marec 1982 GLASILO DRUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO SLOVENIJE VSEBIMA 1 Oktoberski cečaj vakuumskega društva 2 Delovanje društva v letu 1981 3 Merilniki vakuuma IJ Uvod v dielektrične tanke plasti 5 Augerjeva spektrometri ja 6 Rotacijske črpalke - povzetek vaj s tečaja 7 Izdelava vakuumske trde spajke Ag-Cu 8 Specializacija na področju vakuumske tehnike 9 Seminar o vakuumskih tehnologijah-Leybold Heraeus 10 Kratke novice 11 Koledar srečanj, prireditev v letu 1982 OKTOBERSKI TEČAJ VAKUUMSKEGA DRUŠTVA Lani, 21. 10. se je končal drugi tečaj iz osnov vakuumske tehnike v letu 1981. Vsebinsko je bil enak kot januarski. Potekal je tri dni v knjižnici lEVT in udeležilo se ga Je 27 tečajnikov. Tečajnina je bila 5.000,- za udeležence iz organizacij in 150,- din aa študente. Veselo preseneča dejstvo, da je po prvem tečaju, ko je bilo poslušalcev 38, tudi drugi pokazal tako lepo udeležbo, čeprav obveščanju nismo posvetili toliko pozornosti kot pri prvem. Obvestila so bila poslana le organizacijam, ki so pokazale zanimanje že za januarski tečaj, dodatno pa je bil sedaj še objavljen razpis: dvakrat v "Delu' in enkrat v glasilu ISKRA. Ker so bili tokrat s plakati obveščeni še vsi tehnični instituti in fakultete, smo pričakovali večji obisk le strani študentov ter predavateljev; toda pcV -zalo se je drugače. Udeleženci so bili i. slednjih delovnih organizacij: Iskra- Kondenzatorji, Semič: 5 teeajniirtih toriS"; - pričelo se je prevajanje tekstov k diapozitivom lUVSTA, ki ga člani društva opravljajo brezplačno; - pričelo se je zbiranje materiala in ekipe za pripravo materiala za tečaj "Vakuumske tanke plasti"; - na lEVT je društvo poiskušalo dobiti malo sobico za svojo pisarno; odobren smo dobili kot v knjižnici, vendar prostor ni zaživel, ker je veliko društvenega materiala in arhiva, ki ga tja ne moremo prenesti; - pripravljati smo pričeli samoupravni sporazum o združevanju sredstev med društvom in posameznimi delovnimi organizacijami. Dodelati je potebno še spisek uslug, ki Jih društvo lahko nudi, potem pa iti v razgovore. To naj bi postal poleg tečajev pomemben vir dohodka za društvo, ki sicer ne dobiva nobenih dotacij. - pričeli smo evidentirati člane za novi I.O., kajti po statutu letos sedanjemu I.O. poteče mandat. Želimo, da bi v novem I.O. redneje sodelovalo več članov iz različnih delovnih in raziskovalnih organizacij. A nd rp Pr» f^« 1 j, i ip 1 , ir ^. lEVT, T MERILNIKI VAKUUMA Podali bomo kratek pregled bolj navadnih in splošno razširnjenih vakuummetrov ali priprav za merjenje tlaka razredčenih plinov od atmosferskega tlaka navzdol. Tu nas zanima celotni (totalni) tlak vseh nastopajočih plinov in par. Opustili bomo obravnavo merilnikov ultra visokega vakuuma in merilnikov vrhunske natančnosti. Za zelo široko področje tlakov imamo na razpo- lago različne merilne principe. Vsaka vrsta merilnikov Je s specifičnimi fizikalnimi in konstrukcijskimi razlogi omejena navzgor in navzdol. S posameznim merilnikom navadno ne moremo zajeti več kot nekaj dekad tlačne skale. Le višje tlake, predvsem v področju grobega vakuuma, Je mogoče meriti direktno na mehanski način, z uravnoteženjem pritiskanja plina na premično trdno ali tekočo površino. Taka meritev je dokaj zanesljiva in neodvisna od vrste plina. Proti nlžjira tlakom pa nam preostane le indirektno merjenje, ki se opira na kako od tlaka odvisno lastnost plina, npr. toplotno prevodnost ali ionizaeijo. Točneje velja, da so take lastnosti odvisne od številske gostote plinskih molekul, ta pa Je v eno-uBni zvezi s tlakom le pri termodinamičnem ravnovesju, ki ga že sam merilnik bolj ali manj zmoti. Sazen od gostote pa so odvisne tudi od vrste plina, npr. od molekularne mase. Zato bo tak merilnik kazal prav le tlak tistega plina, za katerega je umerjen. To Je navadno zrak ali dušik, toda v vakuumu lahko nastopajo tudi drugi plini in pare. Poleg tega so taki merilniki obremenjeni z raznimi neizogibnimi motilnirai efeKui. ^aco Je točnost meritev vakuuma v primerjavi z drugimi meritvami razmeroma majhna in napaka že v področju srednjega in visokega vakuuma kaj hitro preseže 50%, če nistno posebno skrbni. Pri merjenju vakuuma je treba med drugim paziti, kje in kako je merilnik priključen. Upoštevati moramo, da v dinamičnem sistemu tlak pada vzdolž voda proti črpalki, zato naj bo merilnik čim bliže mestu, kjer nas tlak zanima. Merilniki, ki se segrejejo, lahko oddajajo znantne količine plina in je tedaj tlak v njih višji. lonizacijski merilniki lahko vezejo plin na svoje površine ali pa mu spreminjajo sestavo. Zato naj bo priključni vod čim krajši in čim širši. Mnogi merilniki so občutljivi na nečistoče, a tudi sicer se jim lahko kali-bracija spreminja v teku uporabe. Zato jih Je treba čistiti in občasno kontrolirati. Pri izbiri merilnika za določeno rabo se je treba med drugim ozirati na obratovalne razmere. V laboratoriju lahko uporabljamo bolj občutljive in lomljive naprave, v industriji pa se zahtevajo bolj robustne. Oglejmo si zdaj po vrsti principe in lastnosti važnejših merilnikov! 1.) Vakuummetri s prožnim elementom. Prožni element se vdaja sorazmerno pritisku plina in skala Je praviloma linearna. Kazanje ni odvisno od vrste plina, napravo pa Je treba občasno kontrolirati na osnovi primerja- ve s kakim drugim vakuummetrom. Najbolj enostavni in robustni so manometri na Bourdonovo cev, ki so širše znani za raerisnie ns"iftlak'~" Če se tlak v cevi zmanjša, jo zunanji (atmosferski) tlak močneje zvije, premik se pa prek sistema vzvodov prenaša na kazalec. Najobžutlivej-še izvedbe segajo do okrog 1 mbar. Ker je ka-anje odvisno tudi od atmosferskega tlaka, Je točnost meritve težko boljša od - 10 mbar. Pri raznih membranskih manometrih Je kazalec povezan z majhnimi premiki kovinske membrane. Če je na drugi strani membrane atmosfera, Je kazanje tudi odvisno od zunanjega tlaka. Drugače je pri izvedbah, pri katerih drugo stran membrane herneti-čno zapremo in za stalno izčrpamo, ali pri tistih, ki imajo membrano oblikovano v zaprto prožno kapsulo, od vseh strani izpostavljeno merjenemu tlaku. Take kapsule poznamo pri aneroidnih barometrih, le da so pri njih izpostavljene ozračju. Ce ima tak instrument končni odklon pri 1 bar bomo z njim komaj še razbrali tlak 10 mbar Kajbolj občutljive Izvedbe začno veliko niže in segajo do 0,1 mbar, so pa hkrati tudi bolj občutljive na sunke. Pri nekaterih membranskih vakuummetrih sc premiki membrane zaznavajo električno, npr. na osnovi spremembe kapacitivnosti med membrano in fiksno ploščo oD njej. Tako je mogoče občutljivost zelo povečati in v skrajnem primeru meriti celo tlake okrog 10 ^ mbar. Potrebni pa so posebni ukrepi, s katerimi eliminirano vpliv ter,-peraturnih sprememb na reakcijo vakuum-metra. Cena takih naprav Je lahko zelo visoka . 2.) Tekočinski vakuummetri. Najbolj znane so steklene cevi, ukrivljene v obliki čr.;e U in polnjene 2 živim srebrom ali olje'. Višinska razlika nivojev na obeh stran.--je absolutno merilo za tlačno razliko. ?ri uporabi Hg pomeni vsak nm staro tlačno enoto torr, ki jo pa moramo po novem pr računati v zakonite enote (1 mbar = O," torr).Pri olju Je treba poznati gostoti, ki Je veliko manjša, višinske razlike so toliko večje. Voda za vuumske mer ne pride v poštev, ker preveč izparc'-. Takih vakuummetrov ni treba umerjati, beti pa je treba za čistočo. Napak-, o^č.. vanJa zaradi kapilarnih sil doii' nsv no več mm. Bistveno se da zmanjšati le z uporabo širokih cevi (po več cm). To za širšo rabo ne pride v poštev, važno pa je, če hočemo tovrstni vakuummeter uporabiti kot normale jza umerjanje drugih. Kompreaijski vakuummetri tudi uporabljajo Hg, a so namenjeni za znatno nižje tlake. Pri njih z dviganjem nivoja Hg zajatnemo v bučo določen volumen plina pri tlaku, ki ga želimo izmeriti, nato pa ta plin stisnemo v kapilaro. Tam se tlak plina tolikokrat poveča, kolikokrat se volumen zmanjša. Močno povečan tlak nato zlahka odčitamo na način, kot je pri navadnem U manometru, namreč iz razlike nivojev v merilni in dodatni primerjalni kapilari, priključeni na vakuum. Iz tega in iz kompresijskega razmerja izpeljemo iskani tlak. Prednost teh merilnikov je, da kažejo neodvisno od vrste plina in da so absolutni (t.j. ni treba umerjati 1 v tlačnem področju, kjer navadno nimamo drugih absolutnih vakuummetrov. Zahtevajo pa zelo pazljivo ravnanje, so občutljivi na onečišče-nje, ne omogočajo zveznega merjenja, »ekatere pare se pri kompresijl kondenzira-jo in jih tedaj merilnik ne upošteva. Večje naprave te vrste se imenujejo po McLeodu in lahko sežejo dc 10"^ mbar. Volumen buče je zaradi teže Hg omejen, kapilare pa tudi ne gre preveč ožiti zaradi nepravilnosti kapilarne depresije.Ta povzroča največ preglavic, saj že pri premeru 1 mm fluktira za več kot -1 mm in s tem postavlja prinoipialno omejitev točnosti. Pri tako nizkih tlakih navadno želimo preprečiti prihajanje Hg par v vakuumski sistem, zato vstavimo pred merilnik globoko hlajeno past. Ta s posebnim efektom povzroča dodatno napako meritve. Manjši merilniki po principu kompresije, ki so priročni za laboratorijsko rabo, segajo kvečjemu do 10"^ mbar. Pri nekaterih tipih (vakustat, vakuskop) izvede Hg kompresijo, ko merilnik obrnemo. 3.) Vakuummetri na toplotno prevodnost. Ce segrevamo z električnim tokom žico, ki jo obdaja razredčen plin, je toplotna izguba žice odvisna od tlaka. Dokler Je tlak tako nizek, da je prosta pot plinskih molekul veliko večja od premera žice. Je toplotna Izguba kar sorazmerna številu nosilcev in s tem tlaku.Ko pa plin vedno bolj gostimo, so nosilci vedno bolj ovirani in zato izguba ne narašča v nedogled, temveč se proti višjim tlakom ustali. Tam je zgornja meja takega vakuummetra. Del izgube odpade tudi na sevanje, ki se pa spreminja v odvisnosti od stanja površine žice. Ta motnja postavlja spodnjo mejo, ki je težko pod 10"^ mbar. Odvajanje toplote je odvisno od vrste plina, zlasti od molekularne mase. Vakuummetri umerjeni nn /,rak, bodo zu težje pline kazali premalo, za lažje'iireveč. Izmerjava toplote plinskih molekul s površino pa Je odvisna tudi od stanja površine. 2e zaradi tega se kalibracija sčasoma spremeni in jo Je trebs občasno kontrolirati in popraviti. Pri Piranljevih vakuummetrih ugotavljamo odvajanje toplote po upornosti grete žice; pri večjem odvajanju temperatura žice pade in z njo tudi upornost.Ce tvori žica eno vejo Wheatstoneovega mosta, ki je uravnotežen pri visokem vakuumu, odklon Instrumenta v mostu narašča, ko se tlak veča. Skala je proti višjim tlakom močno stisnjena In ne omogoča razločevati tlake nad nekaj mbar. Pri modernejši izvedbi pa avtouatika vzdržuje most stalno v ravnotežju s tem, da ustrezno spreminja kurjavo žice. Tedaj je mera za tlak potrebna kurjavna napetost. Tako se skala bolj raztegne in s tanko žico pridemo za silo do 1 bar, čeprav je skala nad 100 mbar že precej zgoščena. Namesto žice se da uporabiti tudi termistor, ki ima okrog 10 krat večji temperaturni koeficient upornosti kot kovine. Zelo preprosti in poceni so termoelektrični vakuummetri, pri katerih zasledujemo temperaturo žice s termoelementon, navarjenim nanjo. Pri izbranem ogrevnem toku dobimo največji odklon pri tlaku O, ;ikalo pa umerimo v tlačnih enotah. 4.) lonizacijski vaKuummetri. Tu izkoriščamo ionizacijo plina z elektroni. Elektron, ki ima zadostno energijo, ima možnost, da na poti skozi razredčen plin ustv-iri ic:ik pozitivni ion. Ione zbira posebna elektroda v merilni »elektronki. Ionski tok je v določenem območju tlakov sorazmeren tlaku m elektron^ikemu toku. Sorazmernost ni fakti-r lahko imenujemo občutljivost merilnika, vključuje pa ionizacijsko učinovitost merilnika, ki je odvisna od poti in energ.jc elektronov, a znatno tudi od vrste plina. Določiti jo Je treba za vsak primer z ume-ritvijo. Navadno to storimo za dušik ali argon, za druge pline pa uporabljamo korekcijske faktorje, ki so pri vseh merilnikih vsaj približno enaki. lonizacijsk učinkovitost narašča s številom elektronov v plinskih molekulah, zato bo merilnik brez korekcije kazal za lažje pline pre" -lo, za tezje preveč. KoreKcijo si sevedb privoščimo le, če poznamo sestavo plina. Merilniki s hladno katodo. Tu se elektroni sami razmnožijo v visokonapetostnem raz-elektrenju med primerno oblikovanima elektrodama. Z magnetnim poljem, naravnanim pravokotno na električne silnice, zelo povečamo pot posameznim elektronov, tako da se razelektrenje vzdržuje tudi v visokem vakuumu. Tok med elektrodama je v tlačnem območju takega vakuummetra približno sorazmeren tlaku. Pri tlaku okrog 10'^ mbar se tip razelektrenja spremeni, in ga za mer-jenje tlaka ne moremo več uporabiti. Najstarejši tak merilnik je Penningov in ta se zaradi cenenosti in robustnosti še vedno najbolj uporablja. Navzdol sega do nekako 10 ^ mbar, kjer postane razelektritev nestabilna ali se več ne vžge. Tak merilnik ima izrazit efekt lastnega črpanja, ker ioni razpršujejo material katode. Tudi zaradi tega njegova točnost ni velika, v najbolješem primeru ostaja znotraj - 50%. Naprava pa brez škode prenese vdore zraka in je zato prav primerna za Industrijo. Pogosto se izdeluje v kombinaciji s Pirani-jevim vakuumroetrom in tedaj je zajeto vse tlačno področje, ki navadno zadošča za tehnološke potrebe. Merilniki z vročo katodo. Tu pridobivamo elektrone z emisijo iz zareče katode. Pogosto je to volframska žica, ki se pa pri iarenju pri tlaku nad 10"^ mbar kmalu uniči. Bolj odporna in nižjo temperaturo zahteva katoda s torijevim oksidom na iridijevi žici. Elektrone je treba nato z napetostjo čez 100 V pospešiti na anodo. Ione, ki pri tem nastajajo v plinu, zbiramo s tretjo elektrodo - ionskim kolektorjem. Ta sistem elektrod je navadno nameščen v steklenm bnlonu, ki f;n s priključno cevjo navarimo na vakuumski sistem ali na ustrezno kovinsko prirobnico, 'm bolje pa je, da elektrode segajo direktno v vakuumski recipient. K temu seveda potrebujemo še napajalno in merilno aparaturo, kot pri vseh električnih vakuummetrih. Aparatura je dokaj draga, ker mora stabilizirati emisijo katode in meriti razmeroma majhne ionske tokove. Zgornja merilna meja je nekako Lan, kjer lahko poprečni elektron na svoji poti do anode ionizira že več kot enkrat, navadno okrog 10"^ ali 10"^ mbar. Zvišati se da le, če zmanjšamo ionizacijsko učinkovitost (npr s skrajšanjem poti elektronov). Tako se pride do 1 mbar, kar mora dopuščati tudi katoda. Spodnjo merilno mejo postavljajo motilni efekti, ki povzročajo lažno indikacijo brez zveze s talkom. Značilen efpkt te vr.Tte je "rtrit,jenr,ki". Gre za rentgenske žarke, ki jih povzročajo elektroni pri zadevanju na anodo. Tisti žarki, ki z.-idev.-i jo ko lektor, iz bije jo po foto-efektu iz njega nove elektrone. S tem nastaja pozitivni "ionski" tok, ki je pri navadnih merilnikih ekvivalenten tlaku okrog 10 mbar. Mejo je mogoče znižati, če kolektor zelo zmanjšamo. To sta prva storila Bayard in Al pert pred tremi desetletji in s tem začela prodor v ultra-v\soki vakuum. mgr. Bojan Povh, dipl.ing. lEVT, Ljubljana UVOD V TANKE DIELEKTRIČNE PLASTI Priznam, da je največkrat ravno začetek najtežji - vsaj zame. Listajoč strani prve številke "Vakuumista" me prežema ena sama misel: "Le tako naprej"!, kot tiho opozorilo sebi in pohvala avtorjem ter sodelavcem te prve številke. Mogoče v tem našem slovenskem prostoru že dalj časa pogrešamo nek specializiran list - čtivo, ki bi nas med redko posejanimi kongresi seznanjalo o stanju naše panoge po svetu in o napredku po domačih delovnih organizacijah. Zdi se mi, da ne bo težko zapolniti tega "vakuuma" s prispevki strokovnjakov, ki so se zapisali tej veji znanosti, saj je v naši Industriji in raziskovalnih ustanovah vakuumska tehnika že močno prisotna, ekonomsko-stabillzacljska na- ravnanost naše družbe v seaanjer'. trenutku kaže, da bo tako - in še bolj tako - tudi v bodoče. Naj ta članek, ki posega na področje tankih dielektričnih plasti, kot skroaen prispevek ob pričetku izhajanja glasila oz.rev: e, vzpodbudi tudi druge, da predstavijo teme it. svojega strokovnega področja. Ko govorimo o tanki diclektrični plasti, poskušamo že s samim izrazom definirati tu'"-"-njene obče lastnosti. To je običajno elektr -čno neprevodna, v določenem valovnem območ"--prozorna substanca, naparjena na ustrezno podlago. Njena glavna in označujoča ladtnoi": je podatek o lomnem količniku v tem območju. Valovno območje običajno obsega ultrazvočni del (200 - lOOilrn ), vidno svetlobo in bližnji infrardeči del (750 - 1500nm). S pojmom "tanka" plast pa označujemo njeno optično 02. geometrijsko debelino, ki ima ponavadi velikostni red valovnega območja. Za podlage, kamor se nanašajo tanke plasti, se v veliki večini uporabljajo raznovrstna optično polirana stekla z ravnimi oz. sfernimi površinami. Osnovni tehnični pripomoček, da lahko nanašamo te plasti, pa so sodobne naprave za vakuumsko naparevanje, kjer se "delovni" tlak giblje od 10 ^ do 10 ^ Pa, oz. z drugimi besedami: kjer je povprečna prosta pot vsaj stokrat večja od dimenzij vakuumskega prostora. Vprašanje, ki se vsiljuje samo po sebi, je naslednje: čemu služi in kakšne lastnosti ima tanka naparjena dielektrična plast? Odgovor je (danes v 20. stoletju) v osnovi enostaven, vendar precej obsežen. Ko svetloba vpade na eno ali več zaporedno naparjenih tankih plasti, se del reflektira (v absorpcijskih substancah se je del tudi absorbira) , ostanek pa transmitira. Fizikalno vodilo pri odnosih med žarki, odbitimi s posameznih površin tankih plasti je princip interference. Razmerja amplitud odbitih elektromagnetnih valovanj so določena 2 lomnimi količniki tankih plasti, fazne razlike pa z optično debelino. Pri kakršnemkoli računu moramo upoštevati oba podatka, ker bi sicer bili lahko zaključki o lastnosti refleksije valovanja popolnoma napačni. Kaj več o tem ob naslednji priložnosti, sedaj pa še poskušajmo odgovoriti na prvi del vprašanja: čemu služi tanka plast? Uporaba tankih plasti je zelo raznovrstna: od naparjenih leč fotografskih objektivov do sodobnih laserskih instrumentov. Poskusimo torej v okvirih tega članka predstaviti osnovne skupine tankih plasti glede na namen, ki mu služijo. refleksno pokritje na stekleni površini. Slika 1. 50D 600 700 X[nini; STANDARDNO ANTIREFLEKSNO POKRITJE Največji pomen antirefleksnih slojev si lahko predstavljamo v kvalitetnem objektivu 2 deset in več površinam vgrajenih leč, kjer bi nam vsaka nenaparjena površina predstavljala izgube. Z antirefleksno plastjo pa se nam ta vrednost zmanjša pod 0,5% in še na nižje za vidno svetlobo. Naslednja grupa so t.i. pasovni filtri. Samo ime je mogoče malo ohlapno, ker skupina obsega niz različnih dielektričnih pokritij. Pasovni filter nam v spološnem primeru oslabi en del valovnega območja (ga ne prepušča, torej ga reflektira ali absorbira) ves ostali del pa prepušča. Sami filtri se uporabljajo v celi vrsti različnih instrumentov od televizijskih in filmskih kamer, spektrometrov v medicini, laserski tehriki itd. Glede na namen ločimo več vrst: širokopasovne, ozkopasovne, nevtralne, refleksijske itd. Posamezna im?na naj bi čim verneje prikazala tudi njihove osnovne lastnosti. Najbližji so nam ozkopasovni filtri, ki prepuščajo ozek valovni pas (širina 2.30 nm na polovični višini transmisijske vrednosti). Tipičen primer je prikazan na sliki 2. V najstarejšo skupino vsekakor sodijo antire-fleksna pokritja. Vsi poznamo naparjene leče v fotografskem objektivu. Cilj takega pokritja Je zmanjšanje refleksije za vpadlo svetlobo, oz. povečanje prepustnosti. Nenaparjena gladka steklena površina odbije približno ü - 6% svetlobe odvisno od lomnega količnika stekla. Ko naparimo na tako površino enega ali več dielektričnih slojev se bo refleksijska vrednost zmanjšala. Glavno vrednost takega pokritja nam torej določa ravno relativna količina odbite svetlobe, v določenem valovnem območju. Za ilustracijo je na sliki 1. prikazano anti- IIV.) i 90 - 60 -- 20 - V / ae os 10 1; u Slika 2. OZKOPASOVNI FILTER A Značilni predstavnik pasovnega filtra jv tudi t.i. hladno zrcalo, ki se najpogosteje upocL .ja v projektorskih žarnicah. Njegova glavna lastnost je, da odbije čim več vidne svetlobe in prepusti bližnjo infrardečo. Pri starejših izvedbah s srebrnim ali aluminijastim reflektorskim slojem nam lahko infrardeča svetloba neprijetno pokvari celuloidni posnetek, kar pa je ob dobrem hladnem zraku praktično nemogoče. Na sliki 3. je predstavljen standardni refleksijski potek za vidni in bližnji infrardeči del svetlobe. snov ne vedeta vec enako. Najbolj zanimiv za ilustracijo je mogoče po-larizaoijski delilec svetlobe, ki nam iz naravne svetlobe loči paralelno od pravokotne komponente in jih krajevno razdvoji. Siri.ia valovnega pasu, ki se reflektira oz. transni-tira pa je v precejšni meri odvisna od oblikovanja pokritja in izbire lomnih količnikov. Ena najenostavnejših rešitev je za nepolarizi-rano monokrom.^tsko svetlobo- TC/d 6C0 eOO X[iMn] Slika 3. HLADNO ZRCALO - PASOVNI FILTER Tretjo veliko skupino pa tvorijo delilci svetlobe . Po namenu poznamo polarizacijske, barvno selektivne akromatične itd. Poleg tega, da reflektirajo oz. prepustijo del svetlobe, jo obenem tudi krajevno ločijo. V principu lahko uporabimo iste teoretične izsledke, kot pri pasovnih filtrih. Edina sprememba je, vendar precej pomembna, da imamo opraviti s poševnim vpadom svetlobe in s tem s pravokotno ter paralelno komponento svetlobe. Ti dve komponenti pa se pri prehodu skozi dielektrlčno rl -1 . r, - o nefutonzirino svetla&d 1 - t • T,-l.Ti-fl Slika H. SHEMATSKI PRIKAZ POLARIZACIJSKEGA DELILCA ZA MONOKROHATSKO SVETLOBO To je bil kratek, bežen sprehod skozi množico uporabnih možnosti tankih dielektrlčnih plasti. Nekatere zanimive aplikacije s tega področja pa bomo predstavili kdaj kasneje. Janez Lindav, dipl.ing. ISKRA-Center za elektrooptiko, Ljubljan AUGERJEVA SPEKTROMETRIJfi Zadnjih nekaj let je spektorskopija Augerjevih elektronov (AES) postala ena od glavnih anali-znih tehnik za ugotavljanje sestave površin trdnih snovi. Visoka občutljivost kemične analize zunanjih atomskih plasti (0,5-2nm) površine predmeta, hitra pridobitev podatkov in možnost detekcije vseh elementov periodnega sistema od helija naprej, so prednosti te metode. Detek-cija In zapis spektra Augerjevih elektronov dasta zanesljive kvalitativne in kvanltativne podatke o površinah trdnih snovi. Osnova analize Je Augerjev efekt, ki nastane pri ionlzaoiji atomov kot posledica obstreljevanja trdnih snovi, najpogosteje z elektroni lahko pa tudi z rtg žarki ali ioni. Analizator na Augerjeve elektrone s cilindričnim zrcalom. z veliko transmisijo za elektrone in ugodnim razmerjem signala proti šumu ter pripadajoča elektronika omogočata, da iz množice sekundarnih elektronov, ki so lahko v vakuum Iz površine trdne snovi izbiti, odbiti ali sipani, selektivno dobimo krivuljo energijske porazdelitve Augerjevih elektronov ali zapis spek tra pikov Augerjevih elektronov. Ti "piki" ps 30 dejansko "prstni odtis" v površini prisotnih kemičnih elementov. Statični točkovr fino i"okusiran elektronski snop omogoča "- 'ti. menzionalno" anai-z.- sestave površin, "skanlranje" takšnega snopa to omogoča "dvodimenzionalno" , kombinacija skaniranja z ionskim jedkanjem pa trodiraenzionalno anall.-o sestave tankih plasti. Poleg točkovne, linijske in profllne analize je možno z Augerjevimi elektroni napraviti tudi posnetke površin, ki ■nazorno pokažejo ploskovno razporeditev določenega elementa v vrhnjih atomskih plasteh površine pregledovanega predmeta. Poleg glavnih delov mikroanalizatorja na Au-gerjeve elektrone, to je: elektronske puške, analizatorja, ionske puške, vakuumske posode ter pripadajoče elektronike, so za natančno analizo zelo pomembni vakuumski pogoji. Kombinacija sorboijskih .ionsko-getrskih in subli-macijskih črpalk zagotavlja ultra vakuum v osrednji delovni posodi. Od "kvalitete" rezidualne atmosfere v posodi je zelo odvisna kvaliteta analize. Za primer: površina -Ü trdne snovi se pri tlaku 1.33 x 10 Pa prekrije z monoraolekularno plastjo že v eni sekundi, pri 1.33 x 10 ' Pa pa v tisoč sekundah. Ker nam pri "AES" analizi plasti ad-sorbiranih molekul preprečijo analizo dejanskih površin (ki so lahko obenem še reaktivne), moramo meritev opraviti v vakuumu, ki je boljši -7 od 1,33 X 10 ' Pa. V taksnem okolju lahko že prej nastalo kontaminirano plast očistimo z ionskim jedkanjem in takoj analiziramo zares čiste površine materialov; le-te se namreč pri tlaku, ki Je nižji od 1.10""^ Pa, prekrijejo z adsorbirano plastjo šele približno po eni uri. ^ Ze od leta 1973 dalje smo na IßVT spremlja-'li razvoj Augerjeve analizne- metode po podatkih iz literature in naše vzorce analizirali v tujih laboratorijih. Tako smo se usposobili opravljati analize površin trdnih snovi pravzaprav že pred nakupom rasterskega mikroanalizatorJa na Augerjeve elektrone. Model SAM 5^5A, ameriške firme Physical Electronics Inc., smo namestili v našem laboratoriju jeseni 1977. V nadaljnih letih so sodelavci na lEVT skonstruirali in uspešno dogradili tudi prvi domači analizator na Augerjeve elektrone (vse razen elektronike), kar Je velik tehnološki dosežek in o čemer bomo v našem listu še slišali. To sta zaenkrat edini tovrstni napravi v Jugoslaviji. Augerjeve analizne metode se poslužujemo povsod, kjer potrebujemo informacije o površinah in stičnih ploskvah. Važnejša področja uporabe so: mikroelektronika, tanke plasti, električni kontakti, spoji materialov, korozija, kataliza, obraba materialov (drsne površine), staranja materialov, sorpcija in de-sorpcija itd. V našem laboratoriju smo že uspešno uporabili AES analizno metode na različnih vrstah materialov, od kovinskih do materialov kot so: cementi, silikatni vzorci, steklena vlakna, klinker, sadra, poslikave fresk, stekla, limfa, razne vrste zeolltov in tako naprej. Mnogi od njih so za elektronski tok občutljivi ali pa neprevodni. Pri takih je potrebno s primerno pripravo vzorca za namestitev v spektrometer odpraviti te/sve z elektronskim nabijanjem. Tudi to nam jc v večini primerov lepo uspelo. Borut Praček, dipl.ing. lEVT, Ljubljana rotacijske črpalke - povzetek vaj s tečaja v okviru obeh tečajev iz osnov vakuumske tehnike, ki ju je v Ljubljani na lEVT v lanskem letu (januarja in oktobra) organiziralo naše društvo, so bili tudi prikazi delovanja nekaterih rotacijskih črpalk in meritev vakuuma, ki ga z njimi lahko dosežemo. Vsak prikaz Je trajal približno 20 minut, tako, da so se 3 skupine tečajnikov lahko zvrstile na vseh treh mestih v fini ii'^i. 1. UVV sistem s turbomolekularno črpalko in -vadropolnim analizatorjem residualnih plinov (demonstratorja: A.Banovec in R.Zavašnik - sodelavca lEVT). Prikazan je bil kovinski ultravisokovakuumski sistem, črpan s turbomolekularno črpalko TÜRBOVAC 220, firme LH, katere rotor doseže 35.000 vrtljajev na minuto. Crpalna hitrost za dušik Je 220 l/s (pri kompresiJskem razmerju 1 x 10^); za lahke pline (Hpi He) pa je le neznatno nižja (ca 2001/s), vendar pri bistveno nižjen kompresijskem razmerju (za Hj Je 2 X 10^). Črpalka je hlajena z vodo. Ležaji so mazani z oljem; montirana mora biti vertikalno. Deklarirani končni tlak je p <. 10"^° mbar. Črpal na hitrost Je konstantna pri tlaku v recipientu pod 10 ^ mbar, pri višjih tlakih pa začne padati. Kot predčrpalka Je bila uporabljena 2-sto-penjska rotacijska črpalka Dl6A, firme .^H, s črpalno hitrostjo 20m^/h, ki dosega fcon-čni parcialni tlak < 2,5 x 10"'' nbar (pri -aortem ventilu za rii->datni zrak); zahtevani -2 predvakuum za turbočrpalko pa Je 10 do 10 ^ mbar. Vse pri vaji uporabljene črpalke so bile proizvodi firme Leybold Heraeus, ki jo lEVT zastopa v Jugoslaviji. Pri našem prikazu smo črpali kovinski recipient, volumna ca5dtÄ Med prikazom, kot tudi nekaj ur pred njim, je bila rotacijska črpalka stalno v pogonu; njen vhodni tlak, t.j. predvakuum turbočrpalke, smo kontrolirali s Piranijevim vakuummetrom PPV-30(izde-lek lEVT), ki ima merilno področje eö 10'^ do 10*^ mbar, in je pred vklopom turbočrpalke kazal nekajkrat lO'^ mbar. Ko smo pognali turbo črpalko, se je predvakuum začasno poslabsal na nekajkrat 10 mbar, nato pa se je spet počasi boljšal. Visoki vakuum nad turbo črpalko, v recipientu, smo kontrolirali 5 fenningovim vakuummetrom PPV-30 (izdelek lEVT). Z merilnim področjem od lo"^ do 10"^ mbar, ali z elektronskim UVV ionizacijskim merilnikom lONIVAC IM51, firrae LH, z merilnim področjem od 10"" do mbar. PPV-30 smo lahko vklopili že po približno pol minute. Po nekaj minutah črpanja smo dosegli vakuum boljši od 10 mbar, tako da smo lahko vključili še ionizacijski merilnik in tudi kvadrupolni analizator residualnih (preostalih) plinov z oznako QUADRUVAC Q200, firrae LH. Ta nam pokaže parcialne (delne) tlake vseh plinov, katerih specifična masa (m/e) leži v področju od 1 do 200 masnih enot. Z merilno glavo analizatorja, ki ima vgrajen Faradeyev ko-lektor ionov, merimo parcialne tlake do približno 10 mbar, z uporabo elektronske pomnoževalke pa ca lOOx nižje (do 10"^^ mbar). Na področju 10 ^ mbar posneti spekter residualnih plinov nam je pokazal izredno veliko množino vodne pare v sistemu; to vlažnost zmanjšamo le z dolgotrajnim črpanjem, ali pa s pregrevanjem sistema na nekaj lOO^C. Ko smo naposled izklopili turbo črpalko, se je njen rotor zaradi vztrajnosti vrtil vsaj še nekaj minut dovolj hitro, da je ta čas ostal v recipientu vakuum boljši od 10~^ mbar. 2. Rotacijske črpalke In meritve vakuuma s Kamererjevim živosrebrnim vakuummetrom (demonstrator: R. Kalan - sodelavec lEVT). Slušateljem smo najprej prikazali dvostopenjsko vakuumsko črpalko D 6(sistem "gaede" s krožečimi loputami); opisali smo funkcije posameznih delov, predvsem rotorja, statorja, lopatic in ventila ter delovanje celote. Črpalke z zapiralno loputo smo predstnvili s Črpalko DK IfiO,Rootsove pa s črpalko SW 1000. Osnovni vakuumski sistem za srednji vakuum in njegovo delovanje smo prikazali s kombinacijo črpalk-enostopenjske predčrpalke S 60 in Rootsove 106-imenovano RUTA 60. Pri dvostopenjski črpalki D16A smo merili tlak na ustju in to pri zaprtem in odprtem ventilu za dodajanje zraka (gasbaHast). Heriii smo s Kamererjevim živosrebrnim vakuummetrom; t.J. v bistvu kompresijski vakuummeter podoben kot Mc Leodov. le da mu rezervoarček živega srebra dvignemo m spuščamo z vijaKom. Pokazali smo tudi konstrukcijske razlike med črpalkama D 6 in D16A ter celo vrsto spojnih kosov za vakuumske sisteme (križni kosi, ventlH, mehovi, tesnila, cevi ...). 3. Rotacijske čraplke in meritev totalnega tlaka a Piranijevim vakuummetrom (demonstrator J. Gasperič). V tej vaji smo pokazali udeležencem tečaja 3 tipe domače (lEVT) enostopenjske črpalke s črpalnimi hitrostmi 1,2 in 10 m^/h in sicer v razstavljeni obliki. Posebej smo obravnavali funkcijo posameznih delov ter posebej opisali možne okvare in odpravljanje le-teh. Naučili smo udeležence"diagnosticiranja" , t.j. ugotavljanja napak pri delovanju črpalk, ki se zrcalijo v spreminjajočem se totalnem tlaku, merjenem s Piranijevim vakuummetrom. Posebej smo opozorili na pogostejše napake, ki nastanejo zaradi slabega vzdrževanja (čiščenje lovilne mreže v sesalni cevi, zamenjava oz. dolivanje olja, izrabljenost ventilov, netesnost priključkov itd.) Odsvetovali smo razdiranje črpalk, posebno tistih, ki so brez zatičev za enoznačno sestavljanje posameznih soležnih sestavnih delov. Rastü ZaviSnik, dipl.inir., dr. Jože Gasperič, dip. . i.ig. lEVT, Ljubljana IZDELAVA vakuumske TRDE spajke AgCu Osnovni sestavni del tetrodnih elektronk je keramično-kovinsko ohišje. Za kvaliteto ohišja so bistvene važnosti vakuumsko tesni spoji med keramičnimi in kovinskimi obročki. Pri poiskusih izdelave takih ohišij na lEVT merimo cesnost z "LK-ultratest-leak detektor- jem", ki je občutljiv do 3.10 -11 torr lit/sec. Za vakuumsko tesno spajkanje moramo najprej keramiko in kovino izredno ravno spolirati ter keramiko metalizirati; oba postopka sta problem zase in ju sedaj ne bomo posebej opisovali. Šele sedaj pride na vrsto spajkanje in sicer v peči z zaščitno atmosfero. Pri naših poiskusih uporabljamo trdo vakuumsko spajko: zlitino 72% Ag, 28% Cu v obliki obročkov debeline 0,06 - 0,10 mm in enakih premerov kot so kovinski in keramični obročki. Ker je bilo potrebno doslej folijo te spajke uvažati, smo se odločili izdelati jo doma in to 17. rioTin^ih surovin. Zgoraj omenjena sestava naše spajke ustreza spajki L-Ag 72 po standardu DIN 8513, ki predpisuje naslednjo kemično sestavo: 71 - 73% Ag, 27 - 29% Cu, 0,005% Al, 0,C2%Pb in do 0,1% o-stalih elementov, med katerimi ne sme biti cinka. Srebro, ki odgovarja Standardu DIN 8513, smo dobili od delovne organizacije FAMIPI iz Trepče. Kot drugo surovino za izdelavo domače vakuumske spajke pa smo uporabili katodni baker čistoče 99,99% iz RTB Bor. Obe sestavini v razmerju 72t28 smo najprej pretalili v grafitnem lončku na zraku z induktivnim visokofrekvenčnim segrevanjem na napravi VG 50 (izdelek lEVT). Temperaturo smo kontrolirali z optičnim piro-metrom znamke PYRO-WERK. Tako pridobljeni ingot smo še enkrat pretalili v keramičnem lončku, v domači vakuumski peči. Pretaljevali smo uri pri temperaturi 930''c (naša v.litinrj je ravno evtektična; njeno tališče je pri 779°C) in to pri vakuumu 5.10"^ mbar, tako da se je vložek dobro razplinil. Male ingote -velikosti približno 42 x 42 x 8 mm - smo pre- delali v folijo debeline 0,10'°'°^ mm in v žico debeline 0,5 mm. Ingote smo najprej očistili v hladni HNOj razredčeni 1:1 in nato rezkali oz. postružili v oblike, primerne za valjanje in vLi'üenje. Oh.-i pDstopkn r,mo opravljali v delovni organizaciji Aurodent v LIuM'ia"!. Med stanjšanjem smo anše polizdelke morali še 4-do 5-krat segrevati, da smo sproti odstranili notranje napetosti in to pri temperaturah med 650 in 720°C ter pri vakuumu 5.10"^ mbar. Hrapavost valjane Ag-Cu folije smo merili s "Taly-surf" metodo na Strojni fakulteti v Ljubljani. Iz rezultatov meritev je razvidno, da je folija, valjana v Aurodentu, bolje obdelana od uvožene. Iz folije je bilo treba izdelati obročke dimenzijsko odgovarjajoče sestavnih, delom ohišja elektronke. Zaradi stalnega spreminjanja dimenzij v laboratorijski proizvodnji ni prišlo v poštev štancanja ali kako drugo rezanje, zato smo razvili pnr.topfk jedkan jrj fol i jo. Fo li jo smo zaščitn-) premazali z 10% raztopino zmesi voska in kolofonije (3:1) v trikloretilenu, potem v zaščitno plast mehansko zarezali krožne žlebičke in to namočili v HNO^ razredčeno 1:1. Pridobljene r.pajkalne obročke sno uporaoiU za izdelavo spojev keramika-kovina, pri izdelavi ohišij tetrodnik elektronk. Od 52 izdelanih zgornjih tetrodnih ohišij, ki inajo po 6 spojev keramika-kovina, Je puščalo 10 izdelkov na ener. ali več spojih, pri zadnjih 20 izdelkih pa .i.i oiii vsi ^■poji vak-..ir:;^ko tesni. Pri 35 izdelanih spodnjih tetrodnin ohišij, ki imajo pc 4 p,»oje keramika-kovina ni pušč-il nobeden izdelek. Iz tega sklepamo, da tudi v pri-"lerih netesnosti, le-tem ni bila vzrok spajka. V bližnji prihodno;;ti imamo v načrtu izdelavo drujjij vakui-;'..:xi'' ;;p.-ijki' - /.li'^ine A/;-Cu /. dodatki indija in paladija. Mar.iTn Stipanov, dipl.ir Zl&ta Roš, dipl.ins. lEVT, LJubljana specializacija na podrocju vakuumske tehnike - štipendije iz sklada "welch" Komite sklada Walch pri mednarodni organizaciji za vakuumsko znanost, tehniko in ap]ikacije (lUVSTA) razpiše vsako leto štipendije za sf.- -cializaoljo mladih znanstvenikov, ki se želijo izpopolnjevati na tem področju. Štipendije so namenjene mladim knnaidatom, ki so koncüli študij na univerzi, prednost pa imajo seveda kandidati z že opravljenim doktoratom znanosti. Seznam laboratorij ev kjer so štipendisti lahko opravljali specializacijo, je v lanskem razpijiu zajemal Avstrijo, Madžarsko, Zapadno Nemčijo, Francijo, Nizozemsko, Anglijo, Kanado in ZDA. Kandidat mora obvladati jezik države, v kateri opravlja specializacijo ali pa angleščino. Za leto 1983 pričakujemo razpis štipendij v marcu ali aprilu. Da bi lahko hitro in pravočasno obvestili vse interesente o razpisnih pogojih, prosimo vse zainteresirane, ki želijo biti o tem obveščeni, du n.im to čimprej sporočijo. Pripominjamo, da ima tudi Zveza Jugoslovanskih društev za vakuumsko tehniko svojega delegata v izvršnem odboru (10) lUVSTA, ki zastopa interese naših članov. Do sedaj nismo predlagali lO-IUVSTA nobenega kandidata, ker pač ni bilo interesentov. Želimo pa, da bi se v bodoče tudi naši mladi člani poslužili te štipendije za svoje strokovno napredovanje. dr. Prance Lah, dipl.inf lEVT, Ljubljana SEMINAR O VAKUUMSKIH TEHNOLOGIJAH - LEYBOLD HERAEUS V okviru svojega izobraževalnega programa organizira firma Leybol d Heraeus (LH) strokovne seminarje o vakuumski tehniki in to ne le v Nemčiji ampak tudi po drugih državah. 2a letos je LH s svojim zastopstvom v Jugoslaviji načrtoval simpozij o vakuumskih tehnologijah v Nišu, kjer so v nekaterih obratih "Ei Niš" močno razviti različni vakuumski postopki. Ker so predavanja zanimiva, smo se v Društvu za vakuumsko tehniko Slovenije dogovorili s sode-dalvci zastopstva LH, da bomo poiskušali seminar organizirati tudi za vakuumiste v nsši republiki. Enodnevni seminar z uradnim naslovom: "Vakuumske tehnologije in vakuumske komponente v elektroniki in optiki", bo predvidoma v srednini maja 1982, v LJubljani. Program je naslednji: 9,00 - 9,15 Uvod 9,15 - 10,00 Naparevanje Al-Cu-Si plasti in čiščenje z jedkanjem v industrijskih naparJevalnih napravah za elektronska vezja Tehnologija naprševanja z veliko močjo s planarnin magnetronom Odmor za kavo Industrijsko naprševanje tankih plasti v elektroniki; primeri naprševanja z veliko močjo 10,00 - 10,15 10,45 - 11,00 11,00 - 12,00 12,00 - ll<,00 Odmor zs kosilo 14,00 - lUj^S Numerično krmiljene naprave za nanašanje tankih plasti v optik) in elektroniki 14,'(5 - Osnovo ifi upornba preverjanja tesnosti s helijem v elektroindustriji in v delavnicah za proizvodnjo kotlov. Predavanja bodo v angleščini in verjetno vsa prevajana v slovenščino. Vmes bo dovolj časa za vprašanja in razgovor. Čeprav bo vse verjetno malo tudi propagandno obarvano, menimo, da bodo tu prikazane vakuumske tehnologije, s kakršnimi se slovenski vakuumisti še ne srečamo vsak dan. Vstop bo prost, vendar si LH, ki prevzema vse stroške seminarja (razen dvorane) nase, pridržuje pravico, da predavanja odpove, če bo poslušalcev oz. prijav manj od 60. Zato naprošamo vse posameznike in organizacije, da takoj sporoče število udeležencev in sicer na naslov: Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije, Teslova 30 - tov. Ludvik Pipan, telefon 253-461. Vsem interesentom bc ' pravočasno spročili točen datum seninarja. Bajko Kals-lEVT, Ljur l?.oo - 12.45 Modorn»? u-poraba krio-'~naik e-1 ov-t:rot<»hriVi jri ev+rnr-»ki KRATKE NOVICE IN OBVESTILA 26.2.1983: VECEB DIAPOZITIVOV 26.2.1902 je Društvo 2a vakuumsko tehniko Slovenije priredilo "Večer diapozitivov o vakuumskih črpalkah", ki jih je mednarodna vakuuraaka zveza lUVSTA pripravila za to področje. Komentar so iz angleščine prevedli (brez honorarja) člani slovenskega vakuumskega društva; podal pa ga je deloma v skrajšani obliki, deloma pa z dodatno razlago dr. Jože Gasperič. Zanimivega predavanja se je udeležilo le 13 poslušalcev, čemur je bila vzrok slaba obveščenost javnosti, ki je pravzaprav ni bilo. Društvo namerava letos organizirati še 3 ali 1 večere 2 diapozitivi iz drugih vakuumskih področij in zanje bomo obvestila objavili tudi v časopisju. 9. VAKUUMSKI KONGRES Zadnji - 8. jugoslovanski vakuumski kongres Je bil konec leta 1979 na Bledu. Po nepisanem pravilu, ki pravi da bi se naši kongresi organizirali vsaka tri leta, bi moral deveti biti letos. Ker je znano, da je za vsako tako prireditev potrebno začeti z obveščanjem in celotno organizacijo vsaj 12 mesecev prej, postaja vse bolj jasno, da kongresa letos ne bo, čeprav bi bil potreben in je problematike več kot dovolj. Zakaj tako? Na blejskem kongresu je bilo na seji jugoslovanskih vakuumskih društev nakazano, naj bi naslednjega pripravili Hrvati, ki imajo razmeroma šibko društvo, pa bi se s tako akcijo utrdili; po potrebi bi jim morda še pomagali slovenski vakuumisti. Ker je novi JUVAK pričel obstajati šele konec lanskega leta, tudi ni bilo uradne sile, ki bi na pripravo 9. kongresa opozarjala. Srbski vakuumisti so sicer lani organizirali simpozij o uporabi vakuuma v kemiji, farmaciji in prehrambeni industriji in tudi za letos pripravljajo konferenco o uporabi vakuuma pri predelavi kovin; aktivno je bilo tudi Slovensko društvo s svojimi tečaji, toda nihče še ni nič pokrenil za izvedbo Jugoslovanskega kongresa - čas pa teče. Vse kaže, da bo treba resno pomagati Hrvatom in se čimpreje dogovoriti o organizatorju in datumu 9. kongresa, kajti sicer bi celo obstoj JUVAK-a lahko postal vprašljiv. ČLANSTVO V letu I98I je bilo v društvu vpisanih okrog 120 članov (vključeni so tudi vsi udeleženci tečajev, ki izrecno niso nasprotovali včlanje-nju). Vsako leto se vpisuje članstvo znova. Prosimo vse, ki se čutite vakuumiste, da čimpreje poravnate članarino, ki je letos enaka kot lani: 150,00 dinarjev, lahko vplačate pT priloženi položnici, ali pa kar osebno pri tov. Marjanu Stipanovu, na lEVT. TEČAJ "TANKE PLASTI" Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije si je kot eno večjih bližnjih nalog zadalo pripravo tečaja z naslovom "Vakuumske tanke plasti" in s približno naslednjo vsebino: 1. Fizikalne osnove vakuumskega nanašanja tanr-kih plasti 2. Izvori in materiali za nanos 3. Tanke plasti - nastajanje in lastnosti Meritve na tankih plasteh 5. Vakuumske naprave za naparevanje 6. Naprave za naprševanje 7. Tanke plasti v elektroniki 8. Optične tanke plasti 9. Dekorativne tanke plasti 10. Tanke plasti v elektronski mikroskopiji Organizacijsko delo za pripravo tekstov bo v i-menu društva vodil Andrej Banovec, dipl.ing. lEVT, kot avtorji tekstov in bodoči predavatelji bodo sodelovali strokovanjaki za posamezna področja IZ Inštituta Jožef Stefan, iz Elektrofa-kultete, iz Centra za elektrooptiko iz ISKRE in iz lEVT. Prvi tečaj naj bi bil predvidoma že letos ali pa v pričetku leta 1983. WELCHOVA ŠTIPENDIJA ZA L. 1983 Podeljuje se za eno leto začenši uradno s 1. septembrom 1982. Ce kandidat zaradi važnih logov ne more pričeti svojega dela I.9.1982, lahko prestavi začetek za 3 mesece, sicer se izbira drugega kandidata. Stipendist, ki bi želel dobiti to štipendijo poleg neke dr^ge štipendije, mora prej dobiti pristanek predsednika Welch-ovega odbora pri lUVSTA. Štipendija znaša približno 7.000 US S; izplačana je v dveh obrokih po približno 50% in sicer eden na začetku, drugi 6 mesecev po pričetku dela. Zahteva se vmesno poročilo in končno o celotnem obsegu dela. Kandidati lahko dobe formularje m pojasnila pri dr. J.P. Hobson, Division of Electrical Engineering, National Research Council, Ottawa, Canada K1A0R8, do 15. aprila 1962, sama pojasnila pa tudi na zvezi JUVAk< (Teslova 30, Ljubljana - dr. Casperič). KOLEDAR SRECANJ,PRIREDITEV Ol*.03.82 Večer diapozitivov, ki Jih je mednarodna vakuumska organizacija lUVSTA pripravila za področje vakuumskih črpalk; organizira Društvo za vakuumsko tehniko SRS, na lEVT v Ljubljani. 29. - "Vakuum 82" - Chester, Anglija 31.03.82 informacije: Fizikalni inštitut, London Ot. - Mednarodna konferenca o metalurških 09.Oil.82 prevlekah in procesni tehnologiji. Hotel "Holiday Inn" v Embarcadero, San Diego, Kalifornija, ZDA 1Ü. - X. jubilejno posvetovanje o mikro- l6.OW.82 elektroniki. Banja Luka; organizatorji so SSESD, SOZD R. Cajevec in Elektrotehniška fakulteta v Banji Luki maj 82 Konferenca o uporabi vakuuma pri obdelavi kovinskih površin, Vinča pri Beogradu, srbsko vakuumsko društvo; Informacije: direktno v Vinči: dr. Branlslava Perovlč ali v Društvu za vak. t. SRS: dr. Gasperič sredina Enodnevni seminar o vakuumskih tehno-maja 82 logijah prireja firma LeyDold HERAEUS skupno z društvom za vakuumsko tehniko SRS, kjer tudi dobite vse Informacije 02. - simpozij o uporabnih površinskih 01.06.82 analizah Dayton, Ohio, ZDA; Univerza v Daytonu, Dayton OH '*5t69 08. - 2. evropska konferenca o kemiji 10.06.82 trdnih teles, Eindhoven, Nizozemska (Tehniška visoka šola Eindhoven) 07. - Modifikacije površin, čiščenje 11.06.82 in adhezija; seminar, ki bo organiziran na Svedsem. Informacije: dr. Oasperič, JUVAK - lEVT, Teslova 30, Ljubljana 19. - Nordijska konferenca o površinskih 20.08.82 znanostih Tampere, Finska. Informacije prof. M. Pessa, oddelek za fiziko Tehnološke univerze - Tampare P.O.Box 527, 33101, Tampere 10, Finska 27. - 2. mednarodni simpozij o epitak- 30.08.82 siji z molekularnimi curki in sorodne tehnike čistih površin, Tokio, Japonska 30.08. - Tanke plasti in prekritja za tehno-03.09.82 logijo; seminar, ki bo organiziran ' Švici. Informacije: dr. Casperič; JUVAK - lEVT, Teslova 30, Ljubljana 06. in XVIII. jugoslovanski simpozij o 07.10.82 elektronskih sestavnih delih in materialih (letos s poudarkom na senzorjih) - istočasno z razstavo "Sodobna elektronika" na Gospodarskem razstavišču v Ljubljani 08. - Letni simpozij Ameriškega vakuura-12.11.82 skega društva, SrV.iTi--', ZDA 26.11. - 7. mednarodna Konferenca o va-02.12.82 kuumski metalurgiji, Tokio, Japorsk; 26. - 9. mednarodni vakuumski kongres iv. 30.09.83 5. mednarodna konferenca o površlr." trdnih snovi, Madrid, Španija VAICUMIST - Glasilo Društva ea vakiiums^o tehniko Sloveni.ii», Teslova 3° - P>111] L.iubljana, tfilefon 263-^161. Ure,ia uredrtšVi odbor: Andre,i Prep;el,"i, Ludvik Pipan, Vesna Golob, Jenko, Peter Pavli, Borut Pra'^ek, Kar.ian Stipanov, Bojan Povh, Jožp Gasperič, Pastislav Zavašnik, Milar Tasevaki,