Radiofrequency induced plasma in large-scale plasma reactor - Zaplotnik, Rok (Materiali in tehnologije, 2011)
V prispevku opisujemo meritve karakteristik plinske razelektritve, inducirane z dvojno vzbujevalno tuljavo. Z uporabo dveh vzporedno vezanih prekrivajočih se in zamaknjenih vzbujevalnih tuljav dosežemo boljši prenos elektromagnetne moči od radiofrekvenčnega generatorja v plinsko plazmo. Tuljavi sta vezani zaporedno v sklopu: tuljava-uskladitveni člen-visoko- frekvenčni kabel-generator. Tovrstna vezava tuljav ima pred doslej opisanimi sklopi več prednosti, med drugim naslednje: izkoristek moči generatorja se poveča, plazma v razelektritveni posodi je bolj homogena, napetost na generatorju, ki je potrebna za generiranje plazme, je manjša, obenem pa so bistveno zmanjšani stranski pojavi, ki so posledica kapacitivnih sklopitev v plazemskem sistemu.
Keywords: radiofrekvenčna razelektritev; plazma; sklopitveni člen; plazemski reaktorji