejo primerne vmesnike. Nekateri proizvajalci (uri iz ZDA) pa so se lotili proizvodnje ločenih sistemov - se pravi posebej inteligentni vmesnik. Lep primer takega sistema predstavlja UTI-jev quadrupolni spektrometer. Inteligentni vmesnik tu predstavlja saaostojno enoto, ki omogoča uporabnikom quadrupolnega spek-
trometra, da za nadzor in analizo podatkov uporabijo povsem splošen računalnik. Inteligentni vmesnik vsebuje spominski del, v katerem so zapisani programi, ki skrbe za izvajanje naslednjih operacij;
1.	Skaniranje masnega spektra
2.	Spremljanje določenega dela spektra
3.	Meritev in nastavljanje ojaSanja elektronske poanoževalke
4.	Meritev totalnega tlaka
5.	Kalibraoija lokacije določene mase
Zgoraj naštete funkcije, ki so interno programirane , nočno zmanjšajo dolžine programov, ki jih mora uporabnik napisati zato, da bi spektrometer izvajal zeljene operacije. Računalniški program le pokliče ime v internem pomnilniku inteligentnega voeanika zapisanega programa in poda zeljene parametre, vse ostalo izvrši inteligentni vmesnik sam.
Ker se originalno dani programi lahko pokažejo kot omejitev za uporabo spektrometra, je
poleg teh programov dana tudi možnost, da uporabnik krmili spektrometer s svojimi programi, ki se izvajajo neodvisno od programov v inteligentnem vmesniku. V tem primeru se naš inteligentni vmesnik obnaša kot normalni vmesnik.
Zaključek
Prednosti rač'-jialniško krmiljenih sistemov se kažejo predvsem v dveh pogledih« Tako organizirani sistemi puščajo človeku več prostega časa, ki ga lahko ustvarjalno porabi in kot druga prednost se pokaže zanesljivost oz. točnost odčitavanja merilnih vrednosti.
Madridska razstava je pokazala prav neverjeten prodor računalništva v sfere vakuumske tehnike in tehnologije. Sistemov za analizo materialov si danes v tako popolni obliki brez računalnika nebi mogli več zamisliti.
Igor Belič, dipl.ing. lEVT, Ljubljana
ELEKTROLUHINISCEKTKI KAZALNIKI
Predstavitev
Skoraj pol stoletja poznan fizikalni pojav, da luminiseentna snov v električnem polju sveti, dobiva v zadnjem času tudi na praktični uporabnosti.
Ploskovna svetila, ki bi dajala enakomerno, hladno sv tlobo različnih barv in primerne intenzitete, so že vrsto let cilj številnih raziskav in imajo velike možnosti uporabe. Izgleda, da so med najrazličnejšimi možnimi načini (plazma, vak. fluorescenca in dr.) elektroluminiscentna (EL) ploskovna svetila še najbližja navedenim zahtevam. Največji pomanjkljivosti teh naprav sta bili do nedavnega prekratka življenjska doba in visoka vzbu-jevalna napetost. Boljše poznavanje fizikalnih procesov in uporaba sodobnih analitskih metod sta privedla do odkritja ustreznejših materialov , ki zadovoljujejo zahtevam širše uporabe. EL svetila se že uvrščajo med konkurenčne digitalne in analogne kazalnike.
Izdelava
Na stekleno ploščico (a) je pirolitsko ali z vakuumskio naprševanjem nanešena prozorna
elektroda (b). Običajno je to SnOj ali InjOj s sledmi nekaterih elementov (Sb, F, Cl), ki izboljšajo prevodnost. Na to plast je nanešena aktivna EL snov (c), ki je običajno ZnS z dodatkom kovin - aktivatorjev, Mn, Cu, Y.Tb, ki določajo barvo svetlobe. Po načinu nanosa te plasti ločimo debeloplastne (P = powder) in tankoplastne (TP = thin filma) EL kazalnike. Pri prvih nanesemo na podlago pripravljeno EL snov v prahu z dodanim vezivom, kar po-
U
Slika 1.: Enostavna izvedba iX kazalnika
meni nekaj deset mikronov debeline. Tankoplast-ni so naperjeni in imajo poleg aktivne EL plasti še izolacijske plasti,skupne debeline pod mikron. Neprozorna elektroda (d) je večinoma naparjen aluminij, pri debeloplastnih pride v poštev še koloidni grafit.
Za dolgo delovanje kazalnikov ^je pomembna zaščita pred zunan.jimi vplivi,posebno pred vlago, ki uniči svetilo v nekaj urah. Inkapsuli-ramo jih lahko v epoksi smole, plastiko, stekleno kotttoro ali vtalimo v steklo, odvisno od zahtev in možnosti.
Kapa.ian.ie
EL svetila napajamo z izmenično napetostjo (AC), nekatera z enosmerno napetostjo (DC). Za kazalnike ima DC napajanje prednosti pred AC zaradi enostavnejše krmilne elektronike, vendar je tehnologija priprave plastne DC strukture dosti zahtevnejše od AC plastne strukture (slika 1). Med elektrodama v AC svetilu kljub di-elektriku teSe tok v DC svetilu pa moramo napraviti ravno prav prevodno plast, da teče primeren tok, in zaporno plast, da dobimo dovolj veliko električno poljsko jakost za vzbujanje EL snovi, da le-ta sveti. Tankoplast-nih enosmernih (TFDC) EL svetil ravno zaradi navedenih zahtev še ni moč kupiti. Delovne napetosti AC in DC EL kazalnikov so na sliki 2.
10-
4
ca o
>H ■p
O >
10
	prozorni
	X Tf-EL
	visoke
	x' kontfostni
	/ Tf-EI.
	1
, 1	
o	100 200 M
b
Slika 2. Svetilnost EL svetila v odvisnosti od vzbujevalne napestosti a) debeloplastni b) tankoplastni
Izvedbe
Poleg delitve EL svetil na debeloplastne (P) in tankoplastne (TP), izmenične (AC) in enosmerne (DC), jih je možno ločiti tudi glede na vrsto uporabljenih substratov in veziv. Ti so izbr&ni glede na namen svetila.
Razmeroma enostavna je izvedba ploskovnih svetil, panelov imenovanih. Na kovinsko folijo je nanešena plast izolatorja in nanjo EL snov v
organskem vezivu. Čez to je vakuumsko naprše-na prozorna elektroda. Plast je vtisnjena z obeh strani med pastični foliji.
Drupa možnost je vzeti za substrat kovinsko ploščico in kot veziva uporabiti stekla. Prah EL snovi in prah stekla v pravem razmerju na-nesemo na substrat in segrejemo do tališča stekla. Na to plast naneeemo prozorno elektrodo in čeznjo stekleni prah z nižjim tališčem,da se pri ponovnem segrevanju ne zlije s spodnjo plastjo. Panel je dokaj robusten, deluje pa na AC od 5o Hz naprej.
Že najenostavnejši kazalnik mora imeti nekaj ločenih polj oziroma elektrod, zato je dokaj ugodno izbrati za substrat steklo in prozorno elektrodo na njem pojedkati s fotolito-Rrafskiapostopkom na željenih mestih. Nanos ostalih plasti pri debeloplastnem kazalniku je izvedljiv s sitotiskom. Tanke plasti napa-revamo v vakuumu preko mask. Pomembno je, da so vse plasti nanešene med enim črpanjem, zato je potrebno veliko izvorov ali povezanih komor za naparevanje (cenat).
Kazalniki so namenjeni za prikaz analognih količin, večsegmentni prikaz simbolov ali za matrično polje .Slednjega omogoča prag napetosti, pri kateri EL snov zasveti, tako da se pri pravilni izbiri napetosti izognemo motenju stolpcev in vrstic pojavu "cross-talk", ki je sicer slabost tekočih kristalov.
Omeniti velja še, da so debeloplastni EL kazalniki sipalci vpadne svetlobe in imajo majhen kontrast, dočim so TP-EL kazalniki prozorni in jih na temnem ozadju vidimo tudi pri direktni sončni svetlobi.
Fizikalno ozad.ie elektroluminiscence
Vredno se je dotakniti vprašanja, zakaj nekatere snovi svetijo in druge ne. Odgovorna je atomska zgradba in urejenost trdne snovi. Kaj-pogoatejša atomska rešetka je ZnS tipa. Ta pa mora imeti vgrajene kovinske atome, ki napravijo v kristalu dodatne nivoje v energijski reži med valenčnim in prevodnim pasom.Z električnim poljem vzbujen "vroči" elektron, se "ujame" na teh nivojih in po določenem času preskoči v osnovno stanje. Ta prehod pa je lahko sevalen ali ne. Večina jih je drugega tipa in ravno poznavanje mehanizma prehodov omogoča povečanje kvantnega izkoristka luminis-centne snovi - luminofora. Čistoča osnovnega EL materiala in primesi, ki doprinesejo k učinkovitosti le v ozkih mejah koncentracij, je ključni problem izdelave luminoforov in je po
zahtevnosti primerljiva s dopiranjem čistega silicija v poIprevodniški tehnologiji.
Udeležba vakuuma pri izdelavi
Izdelava TP-EL kazalnikov sloni povsem na vakuumskih tehnikah nanašanja plasti, izdelava P'EL kazalnikov pa ne.
Za dolgo delovanje EL kazalnika je poleg kvalitete aktivne plasti pomembno še kontaktira-njein zaščita pred vlago. Za hrbtne elektrode se pri TP in P tipu kazalnikov uporablja visoko vakuumsko naparjeni aluminij. Enota je heroetično zaprta na način, ki se uporablja
za zapiranje vakuumskih elementov. Brezhibno zaprt kazalnik ima danes pri svetilnosti nekaj sto kandel na kvadratni meter življenjsko dobo (»čas do oslabitve na polovico začetne svetilnosti) nekaj deset tieoč ur, kar je za večino namenov uporabe dovolj. Znano pa je, da je življenjska doba obratno sorazmerna s svetilnostjo t.j. obremenjenostjo svetila, kar opravičuje krmilno elektroniko z možnostjo uravnavanja vzbujevalne napetosti v odvisnosti od svetlobe .
Vinko Nemani^ dipl.ing.
IBVT, Ljubljana
UPORABNOST SORPCIJSKIH ČRPALK
Sorpeijske črpalke so nenadomestljive v takšnih vakuumskih sistemih,kjer imata hitrost črpanja in čistoča primarni značaj. Poleg tega sorpeijske črpalke tudi ne morejo kontaminirati sistema (kot na primer difuzijske črpalke z oljnimi parami) in ne povzročajo vibracij, ker nimajo vrtečih oziroma gibljivih delov. Te Črpalke s hladilnimi krilci iz čistega bakra in z molekularnim sitom črpajo vakuumske sisteme do tlaka pod 1 X lo~' mbar to je do tlaka, ki je
kule plinov. Ta osnovna tehnika je še danes nespremenjena, le da se uporabljajo drugi materiali. Koderne sorpeijske črpalke vsebujejo molekularna sita 5 X (ta sprejemajo molekule, katerih premer ni večji od o,5 nm). To so zmesi oksidov aluminija in silicija, ki imajo izredno veliko razmerje med površino in volumnom. Sorpcijska črpalka črpa tako, da absorbira molekule plina na ohlajenem molekularne ni situ. Tekoči dušik doteka preko bakrenih cevi s kril-
TOK , IJ , TEKOČEGA,/ HA DUi.KA /
A CEV S KRILCI I
_I MÖLEKJLARNO
5JT0
SI. 1.
SI. 2.
potreben na primer za zagon ionske črpalke. Za delo črpalke je potreben samo tekoči dušik. Tehnika sorpcijskega črpanja sloni na ugotovitvi, da je ohlajeno lesno oglje, ki je predhodno degazirano, učinkovit zbiralnik za mole-
či, ki omofiočajo dobro in učinkovito ohlajevanje molekularnega sita (absorbents) na temperaturo tekočega dušika. Dokler črpalka aktivno črpa mora biti potopljena v tekoči dušik, kar omogoča standardna Dewarjeva posoda; običajno
•fO
je kar iz stiropora. Ko se po črpanju črpalka ogreje na sobno temperaturo se na molekularno sito vezan plin desorbira in izhaja skozi iz-pustni ventil. Takšen način regeneracije se normalno uporablja za približno trideset črpanj pri normalni vlažnosti, potem pa se časi črpanja bistveno podaljšajo. To je znak, da je ab-
Zifpolka.
uf
v <
10
frmiehla/efat^
a ^a nün I
\
V
IS e
; I	irfiolkA				
ficrea'"«^					
					
	iS min				
	S<		xlk.	3	
!					
i f-	\	s			
		s.			
!					
r					
IS o
SI. 3.
Ena sorpcij-ska črpalka Črpa volumen 46 litrov
Dve sorpcij-ski črpalki črpata volumen loo lit.
lOnIn IS
Tri sorpcij-ske frpalke črpajo volumen 18o lit.
sorbent nasičen z vodno paro. S pregrevanjem črpalke pri približno 5oo°C se ji povrne prvotna črpalna zmogljivost. Za pregrevanje se uporablja grelni tlak. Regeneracije s pregrevanjeni so veliko bolj potrebne črpalke, ki črpajo od atmosferskega tlaka kot pa tiste, ki začno črpati pri nižjem tlaku.
Priključne cevi, prirobnice in telo črpalke so iz nerjavnega jekla, notranje cevi s krilci iz čistega (OFHC) bakra; cevka za izpust plina po končanem črpanju in med pregrevanjem črpalke pa iz elastoriiernega materiala (Viton-A), ki se uporablja za tesnilke v visokem vakuumu. Vsi zvari so narejeni s tehniko varjenja v inertni atmosferi. Tipičen presek sorpcijske črpalke je prikazan na sliki 1, kompletna črpalka z Dewarjevo posodo in grelnim trakom pa na sliki 2. Diagrami na sliki 3 prikazujejo možnosti črpanja s sorpcijskimi črpalkami.
Kje uporabljamo sorpcijske črpalke?
a)	Pri laboratorijskih eksperimentih depozici-je tankih plasti, proizvodnji elektronskih cevi in povsod kjer se zahteva absolutno čist grobi vakuum
b)	Pri sistemih ultravisokega vakuuma, ki se lahko pregrevajo za predizčrpavanje sli pri eksperimentnih raziskavah, ki zahtevajo grobo črpanje brez vibracij
c)	V kombinaciji z ionsko črpalko predstavlja idealen komplet za naprlevanje
Ka lEVT uporabljamo komplet dveh sorpcijskih črpalk za predizčrpavanje kovinskega, pregrev-Ijivega UVV sistema za analizo površin s spektrometrom na AuRer.ieve elektrone (AES). S prvo črpalko izčrpamo sistem do približno o,2 mbar; z drugo pa zatem dosežemo približno 1-2 x lo~' mbar, ko že vključimo ionsko-getersko črpalko.
Praček Borut, dipl.ing. lEVT, Ljubljana
SEKCIJA ZA ELEKTRONSKE SESTAVNE DELE, MIKROELEKTRONIKO IN MATERIALE PRI JUGOSLOVANSKI ZVEZI ZA ETAN
Leta 1955 je pričel z delovanjem Jugoslovanski komite za elektroniko, telekomunikacije, avtomatizacijo in nuklearno tehniko, splošno poznan pod kratico ETAN. Postavil si je za nalogo, da društveno-strokovno organizira inženirje, tehnike in druge strokovnjake v interdisciplinarni povezavi, ne glede na njihovo strokovno smer. To se vidi tudi iz imena, ki naznačuje najvažnejša področja v času nastanka ETAK-a. Danes so ta področja poglobljena, a vendar povsod zastavljena tako, da povezujejo stroke, ki
skupaj delajo za dosego postavljenih ciljev. Osnovni cilj je bil vsekakor pomagati nasi družbi in gospodarstvu, da se analizirajo, javno objavljajo in usmerjajo strokovni dosežki na področju delovanja BTAN-a. Svojo moč in aktivnost je ETAK pokazal že v prvih letih z izvedbo študij in posvetovanj, skupaj z gospodarsko zbornico in strokovnimi združenji gospodarstva, od leta 1955 dalje pa tečejo vsako leto tradicionalne konference ETAN-a, ki vedno v drugem mestu Jugoslavije omogočajo prikaz

dela na tem področju.
Na IX. plenujnu EJTAN-a marca 1962 ^e bila z no-vito statutom predvidena notranja organizacija strokovnega dela v takozvanih zveznih strokovnih odborih za posamezna področja. Tak zvezni strokovni odbor za elektronske sestavne dele in materiale (a kratico SSOSP)je bil oanover v jeseni leta 1962 s sedežem v Ljubljani. V Sloveniji smo se namreč že v prvem povojnem obdobju zelo aktivno ukvarjali z razvojem in s proizvodnjo elektronskih sestavnih delov in materialov, pri čemer je zrasla večja skupina strokovnjakov raznih strok, specializiranih na tem tako interdisciplinarnem področju. Vsi ti so se že takoj po nastanku ETAN-a vanj vključili, leta i960 pa so tudi organizirali v Ljubljani 1. jugoslovansko posvetovanje o sestavnih delih za elektronske naprave. To posvetovanje je bilo tedaj s svojimi 2oo udeleženci in 22 preglednimi referati forum za oceno stanja ter usmerjanje razvoja industrije elektronskih sestavnih delov v Jugoslaviji. Sledilo je leta 1961 posvetovanje o sestavnih delih za avtomatizacijo v Ljubljani, nato pa leta 1965 II, posvetovanje o elektronskih sestavnih delih in materialih prav tako v Ljubljani. Slednje je organiziral že novo ustanovljeni zvezni strokovni odbor za sestavne dele (SSOSD) v BTAN-u. Prisotnih je bilo 17o strokovnjakov ter podanih 27 referatov.
Po prvem statutu SSOSD je njegovo področje dey lovanja obsegalo leta 196? deset strokovnih skupin, v letu 1964^ pa so bile dodane še tri tako, da je v prvem desetletju delovalo vsega trinajst strokovnih skupin in sicer: upori, kondenzatorji, dusilke in transformatorji, elektronske cevi, polprevodniški elementi in materiali, magnetni materiali, izolacijski materiali, elektromehanski sestavni deli, sestavni deli, sestavni deli za signalizacijo in varnostne naprave, pretvorniki fizikalnih veličin v električne, instrumenti za vgradnjo, kabli in vodniki ter ostali mehanski deli za avtomatizacijo.
Posebno aktivna je bila skupina za polprevodnike pod vodstvom prof. Radovana Tavzesa, ki je leta 1964^ organizirala v Beogradu tudi prvi jugolsovanski sestanek z 2o referati.
SSOSD je nato vsako lato organiziral tradicionalne letne simpozije ob priliki razstave elektronike v Ljubljani, ki so nato dobili naziv SD in bo letos organiziran že dvajseti po vrsti. Ti simpoziji so vedno imeli kot težišče vodilno temo, leta 1965 pa je bil simpozij pos-
večen v celoti mikroelektroniki. Tako je bil predhodnik danes že tradicionalnih jugoslovanskih posvetovanj o mikroelektroniki, ki so organizirana izmenično v jugoslovanskih industrijskih bazenih. SD pa je postal letno zbirališče strokovnjakov s področja elektronskih sestavnih delov in materialov, ki so vsakokrat v 5o do ^o referatih predstavili rezultate svojega raziskovalnega in proizvodnega dela. Na teh simpozijih smo z veseljem lahko prisluhnili tudi zanimivim referatom, povezanim z vakuurosko znanostjo in tehniko, ki so jih mnogokrat podajali delavci Inštituta za elektroniko in vakuumsko tehniko v Ljubljani.
Hikroelektronika ob ustanovitvi SSOSD še ni bila posebno področje, je pa postajala vse bolj aktualno in vsepričujoče dejstvo, ki je vplivalo na dejavnost vseh strokovnjakov, včlanjenih v SSOSD, Zato je bila v imenu dodana še mikroelektronika. Odbor se je ob reorganizaciji Jugoslovanskega komiteja za SJTAN po načelu zveze regionalnih društev in ob pretvorbi dotedanjih zveznih strokovnih odborov v zvezne strokovne sekcije BTAK-a nato z novim statutom leta 1977 preimenoval v Strokovno sekcijo za elektronske sestavne dele, mikroelektroniko in materiale (SSESD), to je v naziv, ki ga ima še danes.
Leta 197'*^ se je z II. jugoslovanskim posvetovanjem o mikroelektroniki, ki je dobilo kratico MIEL, v Zagrebu pričela serija posvetovanj s tega področja. Obravnavala so tako znanstve-no-strokovno, kot tudi proizvodno in programsko problematiko ter so postala letno stičišče informacij jugoslovanskih razvijalcev, proizvajalcev in uporabnikov mikroelektronike. Bo leta 1982 predvsem jugoslovanska posvetovanja, so se pričela leta 1983 v Zagrebu iiternacio-nalizirati z dogovorjenimi tujimi referati, leta 1984 pa bo na MIEL 8«- v Nišu (12. po vrsti) od 9o referatov že skoro polovica tujih. To kaže na uspešnost politike mednarodnega odpiranja SSESD ter na izredno aktualnost medsebojnega informiranja strokovnjakov, ki delajo na industrijskih raziskavah v mikroelektroniki. Samo po sebi je razumljivo, da tudi tu mnogo referatov sega na področje vakuumske znanosti in tehnologije, ki sta neločljivo povezani z mikroelektroniko.
Aktivnost SSESD pa se seveda ne omejuje le na prirejanje simpozijev in posvetovanj iz svojega področja. Aktivno sedeluje pri izbru in ocenjevanju referatov s področja elektronskih sestavnih delov, mikroelektronike in materialov na letnih konferencah ETAN-a. Že leta 1965 je bil izdelan predlog nomenklature elektron-
Y2
ekih sestavnih delov, medtein ko Je takratna zamisel izdaje kataloga jugoslovanskih izdelkov s tega podroSja aaradi pomanjkanja finančnih sredstev propadla.
Posebno pomembna dejavnost je od 1 ta 1969 izdajanje "Informacij SSESD", ki eo danes po zaslugi urednika A. Kebra prerasla v splošno cenjeno glasilo s kvartalnira izhajanjem. Te informacije, ki jih dobivajo člani brezplačno, so ainogo doprinesle k medsebojnemu povezovanju članov, objavljajo pa tudi strokovne članke in informacije industrije s področja delovanja SSESD.
Zadnja leta delovanja se Je sekcija posvetila tudi vprašanjem šolanja kadrov za mikroelek-troniko in substitucije uvoznih materialov za elektroniko z domačimi. Ustanovila je zato posebne komisije. Komisija za šolanje kadrov ima nalogo, da zbere podatke o učnih programih in učbenikih za srednje in visoko šolane kadre za mikroelektroniko in njeno uporabo. Druga komisija pa je leta 1981/82 izvedla v podjetjih jugoslovanske elektronske in elektroindustrije ter v inštitutih za raziskavo materialov P07 sebno anketo o letnem uvozu materialov in o možnostih za njihovo zamenjavo z domačimi materiali, O rezultatih te ankete bo v kratkem izšla posebna publikacija SSESD.
Sekcija namerava ustanoviti še nekatere druge komisije za splošno aktualna vprašanja, s katerimi se žele ukvarjati njeni člani. V formiranju je na primer'komisija za senzorje, za katera je precej zanimanja med člani in zainteresiranimi inštituti oziroma podjetji.
Posebno akrb posveča SSESD organizaciji strokovnih potovanj na velike razstave o elektronskih sestavnih delih ter a tem povezani tehnologiji v Parizu in HUnchnu.
Načrti za bodoče obsegajo predvsem boljšo po-
vezavo 8 sorodnimi strokovnimi organizacijami doma in v tujini. S koordinacijo smo na primer zgledno vzpostavili vsklajeno delo z organizacijo ETAN-a na Reki, ki prireja leta posvetovanja, seminarje in okrogle mize o uporabi mikroprocesorjev in mikroračunalnikov, MIPRO. Posebej smo veseli povezave s Slovenskim vakuumskim društvom in prilike, da v listu Vakuumist lahko informiramo njegove člane o našem delu ter načrtih. Pri interdisciplinarnosti našega dela pa ne dvomimo, da se bo kateri član priključil še naši sekciji v ETAN-u.
Nadalje želimo povečati našo strokovno biblioteko, v kateri so že sedaj nekateri redki izvodi poročil strokovnih posvetovanj ob priliki fflUnchenške Elektronice in Produotronice. V načrtu imamo tudi dvig naših Informacij SSESD na raven javnega strok vnega glasila o elektronskih sestavnih delih, mikroelektroniki in materialih, da ne bodo v glavnem dostopne samo našim članom, temveč širši strokovni javnosti. Seveda se zavedamo težavnosti naloge in dolgotrajnih postopkov, ki so v zvezi s tem nujni.
Preko predvidene komisije za stike z javnostjo in ob vključitvi predvidenega novega organizacijskega sekretarja želimo bolj prodreti v jugoslovansko elektronsko in elektroindustrijo, saj upamo, da bomo s tem dobili nove možnosti financiranja našega dela. Obenem pa smo si zastavili za cilj, da močno povečamo število naših članov, pri tem pa da jim tudi več nudimo.
Na koncu še nekaj koristnih informacij o SSESD:
-	Sedež'.v Ljubljani, Titova 51, tel.: 316-886;
-	Predsednik:dr. Rudi Ročak,
-	Glavni tajnik: Pavle Tepina, dipl.irc;.
-	Orednik Informacij SSESD je Alojz Keber, dipl. ing., tel.:265-261 (IJS), Ljubljana
mgr. Milan Slokan, dipl.iae, SSESD, Ljubljana
PROGRAM DELA DVTS ZA LETO 198i^ - sprejet na seji I.O. - 2.2.1984
Tečaj "OSNOVE VAKUUMSKE TEHNIKE" (maj ali Junij)
Tečaj "TANKE VAKUUMSKE PLASTI" {jesen 1964) Izdaja zbornika "Tanek vakuumske plasti" (jesen 1984)
-	Ponatis zbornika "Osnove vakuumske tehnike"
-	Predavanji z diapozitivi lUVSTA (2 krat)
-	Priprava in izdaja 3 (treh) številk "Vakuumist"
-	Priprava zbirke vaj pri tečaju "Osnove va-

kuumske tehnike"
Priprava tečaja za vzdrževalce vakuumske opreme
Sodelovanje z drugimi jugoslovanskimi društvi za vakuumsko tehniko (JUVAK) Sodelovanje s Fizikalnim društvom - Roland EStvKs iz Budimpešte
-	Urejanje in dopolnjevanje laboratorija za vakuumsko tehniko
-	Pridobitev prostora za pisarno društva
-	Organizacija strokovne ekskurzije
-	Organizacija predavanj s področja vakuumske tehnike (2 krat)
VČLANJEIJJE V DVTS
Vsako leto vpisujemo članstvo v DVTS znova. Običajno to poteka celo leto in mnogi vplačajo članarino šele decembra. V društvu želimo, da bi v bodoče ta popis opravili v začetku tekočega leta ali pa že ob koncu preteklega leta; prosimo, da bi se vsi ki žele postati čla-
ni, že letoB ravnali po tej prošnji. Po sklepu seje I.O.DVTS z dne 2.2.84 je članarina za leto 198't - 2oo.- din. Kdor bo vpačal po pošti naj na položnico vpiše: "članarina DVTS". Številka žiro računa društva pa je: SDK, Lj. 5olol-678-5224o.
RAZPIS TEČAJA "OSNOVE VAICtJUMGKE TEIililKE"
Vabimo vas, da se udeležite tečaja "Osnove vakuumske tehnike", ki bo 7., 8. in 9. maja 198'^ (ponedeljek, torek in sreda) in sicer v knjižnici IStituta za elektroniko in vakuumsko tehniko, Teslova 3o, Ljubljana. Kotizacija bo 7.000 din. Vsak udeleženec bo prejel zbornik predavanj, ki obsega naslednja popil a v ja:
1.	Pomen in razvoj vakuumske tehnike
2.	Fizikalne osnove vakuumske tehnike 5. Rotac? jske črpalke
Menbranske črpalke
5.	Difuzijske črpalke
6.	Sorpcijske črpalke
7.	Vakuuaiski spoji in tesnilke
8.	Vakuumski sistemi
9.	Vakuummetri
10.	Odkrivanje netesnih mest (leak detekcija)
11.	Vakuumski materiali in delo z njimi
12.	Vakuumske tankoplastne tehnologije
13.	Pomen površin v vakuumski tehniki in njihova karakterizacija
14.	Vakuumska higiena in čisti postopki
15.	Doziranje, čiščenje in preiskave plinov
Tečaj je namenjen za vso, ki imajo opravka z vakuumskimi napravami in postopki oziroma z uvajanjem le-teh v svoje tehnološke procese. Pripominjamo, da bo za vzdrževalce vakuumskih naprav predvidoma že letos jeseni c-ganiziran poseben izobraževalni dan. Osnovni tečaj pa bo poleg predavanj, ki se v glavnem skladajo z zgornjimi naslovi, obsegal še vaje in ogled Inštituta. Prijave pošljite na naslov: Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije, Teslova 5o, 6I000 Ljubljana. Dodatne informacije po telefonu 265-461 daje organizacijski odbor: Pavli Peter, Nemanič Vinko in Žižek Slavko,
KRATKE NOVICE IN OBVESTILA
ICTF - 6
Mednarodna zveza za vakuumsko znanost, tehniko
in uporabo lUVSTA, organizira s pomočjo švedskega vaScuuraskega društva šesto mednarodno kon-
ferenco o tankih plasteh ICTF-6, in sicer v Stockholmu od 13.-17. avgusta 1984.
Dosedanja triletna sreiSanja, ki so bila 1969 v Bostonu, 1972 v Benetkah, 1975 v Budimpešti, 1978 v Loughborough-u (Anglija) in 1981 v Herzlia-on-Sea (Izrael), so opravičila veliko zanimanje znanstvenikov sa specialne teme, ki so jih obravnavale konference.
Tudi letošnja konferenca ima namen prikazati dela in dosežke s področja tankih plasti. Glavne teme na ICTF-6 bodo naslednji:
1,	nanašanje tankih plasti in tehnike za pripravo površin pred nanašanjem
2.	Rast, stabilnost in procesi urejanja tankih plasti
5. Določanje osnovnih parametrov tenkih plasti, kot so struktura, mehanične, električne, optične, magnetne in dielektrične lastnosti
Uporaba tankih plasti pri mikroelektronskih vezjih, tankoplastnih senzorjih, integriranih senzorjih v optiki, pri pretvarjanju sončne energije, zaščitne in dekorativne plasti, itd.
Na konferenci bodo obravnavane v okviru simpozija specialne teme kot ao: A - Fizika zelo tankih plasti B - Tanke plasti v optiki C - Tanke plasti v proizvodnji integriranih
vezij VLSI D - Zelo trde prevleke na orodjih
Organizacijski komite konference ICTF-6 sestavljajo priznani mednarodni strokovnjaki s področja fizike tankih plasti.
Za vse dodatne informacije lahko pišete sekretarju konference na naslov: Dr. SSren Berg, Institute of Technology, Uppsala University, B.O.X.	7^121 Uppsala,
Sweden.
A. Banovec
OBISK POLJSKIH STROKOVNJAKOV IZ UNITRA-ITHE
V času od 16.-27. januar 1984- so obiskali lEVT vakuumisti iz Poljske in eicer doc. dr. Z. Libra nt , dipl.ing.rf Kuszkat in dipl.ing. A. Olezy-na. Obisk se je vršil"na osnovi sporazuma o sodelovanju na znanstveno-tehničnem področju. Imenovani strokovnjaki so sodelavci Instituta za tehnologijo elektronskih materialov ITME--UNITRA. V času obiska so proučevali naslednja
področja:
-	Aplikacija Augerjeve elektronske spektroskopije na vzorcih iz ITra
-	Tehnologija spojev keramika-kovina in metode preizkušanja trdnosti spojev
Zanimali pa so se tudi za splošno usflieritev in organizacijo raziskav ter dejavneti na tehnološkem področju na lEVT.
Ob tej priliki naj omenimo, da sta njihov institut v dec. 1983 obiskala tudi naša sodelavca P. Pavli, dipl.ing. in V. Nemanič, dipl.ing.
K. Buh
J5TROKOVM VEl^RRT flVTH
Za letošnje leto sta nam ostala za skupinski ogled še dva od celotne garniture diapozitivov, ki so jih članice lUVSTE pripravile za vzgojo in izobraževanje vakuumskih kadrov. Kompleta se imenujeta:
-	Vakuumske meritve in merilniki - (35 dia) ter
-	Meritve parcialnih tlakov (4o dia)
Za prvi večer bo komentar pripravil mgr. Povb Bojan, dipl.fiz. in sicer predvidoma v sredo 3o. maja ob 19 uri, za drugega pa Zavašnik Hasto, dipl.ing. in sicer v oktobru 1984. Diapozitivi bodo obakrat predstavljeni v knjižnici lEVT, Teslova 5o, Ljubljana.
MIEL - 84.
Sekcija za elektronske sestavne dele, mikro-elektroniko in materiale pri Jugoslovanski zvezi za ETAN, Ljubljana in Elektrotehniška zveza Slovenije organizirata skupno z lokalnima organizatorjema: Fakulteto za elektroniko. Niš in Ei-Niš Tovarno polprevodnikov: XII. JUGOSLOVANSKO POSVETOVANJE O filKRO-ELEKTROKIKI
Vsi omenjeni vabijo, da se posvetovanja KIEL--84 udeležite in sicer od do 9. maja 84 na Fakulteti za elektroniko v Kisu. Kamen srečanja je spoznavanje dosežkov in izmenjava tehničnih informacij med strokovnjaki vseh delov Evrope ter iz industrije za mikroelektroniko, univerz in drugih institutcij ia Jugoslavije. Uradni jezik bodo vsi jugoslovanski jeziki in angleščina. Prijavljenih je poleg naših že
tujih referatov. Ob posvetovanju bo tudi razstava proizvodov, opreme in literature s področja mikroelektronike.
Namesto kotizacije je obvezno naročilo zbornika referatov po ceni 2.ooo din. Informacije: SSESD in EZS (Elektrotehniška zveza Slovenije), Ljubljana.
SD - 81-
SSESD pri Jugoslovanskem združenju za ETAK in Elektrotehniška zveza Slovenije prirejata v času razstave Elektronika 84, oktobra letos na GR v Ljubljani: XX. jugoslovanski simpozij o elektronskih sestavnih delih in materialih. SD-84. Ua letošnjem simpoziju, ki bo imel poudarek na elektronskih sestavnih delih za telekomunikacije se bo tako kot običajno obravnavala tudi problematika ostalih sestavnih delov in materialov - med njimi mnogih, ki si jih brez vakuumskih tehnologij sploh ne moremo zamišljati.
Oba prireditelja vabita na aktivno oziroma pasivno udeležbo. Kotizacija za udeležbo: 3-2oo din (vračunan je zbornik referatov).
Roki: - prijava referata do 15.4.94
-	potrditev	15.4.84
-	referate oddati do 31.8.84
-	prijave za udeležbo
z vplačilom do - 15.9.84
Vse nadaljne informacije daje Elektrotehniška
da bi letos podelil približno 15 štipendij. Število je v zadnjih letih upadalo in lani pristalo na
Ker je za letošnje prijave že razmeroma pozno, naj interesenti pomislijo že sedaj na morebitno prijavljanje v prihodnjem letu; razpis (vsa leta je zelo podoben) bo izšel že letos jeseni. Kandidati lahko dobe pojasnila in formu-larje pri:
lUVSTA Welch Foundation Administrative Office,
Division of Electrical Engineering,
Room 162, Building M-5o
National Research Council
OTTAVA, CANADA KIA 0R6
AVS - AMERICAN VACUUN SOCIETY
Ameriško vakuurasKo društvo eno najmočnejših vakuumskih društev na svetu je lani praznovalo 3o-letnico svojega obstoja in prav v lanskem jubilejnem letu je število članstva pri njih preseglo številko 5ooo.
STROKOVNA EKSKURZIJA
DVTS bo organiziralo predvidoma v maju, 1984 strokovno ekskurzijo k firmi Leybold Heraeus v KBln in Hanau. Predvidoma bo 2/5 sredstev za udeleženca prispevala matična delovna or-
zveza Slovenije: Ljubljana, Titova 5o, tel .316-886.	^^^ DVTS. Prijave zbira in in-
formacije daje organizacijski odbor: L. Pipan,
R. Kalan in A, Pregelj. (lEVT, Teslova 3o, 61000 Ljubljana, tel. 263-461).
ŠTIPENDIJE IZ SKLADA WELCH PRI "IUV3TA"
Kot vsako leto bo tudi letos prav kmalu (v aprilu) potekel rok za prijavo za pridobitev zgoraj omenjene mednarodne enoletne štipendije, ki je namenjena za specializacijo mladih strokovnjakov, ki se žele izpopolnjevati na področju vakuumske tehnike. Specializacija se prične vsako leto jeseni 1. septembra in sicer v enem od priznanih laboratorijev nekaterih evropskih držav in ZDA. Šipendija znaša približno 7ooo US 0 ; izplačana je v treh obrokih in sicer eden na začetku (55oo 2), drugi (5ooo Ž) šest mesecev po pričetku dela in tretji (5oo 0) ob predaji končnega poročila o delu.
ČASTNO IMENOVANJE
Ob 3o-letnici delovanja je skupščina SMEITJ (Zveze strojnih in elektrotehniških inženirjev in tehnikov Jugoslavije) 23. februarja 1984 proglasila štiri naše priznane vakuumske strokovnjake za zaslužne člane Sf^ITJ, in sicer: dr. Franceta Laha in dr. Evgena Kanskyja iz DVT Slovenije ter prof.dr. Brano Perovič in prof. dr. Ivana Ševarca iz DVT Srbije. Iskreno čestitamo!
Odbor za podeljevanje štipendije predvideva,
Uredištvo
VAKÜUHIST - Glasilo Društva za vakuumsko tehniko Slovenije, reslova 5o, 61111 Ljubljana, Telefon: 263-461. Ureja uredniški odbor: Andrej Pregelj, Monika Jenko, Peter Pavli, Vinko Nemanič, Anton Zalar, Rastislav ZavaŠnik, Borut Praček, Igor Belič, Ludvik Pipan, Milan Taeevski, Jože Gasperi?,