Characterization of multilayer PACVD TiN/Ti(B-N)/TiB2 coatings for hot-worked tool steels using electron spectroscopy techniques - Jenko, Monika (Materiali in tehnologije, 2008)
Večplastne Ti(B-N) plasti so vrinjene med TiN prevleko jekla AISI H11 in zunanjo TiBspodaj2 plast. Plasti so bile nanesene po postopku kemijske parne faze ob pomoči plazme (PZACVD), raziskali smo jih z različnimi tehnikami osnovanimi na elektronski spektroskopiji. Debelina celotne prevleke iz 21 plasti je 1,6 mim. Prejšnje raziskave tovrstnih prevlek z rentgensko difrakcijo (XRD), energijsko disperzijsko spektroskopijo (EDS), valovno disperzijsko spektroskopijo (WDS) niso dovolj natančne zaradi relativno velike analizne globine. V članku predstavljamo uporabo Augerjeve elektronske spektroskopije s FEG izvorom elektronov (FE-AES) za raziskavo sestave posameznih plasti v večplastni prevleki. AES linijska analiza preko preseka vzorca in AES globinski profil se je pokazala za zelo primerno za karakterizacijo tovrstnih večplastnih prevlek. Rezultate smo primerjali z meritvami z vrstično elektronsko mikroskopijo s FEG izvorom elektronov (FE-SEM) in valovno disperzijsko spektroskopijo (WDS) na prečno prerezanih vzorcih.
Keywords: preiskava materiala; titan; trde prevleke; boridi; nitridi; Augerjeva elektronska spektroskopija; valovno disperzijska spektroskopija