Oznaka poročila: ARRS-RPROJ-ZP-2011-1/79 ZAKLJUČNO POROČILO O REZULTATIH RAZISKOVALNEGA PROJEKTA A. PODATKI O RAZISKOVALNEM PROJEKTU 1. Osnovni podatki o raziskovalnem projektu Šifra projekta L2-1187 Naslov projekta Procesiranje keramičnih mikroelektromehanskih sistemov s pomočjo novih tehnologij Vodja projekta 6423 Janez Holc Tip projekta L Aplikativni projekt Obseg raziskovalnih ur 4.170 Cenovni razred D Trajanje projekta 02.2008 - 01.2011 Nosilna raziskovalna organizacija 106 Institut "Jožef Stefan" Raziskovalne organizacije -soizvajalke 1704 HIPOT-RR raziskave in razvoj tehnologij in sistemov, d.o.o. Družbenoekonomski cilj 12. Splošni napredek znanja - RiR financiran iz splošnih univerzitetnih fondov (SUF) 1.1. Družbeno-ekonomski cilj1 Šifra 13.02 Naziv Tehnološke vede - RiR financiran iz drugih virov (ne iz SUF) 2. Sofinancerji2 1. Naziv HYB, d.o.o. Naslov Levičnikova 34, 8310 Šentjernej, Dušan Plut 2. Naziv Naslov 3. Naziv Naslov B. REZULTATI IN DOSEŽKI RAZISKOVALNEGA PROJEKTA 3. Poročilo o realizaciji programa raziskovalnega projekta3 Delo na projektu je bilo razdeljeno na štiri delovne sklope. Doseženi rezultati bodo predstavljeni po posameznih delovnih sklopih: DS 1: Sinteza piezolektričnih materialov S pomočjo mehanokemijske sinteze smo sintetizirali Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 (PMN-PT) ter dopiran Pb(Zr,Ti)O3 (PZT). Z mehanokemijska sintezo pripravljen prah je kemijsko homogenejši in podmikroske velikosti, kar je v primerjavi s sintezo v trdnem stanju velika prednost. Pripravljena prahova PMN-PT in PZT sta bila enofazna ter zelo fina, kar je omogočalo sintranje plasti pri nižjih temperaturah kot smo jih dosegli s prahom pripravljenim s sintezo v trdnem. Sinteza in karakterizacija tega materiala je pomembna predvsem zato, da smo lahko na različnih podlagah pripravili piezoelektričen plasti z boljšimi funkcionalnimi lastnostmi kot z dosedanjim uporabljenim prahom, pripravljenim z sintezo v trdnem. DS 2: Priprava suspenzij Študirali smo pripravo suspenzij, ki bodo primerne za elektroforetsko nanašanje ter brizgalno tiskanje. Suspenzije za elektroforetsko nanašanje morajo biti stabilne, električno neprevodne, delci morajo imeti čim večji zeta potencial. Stabilne suspenzije za nanašanje z brizgalnim tiskanjem ne smejo vsebovati večjih delcev, morajo imeti mora nizko viskoznost ter površinsko napetost. Za nanašanje z elektroforezo smo študirali pripravo stabilnih suspenzij v organskem mediju. Za pripravo smo uporabili fine prahove, ki smo jih stabilizirali z dodatkom površinsko aktivnih snovi. Pripravljene suspenzije z visokim zeta potencialom in nizko električno prevodnostjo, ki smo testno nanašali na keramične podlage s postopkom elektroforeze s konstantnim tokom ali napetostjo. Za pripravo suspenzij primernih za ink-jet tiskanje smo proučevali proces mletja grobih PZT prahov. Prahovi iz katerih je mogoče pripraviti suspenzije za tiskanje, morajo imeti vsi delci premer manjši kot mikrometer in zelo ozko porazdelitev velikosti delcev. Za pripravo takih delcev smo uporabili nov pretočni koloidni atritorski mlin, ki omogoča mletje z zelo finimi mlevnimi kroglicami, to so kroglice premera od 100 do 500 mikrometrov ter stalno prečrpavanje suspenzije preko mlevne posode. Mlevna posoda mlina je izdelana iz abrazijsko obstojne ZrO2 keramike, kar zmanjšuje možnost kontaminacije prahov med procesom mletja. Majhne kroglice ZrO2 omogočajo fino mletje in ozko porazdelitev pomletih delcev. Študirali smo vpliv velikosti mlevnih kroglic na hitrost mletje PZT ter porazdelitev delcev med procesom mletja. Proučevali smo vpliv dodatka površinsko aktivnih snovi na hitrost mletja ter stabilnost suspenzije med mletjem v vodi. Ugotovili smo, da se da z količino površinsko aktivnih snovi in parametri mletja da zelo natančno kontrolirati stabilnost suspenzije. Uspeli smo pripraviti stabilne suspenzije prahu v vodi s povprečno velikostjo delcev manjšo kot 100 nm in zelo ozko porazdelitvijo velikosti delcev primerno viskoznostjo in površinsko napetostjo. Suspenzije smo uspešno nanašali z brizgalnim tiskalnikom Dimatix, šobe brizgalne glave se niso mašile, suspenzija je pri brizganju tvorila kapljice, brez nezaželenih satelitskih repov. DS 3: Izdelava MEMS struktur Študirali smo postopke nanašanje suspenzije na ravne keramične podlage z elektroforezo in brizgalnim tiskanjem. Pri elektroforetskem nanašanju smo študirali pogoje nanašanja na ravne podlage. Pri optimalnih pogojih nanašanja smo dobili nanose enakomerno debele nanose brez napak v plasti. S postopkom elektroforetskega nanašanja smo v sodelovanju s francoskim sodelavci iz Toursa uspešno izdelali visokofrekvenčni ultrazvočni pretvornik z zelo dobrimi elektromehanskimi karakteristikami. Te so primerljive z karakterisitkami pretvornika izdelanega z sitotiskom. Stabilne vodne suspenzije smo tiskati z ink-jet tiskalnikom Dimatix. Suspenzija ni mašila šob tiskalne glave med tiskanjem, kar pomeni, da so delci PZT primerni za tiskanje. Uspešno enakomerno tiskanje na razne podlage odpira nove možnosti za oblikovanje kompleksnih struktur na ravnih kot tudi rahlo ukrivljenih površinah. Postopek nanašanja je primeren za izdelavo piezoelektričnih senzorjev tlaka na tankih membranah, kjer je praktično nemogoče izdelati strukturo s sitotiskom, izdelavo piezoelektričnih plasti na tankih vzvodih za zbiranje energije (energy harvesting), ultrazvočnih pretvornikov s kompleksno strukturo (obročasti in linearni). Proučevali smo sintranje debelih plasti piezoelektrikov na keramičnih podlagah. Le natančno poznavanje parametrov sintranja lahko vodi do kvalitetnih piezoelektričnih plasti, ki so primerne za izdelavo MEMS struktur, zato smo proučevali pogoje sintranja PMN-PT debelih plasti na korundnih podlagah. Z zelo natančnim kontroliranjem okoliške PbO atmosfere, smo uspeli pripraviti PMN-PT plasti z zelo dobrimi funkcionalnimi lastnostmi. Z uporaba mehanokemijsko sintetiziranega prahu smo dobili zelo homogeno trdno raztopino PMN-PT z visoko dielektričnostjo pri sobni temperaturi in temperaturi prehoda v paraelektrično stanje. Raziskovali smo postopke izdelave senzorjev deformacije na fleksibilnih tekstilnih podlagah. Za izdelavo senzorjev na tekstilnih podlagah smo uporabili polimerne prevodne in piezouporovne paste. Kot podlago smo uporabili poliestrska filterna tkanina ter z metodo sitotiska nanesli elektrodni in piezouopovni material. Te paste smo utrjevali pri nizkih temperaturah, to so temperature do 150°C. Študirali smo vpliv konfiguracije senzorja deformacije na predvsem na gauge faktor. Študirali smo odvisnost sestave piezouporovne paste na električno upornost. in gauge faktor podlagah piezouporovnega senzorja deformacije na fleksibilnih podlagah. Izdelan piezouporovni senzor je uporaben za merjenje deformacije v elastičnem področju deformacije tkanine. DS 4: Karakterizacija materialov in MEMS struktur Z elektroforetskim nanašanjem smo izdelali testne strukture na korundnih podlagah. Za primerjavo smo podobne strukture izdelali tudi s sitotiskom. Izmerjene so bili dielektrične, feroelektrične in piezoelektrične lastnosti pri sobni in povišani temperaturi. Z optimizacijo procesnih parametrov to so pogoji nanašanja suspenzije ter žganja plasti so bile dosežene zelo dobre funkcionalne lastnosti debelih plasti PZT, primerljive s tistimi, ki smo jih dobili z izdelavo s sitotiskom . Izmerjene so bili dielektrične, feroelektrične in piezoelektrične lastnosti Pb(Mg^Nb2/3)O3-PbTiO3 (PMN-PT) plasti in PZT pri sobni in povišani temperaturi. Z optimizacijo procesnih parametrov so bile dosežene zelo dobre funkcionalne lastnosti debelih plasti PMN-PT, kot na primer, piezoelektrična konstanta d33 140 pC/N. Izmerili smo mehanske in električne lastnosti senzorjev izdelanih na fleksibilnih tekstilnih podlagah. Proučevali smo mikrostrukturo plasti nanešenih na tkanino in ugotavljali morfologijo nanesenih plasti. Študirali smo odvisnost debeline nanosa senzorske piezouporovne plasti na električni odziv. Merili smo električni odziv piezouporovnega senzorja deformacije v odvisnosti od mehanske deformacije tekstilne podlage. Izračunali smo povprečen gauge faktor senzorjev, ki je bil do 5, odvisno od debeline piezouporovnega senzorja. 4. Ocena stopnje realizacije zastavljenih raziskovalnih ciljev4 Delo na projektu je sledilo zastavljenim ciljem projekta, to je razvoju novih metod za procesiranje MEMS struktur na togih in fleksibilnih podlagah za senzorske in aktuatorske aplikacije. Z metodo mehanokemijske sinteze smo pripravili kemijsko homogen podmikronski prah, ki je primeren za izdelavo plasti pri nižjih temperaturah, kot bi bil prah pripravljen s sintezo v trdnem stanju. V okviru projekta smo za nanašali plasti na keramične podlage z uporabo metode sitotiska, elektroforetskega nanašanja in brizgalnega tiskanja. Študirali smo postopke priprave suspenzij, ki so primerni za izdelavo suspenzij za elektroforetsko nanašanje in ink-jet tiskanje. Študirali smo postopek mletja z koloidnim atritorskim mlinom. Z metodo atritorskega mletja in stabilizacije suspenzije so bili uspešno pripravljeni prahovi nanometrske velikosti, kar je eden ključnih elementov za nadaljnji razvoj suspenzij za ink-jet tiskanje. Študirali smo vpliv dodatkov na proces mletja. Prah pripravljen s to metodo mletja ima zelo ozko porazdelitev, kar je ključnega pomembna za izdelavo suspenzij brizgalno tiskanje. Suspenzije PZT in PMN-PT smo jih nanesli na keramične podlage z elektroforezo. Lastnosti plasti narejenih s elektroforezo so primerljive s tistimi, ki smo jih dosegli z metodo sitotiska. Za brizgalno tiskanje so bile optimizirane suspenzije PZT. Kot ključna parametra karakteristike suspenzije za brizgalno tiskanje sta bila optimizirana viskoznost in površinska napetost. PZT suspenzije so bile uspešno nanesene na podlago. Suspenzija ni mašila brizgalne glav, tvorile so se kapljice pravilnih oblik, brez pojava satelitov, Študirali smo postopek priprave gostih piezelektričnih plasti PMN-PT, ki so ključnega pomena za izdelavo senzorjev in aktuatoijev. S kontrolo parametrov sintranja smo uspeli pripraviti plasti z zelo dobrimi funkcionalnimi lastnostmi. Študirali smo materiale in postopke za nanos senzorskih materialov na tekstilne podlage. S sitotiskom je bil realiziran je bil tudi prvi piezouporovni senzor deformacije na fleksibilni tekstilni podlagi. 5. Utemeljitev morebitnih sprememb programa raziskovalnega projekta oziroma sprememb, povečanja ali zmanjšanja sestave projektne skupine5 Ni potrebno. 6. Najpomembnejši znanstveni rezultati projektne skupine6 Znanstveni rezultat 1. Naslov SLO Elektroforetski nanos PZT plasti ANG Electrophoretic deposition of PZT layers Opis SLO Študirali smo proces elektroforetskega nanašanja PZT prahu na korundno podlago. Koloidno suspenzijo v etanolu smo stabilizirali z kontrolirano količino polielektrolita in organske baze. Plasti so bile nanešene s konstatnim tokom na korudno podlago z zlato elektrodo. Po sintranju pri 850oC so funkcionalne lastnosti plasti primerljive z lastnostmi PZT pripravljenega s sitotiskom. ANG We have studied the processing of PZT based thick films by using electrophoretic deposition. The colloidal suspension were prepared in ethanol in addition of polyelectrolite nad organic base. The electrophoretic deposition was done with contant current mode on gold coated alumina substrate. The functional properties of sintered PZT layer are comparable with those prepared with screen printing. Objavljeno v Key Eng. Mater., 2009, vol. 412, str. 101-106. Tipologija 1.08 Objavljeni znanstveni prispevek na konferenci COBISS.SI-ID 22488359 2. Naslov SLO Mehanokemijska sinteza prahu in sintranje debelih plasti ANG Mechanochemical synthesis of powders and sintering of thick film layers Opis SLO Pripravljen je bila debeloplastna struktura PMN-PT na korundni podlagi z uporabo nano prahu sintetiziranega z mehanokemijsko sintezo. Po sintranju smo dobili enofazno PMN-PT plast brez prisotnosti piroklorne faze. Z optimizacijo procesnih parametrov smo dobili optimalne lastnosti, ki so bile v ravnotežju med količino tekoče faze in gostote. Optimalne funkcionalne lastnosti smo dosegli z kontrolo gostote in količine tekoče faze. ANG PMN-PT thick-films on alumina substrates were prepared from nano-sized high-energy milled powder using screen-printing technology. Single phase PMN-PT without any pyrochlore phase was obtained after the sintering. The functional properties of the PMN-PT structure are optimal when the balance between the density and the amount of liquid phase is achieved. Objavljeno v J. Eur. Ceram. Soc.. [Print ed.], 2009, vol. 29, no. 1, str. 105-113. Tipologija 1.01 Izvirni znanstveni članek COBISS.SI-ID 22006823 3. Naslov SLO Elektroforetski nanos PMN-PT plasti ANG Electrophoretic deposition of PMN-PT layers Opis SLO Študirali smo lastnosti suspenzij, ki so primerne za proces elektroforetskega nanašanja PMN-PT prahu na metalizirano korundno podlago. Koloidno suspenzijo v etanolu smo stabilizirali z kontrolirano količino polielektrolita in organske baze. Po sintranju so funkcionalne lastnosti plasti primerljive z lastnostmi plasti pripravljenega s sitotiskom. ANG We have studied the processing of PMN based suspension for electrophoretic deposition on metalised ceramic substrate. The colloidal suspension were prepared in ethanol in addition of polyelectrolite nad organic base. The functional properties of sintered PMN-PT layer are comparable with those prepared with screen printing. Objavljeno v J. Eur. Ceram. Soc.. [Print ed.], 2010, vol. 30, no. 6, str. 1437-1444. Tipologija 1.01 Izvirni znanstveni članek COBISS.SI-ID 23389223 4. Naslov SLO Priprava in brizgalno tiskanje PZT suspenzij ANG Preparation and ink-jet printing of PZT suspensions Opis SLO Študirali smo pripravo stabilnih vodnih suspenzij PZT prahu. Za pripravo podmikronskega PZT prahu smo uporabili koloidni atritirski mlin. Študirali smo vpliv dodatka površinsko aktivnih snovi na velikost in porazdelitev velikosti delcev PZT. Pri optimalnih pogojih mletja in dodatkih smo pripravili PZT prah primeren za nanašanje z brizgalnim tiskanjem. ANG We study the preparation of stable aqueous suspensions of PZT powder. For the preparation of PZT submicron powder we used colloidal attritor mill. We were studied the influence of the addition of surfactants on the size and size distribution of PZT. We were prepared PZT powders suitable for deposition by ink jet method. Objavljeno v 18. konferenca o materialih in tehnologijah, 15.-17. november 2010, Portorož, Slovenija = 18th Conference on Materials and Technology, 15-17 November 2009, Portorož, Slovenia. Program in knjiga povzetkov. Ljubljana: Inštitut za kovinske materiale in tehnologije, 2010, str. 31. Tipologija 1.08 Objavljeni znanstveni prispevek na konferenci COBISS.SI-ID 23969319 5. Naslov SLO Nizkotemperaturno procesiranje na tekstilnih podlagah ANG Low temperature processing on textile substrates Opis SLO Študirali smo pripravo in karakteristike senzorja deformacije na tekstilnih podlagah. Kot piezouporvni material smo uporabili polimerno grafitno pasto, ki smo jo s sititiskom nanesli na tekstil. Uporabljen paste smo utrjevali pri temperaturi 120°C. Študirali smo vpliv sestave paste na odziv senzorja. Preiskovali smo interakcije med posameznimi materiali in tekstilno podlago. Izmerili smo mehanske lastnosti podlage ter električne lastnosti senzorja deformacije. ANG We have studied processing and characterisation of strain sensor on textile based substrates. Piezoresitivve paste based on carbon was screen printed and cured at 120°C. The influence of carbon paste composition was studied. Interaction between used materials and textile substrate was investigated. Mechanical and electrical properties of sensors was measured. Objavljeno v 41st International Symposium on Novelties in Textiles and 5th International Symposium on Novelties in Graphics and 45th International Congress IFKT, Ljubljana, Slovenia, 27-29 May 2010. Symposium proceedings. Ljubljana: Faculty of Natural Sciences and Engineering, Department of Textiles, 2010, str. 90-94, Tipologija 1.08 Objavljeni znanstveni prispevek na konferenci COBISS.SI-ID 2424432 7. Najpomembnejši družbeno-ekonomsko relevantni rezultati projektne skupine6 Družbeno-ekonomsko relevantni rezultat 1. Naslov SLO Postopek nanašanja piezoelektričnih plasti z elektroforezo ANG Deposition of piezoelectric layers with electrophoresis Opis SLO Postopek nanašanja piezoelektričnih plasti z elektroforezo smo uporabili za izdelavo ultrazvočnega pretvornika. Plasti je odlikoval visok faktor kt - 48 %. Meritve so pokazale, da so plasti PZT, pripravljene z EPD, primerne za izdelavo visokofrekvenčnih ultrazvočnih pretvornikov, uporabnih za diagnostiko v medicini. ANG Processing of piezoelectric layer by electroforetic deposition was applied for fabrication of high frequency transducers. The thickness-coupling coefficient of 48 %, obtained in the films, confirmed that the EPD process was suitable for fabrication of efficient high-frequency transducers for high-resolution medical imaging. Šifra F.02 Pridobitev novih znanstvenih spoznanj Objavljeno v FEUILLARD, Guy, KUŠCER, Danjela, TRAN-HUU-HUE, Louis-Pascal, LE CLEZIO, Emmanuel, KOSEC, Marija, LETHIECQ, Marc. Electroacoustic performance of high frequency PZT based transducer fabricated by electrophoretic deposition : comparison with screen printing technique_. V: 2009 IEEE International Ultrasonics Symposium : short courses & tutorials : September 20-23, 2009, Roma, Italy. TS. l.1: IEEE, 2010, str. 1138-1141. ["COBISS.SI-ID 236457351 Tipologija 1.08 Objavljeni znanstveni prispevek na konferenci COBISS.SI-ID 23645735 2. Naslov SLO Postopek nanašanja piezoelektričnih plasti z brizgalnim tiskanjem ANG Deposition of piezoelectric layers by ink-jet printing Opis SLO Pripravili smo vodne suspenzije PZT pri kontroliranih pogojih priprave (količina trdne faze, dodatki površinsko aktivnih snovi ter dodatkov za zmanjšanje površinske napetosti). Suspenzije so primerne za nanos z brizgalnim tiskanjem. ANG We have prepared stable PZT water suspensions at controlled milling conditions (optimal solid load, the amount of surfactants and additives for lowering the surface tension). The suspensions were used for high resolution patterning thick-film structures by ink-jet printing. Šifra F.02 Pridobitev novih znanstvenih spoznanj Objavljeno v Slovenski kemijski dnevi 2010, Maribor, 23. in 24. september 2010. Zbornik povzetkov referatov s posvetovanja. Maribor: FKKT, 2010, str. 39. Tipologija 1.08 Objavljeni znanstveni prispevek na konferenci COBISS.SI-ID 23972135 3. Naslov SLO Uporaba mehanokemijsko sintetiziranih prahov za izdelavo piezoelektričnih plasti ANG Application of mechanochemical synthesised powders for processing piezoelectric layers Opis SLO Z mehanokemijsko sintezo pripravljeni prahovi so nanometrske velikosti in kemijsko homogenejši kot pripravljeni z klasično sintezo v trdnem stanju. Zato so temperature sintranja nižje, zaradi nižje temperature sintranja so interakcije med podlago in piezoelektrično plastjo manjše zato lahko pripravimo plasti tudi na reaktivnejših podlagah. ANG Powder synthesised by mechanochemical route is nanometer sized and chemically homogeneously compare to solid state synthesised powders. Due to this the sintering temperature and chemical interaction between piezoelectric layer and substrate are lower. Therefore the powder is suitable also for processing on reactive substrate. Šifra F.02 Pridobitev novih znanstvenih spoznanj Objavljeno v HOLC, Janez, SKALAR, Miha, KUŠCER, Danjela, KOSEC, Marija. Processing parameters as a key factor for fabrication high-quality PMN-PT thick films. V: Electroceramics XI, August 31 - September 4,2008, Manchester, UK. Abstracts and CD proceedings. ["S. l.: s. n.1, 2008. Tipologija 1.12 Objavljeni povzetek znanstvenega prispevka na konferenci COBISS.SI-ID 21970983 4. Naslov SLO Debeloplastni senzor deformacije na tekstilu ANG Thick film strain sensor on textile Opis SLO Na tekstilni podlagi smo s pomočjo debeloplastne tehnologije realizirali senzor deformacije. Kot piezouporvni material smo uporabili polimerno grafitno pasto. V elastičnem področju deformacije uporabljene tkanine je gauge faktor 5. ANG Strain sensor on flexible textile substrate have been realised by screen printing technology. Carbon paste was used as piezoresitive material. In elastic region of textile substrate the gauge factor of realised strain sensor is 5. Šifra F.02 Pridobitev novih znanstvenih spoznanj Objavljeno v 45th International Conference on Microelectronics, Devices and Materials and the Workshop on Advanced Photovoltaic Devices and Technologies, September 9 - September 11, 2009, Postojna, Slovenia. Proceedings. Ljubljana: MIDEM - Society for Microelectronics, Electronic Components and Materials, 2009, str. 237-241. Tipologija 1.08 Objavljeni znanstveni prispevek na konferenci COBISS.SI-ID 22889511 5. Naslov SLO ANG Opis SLO ANG Šifra Objavljeno v Tipologija COBISS.SI-ID 8. Drugi pomembni rezultati projetne skupine8 9. Pomen raziskovalnih rezultatov projektne skupine9 9.1. Pomen za razvoj znanosti10 SLO V okviru projekta smo razvijali materiale in postopke za procesiranje keramičnih sistemov s pomočjo novih tehnologij. Proučevali smo pripravo materialov ter suspenzij, ki so primerne za elektroforetsko nanašanje in brizgalno tiskanje (ink-jet). Študirali smo postopke priprave materialov s kontrolirano velikostjo delcev, ki so primerni za izdelavo suspenzij za nanašanje z elektroforezo in brizgalnim tiskanjem. Z študijem postopka mletja in stabilizacije suspenzije med mletjem, smo uspešno pripravili prahove nanometrske velikosti, kar je eden ključnih elementov za nadaljnji razvoj suspenzij za brizgalno tiskanje. Nadalje je bil razvit postopek izdelave stabilne suspenzije za elektroforetsko nanašanje. Študirali postopek elektroforetskega nanašanja piezoelektričnih plasti na keramične podlage. Uspešno so bile pripravljen piezoelektrične plasti na keramičnih podlagah z zelo dobrimi funkcionalnimi lastnostmi. Postopek nanašanja je primeren za izdelavo piezoelektričnih senzorjev tlaka na tankih membranah, kjer je praktično nemogoče izdelati strukturo s sitotiskom, izdelavo piezoelektričnih plasti na tankih vzvodih, ultrazvočnih pretvornikov s kompleksno strukturo in drugo. Razvit je bil postopek priprave gostih piezelektričnih plasti, ki so ključnega pomena za izdelavo senzorjev in aktuatorjev. S sititiskom je bil realiziran ter mehansko in mikrostrukturno karakteriziran piezouporovni senzor deformacije na fleksibilni teksilni podlagi. Delo na projektu omogoča, da na raziskovalnem področju uporabe nekonvencionalnih načinov oblikovanja struktur ohranimo vidno mesto in ugled v svetu ter nadaljno možnost sodelovanja v mednarodnih projektih in s tem dostop do najnovejših rezultatov na področju mikromehanskih sistemov z integriranimi debeloplastnimi senzorji in aktuatorji. Omogočil bo, da ohranimo da bomo na področju procesiranja materialov in tehnologij za elektroniko še bolj povezovali akademsko sfero in industrijo. Večina doseženih rezultatov je novih in s tem originalnih prispevkov k znanosti. ANG Within the project we developed materials and processes for fabrication of ceramic microsystems using new technologies. Preparation of materials and suspensions that are suitable for the production layers by electrophoretic deposition and ink-jet printing were studied. By milling and stabilization of suspensions have been successfully prepared under micron sized powders, which is crucial for the further development of suspensions for ink-jet printing. Furthermore, the processes for preparation of stabile suspensions for elecrophoretic deposition have been developed. The processing of thick film layer by electrophoretic deposition was studied. The process is suitable for the fabricate of piezoelectric pressure sensors on thin membranes, where it is practically impossible to do the structure using screen printing technology, manufacture of thin piezoelectric layer on the cantilevers, an ultrasonic transducer with complex structure etc. The piezoelectric layer on ceramic substrate with good functional properties was successfully realized. We were developed procedure for the preparation of thick piezoelectric layers, which are essential for the construction of sensors and actuators. By screen printing technology we were successfully realized and characterized piezoresitive strain sensor on flexible textile substrate. The research on processing with nonconvetional techniques is one of the important topics in the filed of electronic components for electronic. The proposed project enable us to maintain the distinct position in theis research field, i.e., thick film sensors and actuators structures, and to continue to collaborate in international projects and therefore be able to obtain the latest results. The proposed research enable our laboratory improve the knowledge on processing and shaping of ceramics and keep the laboratory in world-leading position in the filed of ceramic processing. Most of obtained results is novel and therefore an original contribution to science. 9.2. Pomen za razvoj Slovenije11 SLO_ Raziskovalno delo na projektu je prispevalo k novim znanjem raziskovalcev iz obeh razlikovalnih skupin ter možnost vpeljave novih tehnologij in proizvodov v tovarno HYB d.o.o.. Vpeljava nove zahtevne tehnologije v proizvode družbe bo omogočilo razvoj novih inovativnih izdelkov z višjo dodano vrednostjo in tudi povečalo konkurenčnost družbe na svetovnem trgu senzorjev tlaka. Sodelujoča raziskovalna organizacija HIPOT-RR ter sofinancer in uporabnik družba HYB sta v slovenski lasti in sta locirane v Jugovzhodni regiji in nedaleč od južne meje EU. Na ta način projekt spodbuja tudi enakomernejši regionalni razvoj republike Slovenije. Raziskovalni rezultati in njihova implementacija v industrijskem okolju predstavlja pozitivni vzgled sodelovanja znanstveno-raziskovalne sfere z industrijo. Taki pozitivni vzgledi so pomembni za spodbujanje tovrstnega sodelovanja v Sloveniji. Rezultati dela na raziskovalnem projektu so prispevali k oblikovanju programa enega od projektov v novonastalem Centru odličnosti NAMASTE (Napredni nekovinski materiali s tehnologijami prihodnosti). Center odličnosti NAMASTE je multidisciplinarni in transdisciplinarni konzorcij raziskovalnih institucij in industrije. Center povezuje 10 raziskovalnih skupin, tri zaseben raziskovalne organizacije ter vrsto slovenskih tehnološko naprednih podjetij, med katerimi prevladujejo prodorna srednja in manjša podjetja. Partnerji so razpršeni skoraj po vseh Slovenskih regijah. Raziskovalni rezultati so prispevali tudi k oblikovanju dela programa v novem Razvojnem centru In.Medical (Inovativni medicinski sistemi in metode zdravljena). Ta Razvojni center slovenskega gospodarstva na področju industrijskega sektorja Farmacija in biotehnologija je bil ustanovljeno leta 2011 in je locirano v regiji Jugovzhodna Slovenija Širjenje (diseminacija) raziskovalnih rezultatov dviga ugled Slovenskih raziskovalnih institucij v Evropskem raziskovalnem področju. ANG Research work on the project has contributed to new knowledge of researchers of two research groups, and introduction of new technology to industrial partner HYB d.o.o. The new advanced technology will enable the development of new innovative products with higher added value and increase the company's competitiveness in the global market of pressure sensors. Participating research organization HIPOT-RR and co-financier and the user company HYB are in Slovenian ownership and are located in the developing region of Slovenia and near the southern border of the EU. In this way, the proposed project also encourages sustain regional development of Slovenia. Research results and their implementation in the products on the market is a positive example of cooperation between the scientific-research society and the industry. Such positive example is very important to promote such cooperation in Slovenia. The results of the research project contributed in creation of two new organisation structures: (i) Centre of Excellence NAMASTE (Advanced Materials and Technologies for the Future) is a multi-disciplinary and trans-disciplinary consortium of research institutions and industry, which include ten research groups, three private research organizations and a number of Slovenian high-tech companies. The partners are spread almost all Slovenian regions. (ii) Development Center In.Medical (Innovative Medical Systems and Treated Methods) was founded in the year 2011 and it is located in South-Eastern region of Slovenia. Dissemination of the research results increases the reputation of the Slovenian research institutions in the European research area. 10. Samo za aplikativne projekte! Označite, katerega od navedenih ciljev ste si zastavili pri aplikativnem projektu, katere konkretne rezultate ste dosegli in v kakšni meri so doseženi rezultati uporabljeni Cilj F.01 Pridobitev novih praktičnih znanj, informacij in veščin Zastavljen cilj © DA O NE Rezultat Dosežen d Uporaba rezultatov V celoti d F.02 Pridobitev novih znanstvenih spoznanj Zastavljen cilj © DA O NE Rezultat Dosežen d Uporaba rezultatov V celoti d F.03 Večja usposobljenost raziskovalno-razvojnega osebja Zastavljen cilj © DA O NE Rezultat Dosežen d Uporaba rezultatov V celoti d F.04 Dvig tehnološke ravni Zastavljen cilj ♦> DA O NE Rezultat Dosežen d Uporaba rezultatov V celoti d F.05 Sposobnost za začetek novega tehnološkega razvoja Zastavljen cilj © DA O NE Rezultat Dosežen bo v naslednjih 3 letih d Uporaba rezultatov V celoti d F.06 Razvoj novega izdelka Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.07 Izboljšanje obstoječega izdelka Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.08 Razvoj in izdelava prototipa Zastavljen cilj .) DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.09 Razvoj novega tehnološkega procesa oz. tehnologije Zastavljen cilj © DA O NE Rezultat Dosežen ^J Uporaba rezultatov V celoti ^J F.10 Izboljšanje obstoječega tehnološkega procesa oz. tehnologije Zastavljen cilj ♦> DA O NE Rezultat Dosežen ^J Uporaba rezultatov V celoti ^J F.11 Razvoj nove storitve Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.12 Izboljšanje obstoječe storitve Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.13 Razvoj novih proizvodnih metod in instrumentov oz. proizvodnih procesov Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.14 Izboljšanje obstoječih proizvodnih metod in instrumentov oz. proizvodnih procesov Zastavljen cilj D DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.15 Razvoj novega informacijskega sistema/podatkovnih baz Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.16 Izboljšanje obstoječega informacijskega sistema/podatkovnih baz Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.17 Prenos obstoječih tehnologij, znanj, metod in postopkov v prakso Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d Posredovanje novih znanj neposrednim uporabnikom (seminarji, forumi, F.18 konference) Zastavljen cilj © DA O NE Rezultat Dosežen ^J Uporaba rezultatov V celoti d F.19 Znanje, ki vodi k ustanovitvi novega podjetja ("spin off") Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.20 Ustanovitev novega podjetja ("spin off") Zastavljen cilj .) DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.21 Razvoj novih zdravstvenih/diagnostičnih metod/postopkov Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.22 Izboljšanje obstoječih zdravstvenih/diagnostičnih metod/postopkov Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.23 Razvoj novih sistemskih, normativnih, programskih in metodoloških rešitev Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.24 Izboljšanje obstoječih sistemskih, normativnih, programskih in metodoloških rešitev Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.25 Razvoj novih organizacijskih in upravljavskih rešitev Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.26 Izboljšanje obstoječih organizacijskih in upravljavskih rešitev Zastavljen cilj .) DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.27 Prispevek k ohranjanju/varovanje naravne in kulturne dediščine Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.28 Priprava/organizacija razstave Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.29 Prispevek k razvoju nacionalne kulturne identitete Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.30 Strokovna ocena stanja Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.31 Razvoj standardov Zastavljen cilj D DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.32 Mednarodni patent Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.33 Patent v Sloveniji Zastavljen cilj © DA O NE Rezultat Dosežen bo v naslednjih 3 letih ^J Uporaba rezultatov V celoti ^J F.34 Svetovalna dejavnost Zastavljen cilj O DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d F.35 Drugo Zastavljen cilj .) DA © NE Rezultat d Uporaba rezultatov d Komentar 11. Samo za aplikativne projekte! Označite potencialne vplive oziroma učinke vaših rezultatov na navedena področja Vpliv Ni vpliva Majhen vpliv Srednji vpliv Velik vpliv G.01 Razvoj visoko-šolskega izobraževanja G.01.01. Razvoj dodiplomskega izobraževanja O O o 0 G.01.02. Razvoj podiplomskega izobraževanja o o o 0 G.01.03. Drugo: o o o o G.02 Gospodarski razvoj G.02.01 Razširitev ponudbe novih izdelkov/storitev na trgu o o o 0 G.02.02. Širitev obstoječih trgov o o o 0 G.02.03. Znižanje stroškov proizvodnje o o 0 o G.02.04. Zmanjšanje porabe materialov in energije O O O 0 G.02.05. Razširitev področja dejavnosti o o o 0 G.02.06. Večja konkurenčna sposobnost o o o 0 G.02.07. Večji delež izvoza o o o 0 G.02.08. Povečanje dobička o o o 0 G.02.09. Nova delovna mesta o o o 0 G.02.10. Dvig izobrazbene strukture zaposlenih o o o 0 G.02.11. Nov investicijski zagon o o o 0 G.02.12. Drugo: o o o o G.03 Tehnološki razvoj G.03.01. Tehnološka razširitev/posodobitev dejavnosti O O O 0 G.03.02. Tehnološko prestrukturiranje dejavnosti O O O 0 G.03.03. Uvajanje novih tehnologij o o o 0 G.03.04. Drugo: o o o o G.04 Družbeni razvoj G.04.01 Dvig kvalitete življenja o 0 o o G.04.02. Izboljšanje vodenja in upravljanja 0 o o o G.04.03. Izboljšanje delovanja administracije in javne uprave 0 O O O G.04.04. Razvoj socialnih dejavnosti 0 o o o G.04.05. Razvoj civilne družbe 0 o o o G.04.06. Drugo: o o o o G.05. Ohranjanje in razvoj nacionalne naravne in kulturne dediščine in identitete 0 O O O G.06. Varovanje okolja in trajnostni razvoj 0 O O O G.07 Razvoj družbene infrastrukture 1 1 1 1 1 G.07.01. Informacijsko-komunikacijska infrastruktura ® O o o G.07.02. Prometna infrastruktura 0 o o o G.07.03. Energetska infrastruktura 0 o o o G.07.04. Drugo: O o o o G.08. Varovanje zdravja in razvoj zdravstvenega varstva 0 o o o G.09. Drugo: O o o o Komentar 12. Pomen raziskovanja za sofinancerje, navedene v 2. točki— 1. Sofinancer HYB, d.o.o. Vrednost sofinanciranja za celotno obdobje trajanja projekta je znašala: 54.460,00 EUR Odstotek od utemeljenih stroškov projekta: 25,00 % Najpomembnejši rezultati raziskovanja za sofinancerja Šifra 1. Raziskave na novih področjih prinašajo nova praktična znanaja in veščine v družbo HYB (npr. piezoelektriko, brizganje). F.01 2. Novi izsledki se uporabljajo pri razvoju novih izdelkov. F.03 3. Osvojitev novih tehnoloških postopkov (npr. brizganje funkcionalnih materialov) dviga tehnološko raven v družbi HYB. F.04 4. Izdelki, ki nastajajo na osnovi raziskovalnih rezultatov na področju materialov izboljšujejo obstoječe izdelke in povečujejo konkurenčnost novih izdelkov. F.07 5. Na osnovi raziskovalnih dosežkov je bil razvit prototip komponente za kontrolo krvi. F.08 Komentar Raziskave na področju materialov za elektronske komponente so bile usmerjene v pripravo zelo finih prahov funkcijskih materialov (npr. PZT) za tiskanje z brizgalnim tiskalnikom oziroma izdelavo past za sintranje pri nizkih temperaturah. Ti in ostali rezultati projekta L2-1187 so uporabni v razvojnem programu družbe HYB s kratkim naslovom KeraMEMS. Ta razvojni program temelji na novih materialih in tehnologijah ter je usmerjen v povečanje konkurenčnosti družbe na obstoječem proizvodnem programu družbe (senzorji tlaka) in odpiranju novih tržnih možnosti na področju keramičnih mikrosistemov. Objektni cilj programa je prenos nove LTCC tehnologije in znanja v proizvodnjo, ter izdelava pilotne serije. Uspešnost programa KeraMEMS je močno odvisna tudi od povezave z raziskovalnimi organizacijami, kar nam aplikativni raziskovalni projekt omogoča. Ocena Potrjujemo, da so rezultati raziskovalnih aktivnosti v sklopu aplikativnega raziskovalnega projekta "Procesiranje keramičnih mikro-elektro-mehanskih sistemov s pomočjo novih tehnologij" (Šifra ARRS: L2-1187) v skladu z načrtovanimi raziskovalnimi aktivnostmi družbe HYB. Doseženi rezultati raziskovalnega projekta so izpolnili pričakovanja družbe in jih vključujemo v razvojne programe družbe. 2. Sofinancer Vrednost sofinanciranja za celotno obdobje trajanja projekta je znašala: EUR Odstotek od utemeljenih stroškov projekta: % Najpomembnejši rezultati raziskovanja za sofinancerja Šifra 1. 2. 3. 4. 5. Komentar Ocena 3. Sofinancer Vrednost sofinanciranja za celotno obdobje trajanja projekta je znašala: EUR Odstotek od utemeljenih stroškov projekta: % Najpomembnejši rezultati raziskovanja za sofinancerja Šifra 1. 2. 3. 4. 5. Komentar Ocena C. IZJAVE Podpisani izjavljam/o, da: • so vsi podatki, ki jih navajamo v poročilu, resnični in točni • se strinjamo z obdelavo podatkov v skladu z zakonodajo o varstvu osebnih podatkov za potrebe ocenjevanja, za objavo 6., 7. in 8. točke na spletni strani http://sicris.izum.si/ ter obdelavo teh podatkov za evidence ARRS • so vsi podatki v obrazcu v elektronski obliki identični podatkom v obrazcu v pisni obliki • so z vsebino zaključnega poročila seznanjeni in se strinjajo vsi soizvajalci projekta Podpisi: Janez Holc in podpis vodje raziskovalnega projekta zastopnik oz. pooblaščena oseba RO Kraj in datum: Ljubljana 21.4.2011 Oznaka poročila: ARRS-RPROJ-ZP-2011-1/79 1 Zaradi spremembe klasifikacije družbeno ekonomskih ciljev je potrebno v poročilu opredeliti družbeno ekonomski cilj po novi klasifikaciji. Nazaj 2 Samo za aplikativne projekte. Nazaj 3 Napišite kratko vsebinsko poročilo, kjer boste predstavili raziskovalno hipotezo in opis raziskovanja. Navedite ključne ugotovitve, znanstvena spoznanja ter rezultate in učinke raziskovalnega projekta. Največ 18.000 znakov vključno s presledki (približno tri strani, velikosti pisave 11). Nazaj 4 Realizacija raziskovalne hipoteze. Največ 3.000 znakov vključno s presledki (približno pol strani, velikosti pisave 11). Nazaj 5 V primeru bistvenih odstopanj in sprememb od predvidenega programa raziskovalnega projekta, kot je bil zapisan v predlogu raziskovalnega projekta oziroma v primeru sprememb, povečanja ali zmanjšanja sestave projektne skupine v zadnjem letu izvajanja projekta (obrazložitev). V primeru, da sprememb ni bilo, to navedite. Največ 6.000 znakov vključno s presledki (približno ena stran, velikosti pisave 11). Nazaj 6 Navedite največ pet najpomembnejših znanstvenih rezultatov projektne skupine, ki so nastali v času trajanja projekta v okviru raziskovalnega projekta, ki je predmet poročanja. Za vsak rezultat navedite naslov v slovenskem in angleškem jeziku (največ 150 znakov vključno s presledki), rezultat opišite (največ 600 znakov vključno s presledki) v slovenskem in angleškem jeziku, navedite, kje je objavljen (največ 500 znakov vključno s presledki), izberite ustrezno šifro tipa objave po Tipologiji dokumentov/del za vodenje bibliografij v sistemu COBISS ter napišite ustrezno COBISS.SI-ID številko bibliografske enote. Navedeni rezultati bodo objavljeni na spletni strani http://sicris.izum.si/. PRIMER (v slovenskem jeziku): Naslov: Regulacija delovanja beta-2 integrinskih receptorjev s katepsinom X; Opis: Cisteinske proteaze imajo pomembno vlogo pri nastanku in napredovanju raka. Zadnje študije kažejo njihovo povezanost s procesi celičnega signaliziranja in imunskega odziva. V tem znanstvenem članku smo prvi dokazali... (največ 600 znakov vključno s presledki) Objavljeno v: OBERMAJER, N., PREMZL, A., ZAVAŠNIK-BERGANT, T., TURK, B., KOS, J.. Carboxypeptidase cathepsin X mediates 62 - integrin dependent adhesion of differentiated U-937 cells. Exp. Cell Res., 2006, 312, 2515-2527, JCR IF (2005): 4.148 Tipopologija: 1.01 - Izvirni znanstveni članek COBISS.SI-ID: 1920113 Nazaj 7 Navedite največ pet najpomembnejših družbeno-ekonomsko relevantnih rezultatov projektne skupine, ki so nastali v času trajanja projekta v okviru raziskovalnega projekta, ki je predmet poročanja. Za vsak rezultat navedite naslov (največ 150 znakov vključno s presledki), rezultat opišite (največ 600 znakov vključno s presledki), izberite ustrezen rezultat, ki je v Šifrantu raziskovalnih rezultatov in učinkov (Glej: http://www.arrs.gov.si/sl/gradivo/sifranti/sif-razisk-rezult.asp), navedite, kje je rezultat objavljen (največ 500 znakov vključno s presledki), izberite ustrezno šifro tipa objave po Tipologiji dokumentov/del za vodenje bibliografij v sistemu COBISS ter napišite ustrezno COBISS.SI-ID številko bibliografske enote. Navedeni rezultati bodo objavljeni na spletni strani http://sicris.izum.si/. Nazaj 8 Navedite rezultate raziskovalnega projekta v primeru, da katerega od rezultatov ni mogoče navesti v točkah 6 in 7 (npr. ker se ga v sistemu COBISS ne vodi). Največ 2.000 znakov vključno s presledki. Nazaj 9 Pomen raziskovalnih rezultatov za razvoj znanosti in za razvoj Slovenije bo objavljen na spletni strani: http://sicris.izum.si/ za posamezen projekt, ki je predmet poročanja. Nazaj 10 Največ 4.000 znakov vključno s presledki Nazaj 11 Največ 4.000 znakov vključno s presledki Nazaj 12 Rubrike izpolnite/prepišite skladno z obrazcem "Izjava sofinancerja" (http://www.arrs.gov.si/sl/progproj/rproj/gradivo/), ki ga mora izpolniti sofinancer. Podpisan obrazec "Izjava sofinancerja" pridobi in hrani nosilna raziskovalna organizacija - izvajalka projekta. Nazaj Obrazec: ARRS-RPROJ-ZP/2011-1 v1.01 A3-A2-02-95-49-C1-86-11-61-21-72-FF-A6-17-CC-25-3A-C7-69-D0 IZJAVA SOFINANCERJA APLIKATIVNEGA RAZISKOVALNEGA PROJEKTA 1. Sofinancer (naziv in naslov) HYB Proizvodnja hibridnih vezij d.o.o., Levičnikova cesta 34, 8310 Šentjernej 2. Vrednost sofinancerja za projekt L2-1187_je znašala 54.460,00 EUR, (šifra projekta) kar predstavlja 25,00 % utemeljenih stroškov projekta. 3. Sofinanciranje je bilo izvedeno (datum; obdobje): 1. 2. 2008 - 31. 1. 2011 4. Najpomembnejši rezultati raziskovanja za sofinancerja Zap. št. Rezultati (znanstvena dela, patenti, prenosi v prakso, programska oprema, kongresi, izvedena dela, razstave, itd.)1 Šifra2 1. Raziskave na novih področjih prinašajo nova praktična znanaja in veščine v družbo HYB (npr. piezoelektriko, brizganje) F.01 2. Novi izsledki se uporabljajo pri razvoju novih izdelkov F.03 3. Osvojitev novih tehnoloških postopkov (npr. brizganje funkcionalnih materialov) dviga tehnološko raven v družbi HYB F.04 4. Izdelki, ki nastajajo na osnovi raziskovalnih rezultatov na področju materialov izboljšujejo obstoječe izdelke in povečujejo konkurenčnost novih izdelkov F.07 5. Na osnovi raziskovalnih dosežkov je bil razvit prototip komponente za kontrolo krvi F.08 Komentar:3 Raziskave na področju materialov za elektronske komponente so bile usmerjene v pripravo zelo finih prahov funkcijskih materialov (npr. PZT) za tiskanje z brizgalnim tiskalnikom oziroma izdelavo past za sintranje pri nizkih temperaturah. Ti in ostali rezultati projekta L2-1187 so uporabni v razvojnem programu družbe HYB s kratkim naslovom KeraMEMS. Ta razvojni program temelji na novih materialih in tehnologijah ter je usmerjen v povečanje konkurenčnosti družbe na obstoječem proizvodnem programu družbe (senzorji tlaka) in odpiranju novih tržnih možnosti na področju keramičnih mikrosistemov. Objektni cilj programa je prenos nove LTCC tehnologije in znanja v proizvodnjo, ter izdelava pilotne serije. Uspešnost programa KeraMEMS je močno odvisna tudi od povezave z raziskovalnimi organizacijami, kar nam aplikativni raziskovalni projekt omogoča._ 1 Navedite najpomembnejše rezultate (najmanj enega) raziskovanja. Največ 200 znakov vključno s presledki. Izberite ustrezno šifro (A-F) po Šifrantu raziskovalnih rezultatov in učinkov http://www.arrs.gov.si/sl/qradivo/sifranti/sif-razisk-rezult.asp Največ 3000 znakov vključno s presledki. 5. Ocena sofinancerja o pomenu oziroma vplivu rezultatov projekta za sofinancersko organizacijo4:_ Potrjujemo, da so rezultati raziskovalnih aktivnosti v sklopu aplikativnega raziskovalnega projekta "Procesiranje keramičnih mikro-elektro-mehanskih sistemov s pomočjo novih tehnologij" (Šifra ARRS: L2-1187) v skladu z načrtovanimi raziskovalnimi aktivnostmi družbe HYB. Doseženi rezultati raziskovalnega projekta so izpolnili pričakovanja družbe in jih vključujemo v razvojne programe družbe. Datum: 12. 4. 2011 žig Podpis: Dušan Plut Hyb d.o.o. 4 Uvižnikova cesta 34 8310 Šentjernej (zakoniti 2 * 1 ' rja) emotional electronics 4 Podatek je obvezen. Največ 3000 znakov vključno s presledki.