JU
1986
GLASILO DRUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO SLOVENIJE
11
VSEBINA
1.	X. jugoslovanski vakuumski kongres - Beograd I9S6
2.	3. skupščina XJVAK-a
3.	Delovanje JUVAK-a in dn^tev v preteklem triletnem obdobju
4.	rvbvi eiani odborov JUVAK-a
Prof. dr. Kansky prejel Kidričen nagrack)
6.	Merilnik debeline Alpha-Step 100
7.	Cbiskali smo BaUers
8.	IX. jugoslovansko posvetovanje iz sploSne in upcrabne spektroskopije
9.	3. mednaraciii simpozij o optiCnI in optoelektronski uporabno znanosti in tnientringu
10.	Seja lO ILTVSTA v ^Itzu
11.	Koledar
12.	Kratke novice
X. XJGOSLOVANSKI VAKUUMSKI KONGRES - BEOGRAD 1986
Zveza društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije (JUVAK) v povezavi s posameznimi republiškimi društvi le vrsto let arg.snizi-ra strokovne kongrese o uporabi vakuuma ter □ znanosti in tehnikah, ki so vezane na vakuum. Dosedanji kongresi so se vrstili takole: I. - 1959 - Ljubljana, 2. - 1964 Beograd, 3. - 1966 -Zagrd), 4. - 1968 Bled, 5. - 1971 - Portorož, 6. - 1973 Postojna, 7. - 1975 - Beograd, 8. - 1979 • Bled, 9. - 1983 - Zagreb, 10. - I9S6 - Beograd.
Letošnji X. jugoslovanski vakuumski kongres je potekal v stavbi saveza irt^enjera i tehnlčara Jugoslavije in sicer od 29. 6, do 2.7.1986. I^ganizator je bilo Društvo la vakuums)<o tefiniko Srbije. Predstavljenih je bila 43 strokovnih referatov, od tega 5 tujih, 16 Iz Slovenije, 4 iz Hrvaške, 12 iz Srbije In 6 Iz BiH. Po tematiki in naslovih jih prikazuje naslednja razvrstitev.
Uvodna predavanja
1 .M. Nenadovič Vakuum 11! prazan prostor
B. Perraillon
Caracterisation des surfaces adsorption - segregation et diffusion
E. Kansk y
Hermetologija stičnih ploskev in spojev
P.B. Barna, A.Barna and G. Radnoczl Some aspects o< tayloring thin films
dr. Reich (Leybold Heraeus) Proizvodenje I merenje vakuuma
Proizwdnja in merjenje vakuuma M.V. Kurepa
Ekstremno niski pritisci u laboratorij^im uslovima: Qde je gra-nica i kako je meriti Z. Sterröerg
Ispltivanje sadržaja pilnova u materi|alima
1.	Terzič, M. Toiid, M. MiliSič, Z. RakočeviŽ
Ure^j za eksperimentalna istraživanja pojave stimulisane de-sorpclje Iona sa površine pod dejstvom elektronskog snopa
J. Gasperlf, A. Virant, B. Kos, V. Rebec
Univerzalna laboratorijska visokovakuumska črpaina naprava
"Multivak"
J. Setina, R. Zavašnik, V. Nemanič, (E. Kansky)
17	I
Odkrivanje netesnosti pod 10" mbar.l.s" z viskoznostnim merilnikom na vrtečo se kroglico
M. M. Tošitf, I. Terzlif
Merenje vakuuma unutar prekidnog elementa vakuumskog pre-kidafa
A. Žabkar, P. Panjan in B. Navif^ek Nizko energijski ionski Izvor s širokim snopom
Vakuumske tehnike v procesni industriji
L. Koller, R. Tavzes, M. Jenko
Odkrivanje napak vakuumsko tesnih spojev elektronskih sestavnih delov
M. TasevskI, M. Pohl, S. Jerič Meritve lastnosti Hg, Cd Te
^l.x X
E. Perman, S. Jerič, M. TasevskI, N. Perdlh Sinteza l-qCöTe za IR senzorje
Tanki sloji in prevleke K Störl
Plasma assisted coating processes
M. Milosavljevič, N. Bibič, D. Perulko, T. Nenadovič Izmena višine površinskih barijera WTi-5i nlskoenergetsklm jo nima argona
A.	Zalar
AES profllna analiza večslojnih tankih plasti Cr/NI
T. Minač, M. MilIČ, T. NenaOovlč, N. BlBič Laserom Indukovane morfološke promene u sistemu tanak metalni sloj - dlelektrična podloga P. Panjan, B. Navinšek in A. Zabkar Reaktivno jedkanje z ionskim snopom
L-. Tanovič i N. Tanovič
Utlcaj parametara (on-meta kombinacije na oštrlnu konusnih formacija na metalnim monokristallma
2.	Bogdanov, D. Peruško, T. Nenadovič, N. Popovlč, O. Suplč Strukturne karakteristike	prevlaka
B.	Jelenkovlč, S. Radovanov, Z. Petrovič, Z.V. Popovlč Eksperimentalni uredaj za depozlclje i nagrizanje materljala pomoču RF plazme
D. Gracln
Si-H veze u amorfnom sllicijiimu deponiranem magnetronskim rasprašenjem
K. Foiun, A. Canrjvec, R. 1 wes, M. Kern Tankoplastnl nikljev senzor temperature 5 krčiikim Ddziuihm časom
M. Kern, A. Banovec, R. Tavzes, K. Poiun Problematika oblikovanja napršenih preciznih tankool-istnlh uporov
A. Banovec, L. Koller, R. Tsvzes, M. Kern, K. Požun Značilnosti sistemov kontaktiranja tankih naprienlh uporovnih plasti
M. f/llič, 2. Bogdanov, T. Nenadovič, T. DImitrijevič Aühpzlja TiN slojeva na brzoreznom Cellku i mogučnostl za njeno poboljša nje
2. Spasič
Plazmeno raspršlvanje pri nlskim pritiscima
Firma Riber iz Francije - reklamno; Karakterizacija tankih slujeva 1 prevlaka
P. Vretenar
D«komponentnl sloj za termalnu oblast spektra
A. Demšar, J. Lindau
interferenčni filter na saflrju za 4,4 yum
S. Rlstlčevič
Bllkirajučl filter za infracrveno poOručje dO 9 - 12 ^im M. Zukič
Savremene tehnologije i dizajn optlčklh tankih slojevd
C.	Zerajič, M. Zuki'f
Izrada optoelektronskih komponenti jonskim nagrlzanjem
D.	RiOjošlč
Identifikacija površinskih qresaka prije i nakon nanošenja .inll-refieksnog sloja
T.M. Faviovič
Primena nekih savremenlh metoda u analizi kompozltnlh prevlaka
T. Pavlovlč, N. Jovanovlč, S. Pavlovld, B. Deletič Proučavanje površinskih defekata vlšeslojne Fe/Cu-Cd-Cr prevleke
Vakuumska metalurgija in obdelava kovin R. Brink
Production of precision cast parts of globular dlrectionaliy solidified or monocrystalline structure In the vacuum induction furnace
A. Pregelj, F. Brecelj, R. Tai/zes, B. Erjavec. M. Pečar, i. Pod-
breJnlh, J. Stamcar
Varjeni vakuumsko tesni spoji
M. Jenko, E. Kansky, R. Tavzes
Mehanizem in klnetika vakuumskega kromanja železa
Llofilizacija in uporaba
J. Gasperič, A.2. Dragaš Vakuumska sterilizacija v medicini
P. Mlškovič, 2. Barüiif, D. Miškovič
Uticaj sušenja na hranljlvu vrednost paradajz koncentrata.
3. SKUPŠČINA JI IV AK-a
V Času 8. jugoslovanskega vakuumskega kongresa je bila leta 1979 na Bledu ustanovna prva skupičina zveze takrat na novo registriranih repuOllških vakuumskih društev - JÜVAK. Kmalu potem je prišlo tudi do uradne registracije novega JUVAK-a.
že ustanovna skupščina je kot glavne smernice za delo zveze nakazala ustanovitev 6. druitva (BIH, Črna gora ali Makedonija), skupno delo jugoslovanskih vakuumistov po sekcijah (predvsem izobraževanje), ter nadaljevanje oziroma ojačanje stikov i vaku-umisti zunaj Jugoslavije in z zvezo iUVSTA.
Na 2. skupščini (leta 1987 v Zagrebu) so bile kot rezultat razgovorov ob okroglih mizah v sklopu 9. vakuumskega kongresa ustanovljene komisije:
-	za vzgojo in strokovno problematiko
-	za izkoriščanje In vzdrževanje vakuumske opreme • za izboljšanje gospodarstva.
V obdobju do letošnje J. skupščine JUVAK-a, ki je bita I. 7. 1986 v Beogradu v sklopu X, jugoslovanskega vakuumskega kon-gresa, se je v okviru obstoječih možnosti kar precej postorilo v smislu smernic, izrečenih na prvih dveh skupščinah. To je lepo razvidno iz najrazličnejših poročil, ki so bila podana letos v Beogradu, In so na kratko predstavljena posebej tudi v tej številki VAKUUMISTA.
Kot največji predstoječi problemi pa so se na letošnji skupščini Izkristalizirali naslednji:
-	ustanovitev Društva za vakuumsko tehniko v BIH - formalnopravna in pričeti z aktivnostjo (organizacija tečaja ita.)
-	čim bcljše organizacije četrte vakuumske konference treh Oe-2el (Avstrije, Madžarske in Jugoslavije), ki bo leta 1986 pri nas; dobiti dobre predavatelje Iz tujine, kombinirati s sejo IUVSTA in narediti vse, da bo strokovna in splošna raven vsaj taka, kot Je bila na 3. konferenci lani v Debrecenu.
-	pojačati obveščanje o našem delovanju; bilteni JUVAK so strokovne knjige, ki Izidejo največ enkrat na leto, za [ekoče obveščanje pa bo moral 10 JUVAK-a razmisliti o novem časopisu; možnost je tuOi razširitev slovenskega VAKUUMISTA.
-	delovanje zveze JUVAK se zaenkrat financira samo s članarino republiških društev, ki za letos znaša 50.000 na društvo; za kakšno dodatno akcijo zveze bo treba najti nove vire (npr. določitev odstotka od večjih akcij posameznega druitva, oglasi v naših publikacijah,...)
-	iztnljšanje udeležbe na naših kongresih In posvetovanjih; pritegniti s tematiko tudi strokovnjake iz bližnjih tehničnih in znanstvenih področij
-	pričeti s standardizacijo na področju vakuumske tehnike v Jugoslaviji; za začetek zbuditi zanimanje pri Zveznem zavodu za mere in uteži.
Poleg že omenjene problematike v zvezi s programom za delo v bodoče in volitev novih organov, glej poseben prispevek), so bili letos za nove častne člane JUVAK-a imenovani prof. dr. Brana Perovič na predlog srbskega DVT, Zdenko Sternberg, dipl.ing. in Rajko Stojanovič, dipl.ing. na predlog hrvaškega DVT in prof. dr. Evgen Kansky na slovenski predlog. Častnima članoma prof. dr. Ivanu Sevarcu Iz Srbije in dr. Francetu Lahu iz Slovenije, ki sta kot prva prejela ta naziv že leta 1983 v Zagrebu, pa sta bili slavnostno podeljeni umetniški diplomi o imenovanju.
Izvoljeni so bili tudi predstavnik JUVAK-a v iUVSTA in sicer mag. A. Zalar (zamenjuje ga mag. M. Jenko) ter delegacija, ki bo zastopala Jugoslavijo na X. mednarodnem vakuumskem kon-gresu letos v Baltimoru: mag. Zalar, dr. Kan^y, dr. Gasperič ter mag. Jenko.
r->lede na smernice vseh dosedanjih skupščin in na dosedanjo aktivnost sta bili namesto prejšnjih treh, letos imenovani dve komisiji:
-	za vzgojo in strokovne probleme: dr. M. Kurepa, Z. Sternberg, Or. E. Kansky
-	za izkoriščanje in vzdrževanje opreme ter za Izboljšanje proiz-
-	za izkoriščanje In vzdrževanje opreme ter za izboljšanje proizvodnje: M. Milosavljevič, J. Jureta, T. Cordašič, V. Obelič, D. Zivkovii, V. Rebec, B. Jenko, L. Pipan in S. Sulčič.
Letošnji J. skupščini je prisostvovalo 29 vakuumistov iz vse Jugoslavije od tega po 7 delegatov iz vsakega obstoječega republiškega društva.
OELOVAhUE JUVAK-a IN DRUSlEV V PRETEKLEM TRILETNEM CBDOBJU ftjvzetek poročil na 5. skupščini JUVAK-a 1. julija 1986 v Beogradu
JUVAK
Sest sej 10 (tri v Zagrebu, dve v Beogradu in ena v Ljubljani).
Povezava z DVT Avstrije in z vakuumsko sekcijo macfiarskega fizikalnega društva Roland Eotvos.
Sodelovanje n^ih članov pri organizaciji II. združene vakuumske konference Avstrije, Matžarske in Jugoslavije oktobra 1985 v Debrecenu.
Sodelovanje predstavnika JUVAK v IUVSTA na šestin rednih sejah.
Sodelovanje predstavnika JUVAK predsednlltvu SMEITJ-a, katerega Clan je naša zveza.
Od strokovnih sej JUVAK-a je najvef aktivnosti opravila komisija za izobraJwanje, ki je nameravala pripraviti izdajo jugoslovanske vakuumske učne knjige.
Strokovni ekskurziji v Leybolü Heraeus {1964} in v Balzers (1986).
Aktivnosti v zvezi s pripravami za ustanovitev 4. druStva v Jugoslaviji.
Aktivnosti v zvezi s preregistracijo JUVAK-a na zahtevo Komisije za mednarodno znanstveno sodelovanje v Beogradu. UirSče-'.! srno bili v grupo B.
DVT Slovenije
Sedem teSajev Osnove vakuumske tehnike s skupno nad 200 u-deležencl.
Specialni teCaj za vzdrževalce vakuumske opreme v Gorenje -Servisu, Velenje.
Ponatis knjige Osnove vakuumske tehnike.
Izdajanje glasila Vakuumist po dvakrat na leto.
Dva enodnevna simpozija v Ljubljani v sodelovanju s firmo Ley-bold Heraeus, katere strokovnjaki so bili predavatelji.
Podpora udeležbi naiih flanov na Kongresu v Madridu, na konferenci v DeDrecenu in na ekskurzijah v Leybold Heraeus in Balzers ter vzpodbujanje k pisanju referatov.
idejna podpora in deina pomoč pri uvedbi podiplomskega magistrskega študija vakuumlstike predvsem pri izvajanju vaj.
0(}£nl zbor in približno lest sej 10 letno.
Sodelovanje z iEVT, ki društvu v okviru svojih motnosti rudi vsestransko pomoč (prirejanjetečajev ter pridobitev prostora za pisarno DVTS in JUVAK-a).
D V r Srbije
izvedba leste skupščine društva (25. IV. I9B4) In izvolitev no>'ih organov.
Organizacija Posvetovanja o uporabi vakuuma v tehnologiji rng. terialov (1983).
Izdaja Biltena št. 19 {sept. 1984) z referati iz Posvetovanja o uporabi vakuuma v tehnologiji materialov.
Organizacija posvetovanja "Tanke plasti in prevleke" (april 1985) v Beogradu {iOO udeležencev, 34 referatov).
Tisk knjige Bilten št. 21 (1985) z referati iz posvetovanja o tankih plasteh in prevlekah.
Izvedba tečaja iz osnov vakuumske tehnike (junij 1995) za 28 udeležencev.
Priprava in tisk knjige ilustrovani priruCnik za tehnobgiju vakuuma 1 upotrebu (prevod publikacije lUVSTA - Visual Aids) v juniju 1986.
Organizacija X. vakuumskega kongresa (30. VI.- 2. Vll.as) v Beogradu s prlbl. 50 udeleženci.
DVT Hrvatske
Izvedba tečaja Iz vakuumske tehnike ob pomoči Inštituta R. Boškovič - Februarja 1986 (22 udeležencev Iz 10 delovnih organizacij, 5 dni, 18 ur predavanj in 15 ur vaj).
Nabava nekaj opreme za pisarno društva, ki bo v zgradbi SITH.
Sedemnajst sej 10 društva.
Strokovno predavanje mag. H. 2orca.
Aktivnosti v komisijah za vzdrževanje vakuumske opreme in za Izobraževanje.
Organizacija strokovne ekskurzije za jugoslovanske vakuumiste k firmi Balzers (Llechstenstein).
novi Člani odborov xivak-a, izvoljeni na 3. skupščini juvak-a I. 7. 1986
SR SRBUA
SR l-RVATSKA
IZVRŠNI odbor
predsednik poi^recbednlk i organiz. sekretar
fin. sekretar člani
dr. T. Nenadovič R. Stojanovič
prof.dr. B. Peravič
dr. Dj. Mikissvitevič
NADZORNI OOeOR	D. Per«^
DISCIPUNSKO SODßCE	N. Obradovič
KOMISUA ZA IZOBRAŽEVANJE
IN STROKOVNE PRCBLEME profjlr. M. Kurepa
KOMISIJA ZA EKSPLOATACUO, VZDRŽEVANJE VAKUUMSKE OPREME IN NAPREDEK PROIZVODNJE
M. Milosavijevič dr. X Jureta
Z. Sternberg fTiag. K Zore
J. Rukavina
v. Cbelič
Z. Sternberg
T. Cordaševič V. CbeJič D. Zivtcovič
SR SLOVENIJA
mjig. A. Zalar mcq. m. Jerko A. Pregelj hf. Stipanov
prof.tk. E. Karsky dr. X Gasperič
X Lindav
A. Banovec
prof. ck. E. Kansky
v. Rebec B. Jenko S. Sulčlč
i'i.
prof. dr. KANSKY PRII^KL KICJRlClTVO NArtf(ADO
Kidričeva nagrada za JIvljenjsko dPio na področju vakuumske tehnologije In materialov ter tehnoloi|ij tankih plasti
Prof. dr. Evgen Kansky se več kot 35 !et ukvarja z znanstvenim, razvojnim in izobraževalnim delom na področju tankoplastnih in vakuumskih materialov In tehnologij za uporabo v elektroniki in optoelektroniki. Rezultate svojega dela je objavil v več kat 80 znanstvenih In strokovnih delih v uglednih svetovnih revijah in zbornikih mednarodnih kongresov.
Njegova dela s področja fotokatod in karakterizacije fotoemisij-skih snovi, ki so prispevala k razumevanju mehanizmov sinteznih reaJ<ciJ in uvajanju novih fotokatodnih snovi, sodijo med najpomembnejše znanstvene dosežke.
Druga skupina njegovih del obdeluje metode formiranja in lastnosti tankih uporovnih plasti. Oolgoletm raziskovalno in razvojno delo dr. Kanskega in njegovih sodelavcev je pripeljalo do u-vedbe proizvodnje cele vrste tankoplastnih izdelkov za visoke zahteve v elektroniki.
vimo z nekaterimi podatki:
Evgen Kansky se je rodil 3. 7. 1926 v Ljubljani. Državna realno gimnazijo je obiskoval v LJubljani in maturlral	leta. Vsa leta vojne je bil aktivist OF. Po vojni se je leta 1945 vpisal na Kemijski oddelek Univerze v LJubljani. Leta 1950 se je zaposlil pri prof. dr. Lasiču na Inštitutu za šibki tok elektrotehniške fakultete; sedaj je to samostojna ustanova: Inštitut za elektroniko in vakuumsko tehniko, kjer je zaposlen še danes kot znanstveni svetovalec; do leta 1985 je bil vodja oddelka za tehnologijo vskuumskih materialov. Diplomiral je na Kemijö<em oddelku ljubljanske Univerze leta 1951. V juniju 1961 je doktoriral na Odseku za Kemijo Univerze v Ljubljani; leta 1965 je bil na FNT Univerzev Ljubljani habill-tlran za docenta za predmet "Fizikalna kemija tankih plasti". Za rednega profesorja za kemijo In analizo tankih plasti je tiil habiiitiran na FNT, Univerze Edvarda Kardelja v Ljubljeni leta 198<i.
V sklopu njegovih raziskav vakuumskih materialov in tehnologij so pomembne raziskave mehanizmov in postopkov spajanja stek-lo-kovina, ki so pripeljale do široko uporabnih lehnoloä<ih rešitev. Prav tako je pomembno njegovo delo na področju analitike površin ultravisokem vakuumu. Pri tem je uspešno sodeloval s priznanimi tujimi inštituti.
Na Inštitutu za elektroniko In vakuumsko tehniko v Ljubljani je kot dolgoletni vodja oddelka za tehnologijo tankih plasti In vakuumskih materialov ustvaril doma in po svetu priznano raziskovalno bazo za to področje, ki zaradi svoje usmeritve zelo uspešno sodeluje z vso elektronsko industrijo v Jugoslaviji. Na podlagi omenjenih raziskav Je dr. Kansky s sodelavci razvil vrsto profesionalnih optoelektronskih naprav, s slikovnimi pretvorniki vred, ki Jih proizvaja domača Industrija.
Dr. Kansky je bil med ustanovitelju Jugoslovanskega komiteja za vakuumsko tehniko, njegov predsednik in soorganizator več Jugoslovanskih kongresov in mednarodnih srečanj s področja vakuumskih ved. V svetovni strokovni javnosti s tega področja uživa dr. Kansky velik ugled, o čemer pričajo povabila za uvodna predavanja na kongresih in inštitutih v tujini ter več domačih In tujih nagrad in priznanj. Aktivno je deloval tudi v izvršilnih in strokovnih organih Mednarodne zveze za vakuumske znanosti.
Takšna je uradna utemeljitev nagrade, ki jo je prejel naš sodelavec in aktivni Član Društva za vakuum^o tehniko Slovenije. Ker je nagrada, ki jo je prejel dr. Kansky, prav s področja stroke, ki je tudi srž delovanja nas vseh, smo v uredništvu želeli dobitnika pomembnega priznanja pobliže predstaviti slovenskim va-kuumlstom. Dr. Kansky se Je prijazno odzval povabilu na intervju.
Preden preidemo k vprašanjem, naj našega sogovornika predsta-
Or. Kansky ves Svoj prosti čas neumorno študira in spremlja dogajanja na svojefTi in drugih področjih, ustvarja raziskovalne programe; uvaja nove, zahtevne tehnologije ter raziskuje možnosti plasiranja le-teh donia in na tujem.
Poleg izobraževalnega dela, ki ga je opravil v okviru podiplomskih študijev in mentorstva pri številnih diplomah, magisterijih in doktoratih na več jugoslovanskih univerzah in na matičnem inštitutu, je zelo dejaven tudi pri raznih oblikah dopolnilnega izobraževanja s področja vskuumskih veri za strokovnjake iz industrije. Bil je glavni pobudnih in soorganizator podiplomskega magistrskega študija interdisciplinarne smeri "Elektronska vaku-umistika", ki ga je v svoj program uvedla VTO Elektrotehnike, Univerze v Mariboru.
Svoje dolgoletne izkušnje pri strokovnem in društvenem delu uspešno prenaša na mlajše sodelavce DVT Slovenijo; je Član 10; jih animira in vzpodbuja pri delu, je duša našega društva.
Letos je bil na 3. skupščini Zveze društev za vakuumsko tehniko julija v Beogradu imenovan tudi za častnega člana JUVAK-a.
Sedaj pa preidimo k vprašanjem:
DVTS: Kaj mislite o položaju vakuumske tehnike v svetu in pri nas doma?
Vakuumska tehnika Ima edinstvene možnosti. Pred kratkim smo imeli obisk vakuumlstov, kolegov iz Varšave, ki delajo v svojem inštitutu za vakuumsko elektroniko in vzporedno še v vakuumskem društvu. Na Poljskem so projekt vakuumske teimi-ke uvrstili med dvajset težiščnih državnih programov, ker je tu osnova za vse sodobne tehnologije: mikroelektronika (z računal-
rtlštvom), razKuj specialnih materialov, preiskovalne metode, itd. Podoben položaj imajo vakuumisU tudi v vseh naprednih zahoiJnih deželah s sijajno povezavo med moderne industrijo in raziskovalnimi središči. Pri nas je lakota po vakuumskem znanju In po procesih, ki jih je treba vpeljati, zelo huda, toda kot na drugih po-droCjih, je tudi za vakuumistiko gospodarska neurejenost nale družbe huda zavora. Nastopajo paradoksalne situacije: mnogi bi rabili vakuumske elen-iente in naprave, ni pa naročil, kljub temu, da je uvažati zelo težko. Manjka zdrave podjetnllke Iniciative, ki bi aktivirala povpraševanje po novitetah v Širšem obsegu.
OVTS: Mnogo svojega časa posvečate vzgoji mlajših; brez vas rte
bi bilo tretjestopenjskega študija z usmeritvijo vakuumistike?!
Ne da se postaviti stroke na noge brez šolanja kadrov. Vsaka ustanova, vsak kolektiv z neko usmeritvijo bi mor&l postati vzgojni center za svojo panogo in vsak pravi strokovnjak ol se rnoral truditi, da zasluži toliko, da bi na njegovem poslu živeli tudi mlajši, ki se še uCe.
Vzporedno z našim delom na lEVT smo Iz potrebe po vakuumskem znanju mnoge štipendiste usmerjali v našo dejavnost tako, da so iz nje pripravili diplomske naloge. Nekaj let smo gojili tudi Interna strokovna predavanja mlajših sodelavcev; tako so lahko vsi dobro vedeli, kaj kdo dela, hkrati pa je to bila vaja za pisanje in nastopanje, brez česar si pravega raziskovalca tu> dl ne moremo predstavljati.
Na tretjestopenjskl študij sem mislil že dalj časa, saj )e bilo problemov, ki so zahtevali poglobljen študij, vseskozi na pretek; toda spraviti tak "projekt" v življenje ni enostavno; prvič smo poizkusili že leta 1980, pa ni šlo. Zdaj ne je stvar premnk-nila. Zelo pomembno je, da je pri tem pomagal IF.VT. Na niaii-bofski Univerzi je sedaj vpisanih iS podiplomcev in to ne samo iz Slovenije. Upam, da se bo ta študij - morda z nekoliko širšim programom - tudi redno nadaljeval v bodoče.
DVT5: Kiiao «oditi raevojno-razistovalno delo?
Obstoji nevarnost, da postaneš uradnik, delaš po osem ur, nič ne tvegaš itd. Vodja, ki ne živi polno za stvar, ki ni svetel zgled, ne bo dosegel cilja. Treba je optimizma, vlzionar-stva pa strokovnosti in tudi podjetniškega duha. Spremljati te mora čut odgovornosti In misel na prihodnost; vsak dober kmet VP, da bo toliko požel, kolikor bo vložil truda v setev in gntije-nje... Seveda pa ne gre vselej tako; so tudi objektivne težave; npr.: naša družba ne goji podjetnosti (hitro namreč ugotoviš, da )e najbolje, če se obnašaš "uradniško"), ljudje pri nas ne čutijo potrebe po znanju; potenciali so tako pogosto zavrti.
DVTSi Vaša aktivrast je imela za posledico ureditev iatnratori-ja za ja za površinsko analizo r» lEVT?
NI slučaj, da je prišlo do tega; vzrok so bile potrebe, ki so se porajale ob delu: električni kontakti, katode. pojavi v elektronkah, potenciomeiri Itd. so bil! za nas izdelovalce vedno neka mistika, ko nismo rašli vzroka za težave In Izmet. Seveda je bilo podobno tudi v tujin!, kjer so pričeli z analiziranjem pcvršin v letih 1965 - 70. Ml smo prek stikov s tujci na vakuumskih kongresih to dokaj hitro Izvedeli in dajali svoje izdelke najprej na preiskave v ZC^, rato pa pričeli delovati za pridobitev lastnega laboratorija. Sedaj imamo že toliko Izkušenj, da z mlkro-
sondo, elektronskim mlkroskupom, AES analizatorjem Je iohko določimo ne le prisotnost posameznih elementov, ampak tudi dobimo kemijsko infiirmai ijü o povrfini. Nai.p /fi<)njp na pudro-čju AES analiz je povsem enako svetovnemu vrhu na tem področju.
DVTS: Kaj menite o poträ}^ po stroi<ovnti kadri) s področja vakuumske le^ike v svetu in pri nas? V ZDA, v svetu, je tako: če si dober vakuumist, ti visoka plača ne uide. Strokovnjaki, Izšolani v vakuumskih tehnologijah, na raziskavah in razvoju materialov ter vakuumskih meto-dan za diagnostiko materialov so med najbolj iskanimi strokovnimi profili v tehnoloä<o najviše razvitih državah. Pri nas je situacija drugačna: bolj kot vakuumski strokovnjaki, so potrebni dobri gospodarstveniki s širokim tehnološkim zr.anjem, M bi v naši sredini ustvarjali pogoje (načrtovali pametne projekte, tvegali itd.) za delo specialistov. Očitno je torej, da mora pri nas dober vakuumist poleg stroke opravljati še mnoge druge organizacijske in podjetniške posle, ki med drugim tudi zagotavljajo, da je področje vakuumlstlke sploh poznano. Maisikaj bi se dalo pospešiti s pametnimi kooperacijami In pa naj povem še enkrat: manjka udarne elite gospodarsko razgledanih suverenih strokovnjakov, ki bi si kaj upali.
DVTS: Kako v razsojno-raziskovalrte institucije pridobiti čim več dobrt) razid<ovalcev?
Večina ljudi pri nas - kot smo le rekli - nima potrebe po znanju. Ker pa želimo v razvojno-raziskovainih ustanovah zbrati prav take, ki znanja iščejo, jim je treba nudit! pogoje, vsaj tako dobre kot drugod. Nabirati je treba dobra dela zanje, vzgaj.Ui In učiH tnlüde. Zanimiv je podatek, i!a jiti je od tistih, ki so prišli na lEVT prek oglasa, ostalo na razvojno-raziskovalnem delu le 30 odstotkov, od tistih, ki smo jih štipendirali in so pri nas delali diplomske naloge, pa jih je ostalo 70%. V Beogradu imajo nekateri inštituti prakso, da "zastrupljajo" že srednješolce z zanimivimi vajami v svojih laboratorijih. Taki, ki so se navdušili in že nekaj naučili, imajo potem predix>st pri štipendiranju In v velikem številu ostanejo.
DVTS: Kaj menite o stikh s tujino?
Spet smo pri znanju. Velikokrat ne moremo rešiti problema brez tuje pomoči; če hočeš kaj izvedeti od tujcev, moraš tudi sam kaj znati, znati tudi kako stvar bolje od njih -le tako lahko svojo Informacijo zamenjaš za nekaj, kar želiš Izvedeti. Ce nič ne daš, nisi zanimiv. Poleg tega je treba stike gojiti (truditi se z dopisovanjem, obiski...)
DVTS: Ste eden od ustarcviteljev DVTS in JUVAK-a, kako o-cenjujele pomen dnšlva za narod, sa strokov, za posameznika?
Društva pravzaprav drže pri vsakem niirodu stroko pokonci, zelo očitno je to pri Franzocih in Američanih...
Brez prijateljskih meddruitvenih vezi, bi bilo tudi vzpostavljanje vezi s tujino marsikdaj zelo telko.
Ce si aktiven v strokovnem društvu, spozna ljudi In drugI tebe, tu se srečajo: mladi prodorni, starejši izkušeni, obrtniki In znanstveniki, podjetniki Itd... Kdor je kaj vreden, ga hitro opazijo In ponudijo se različne možnosti...
DVTS: Ka] bi svetovali mladim, ki 2ele postati uspeSni raziskovalci?
To je težko definirati. Biti moraš radoveden po naravi, Imeti nekaj intuicije in veliko znati. Treba je študirati, veliko delati, poizkušati... Enim je prirojeno, da so dobri eksperimen-tatorji, drugi se morajo temu priučiti, Cim rnlajši, tem bolje. Pomembne lastnosti so: spretnost, vztrajnost, kritičnost...
Z^rivaljujemo se dr. Kanskemu za zanimiv poqovor in mu iskrene; čestitamo ob pomembni nagradi, ki io je prejel.
Uredništvo
MERILNIK DEBELINE ALPHA-STEP 100
Med nujno potrebno merilno opremo, ki si jo na lEVT Jeiimo 2e več ket, sodi tudi merilnik debeline tankih plasti. Maja letos so bila s pridobitvijo takega dragocenega merilnika - Alpha Step 100 • kronana dolgoletna prizadevanja nekaterih inštitut-skih sodelavcev s področja raziskav in razvoja tar^ih plasti.
Instrument deluje tako, da površino vzorca otipava diamantna Igla, ki Je pritrjena na elektromagnetni senzor. Signali, ojače-ni v ojačevalcu, so posredovani pisalnU<u, ki riše profil vzorca. Merilni sistem je zgrajen tako, da Igla avtomatsko potuje po vzorcu, ki miruje, kar omogoča veliko razmerje med signalom in šumom. Meritveno mlkro območje merjenca nastavimo z mizico s preciznim x-y pomikom.
Med samo meritvijo je zelo pomembna vzporednost pomika igle in površine vzorca. Vgrajena elektronika omogoča za male nagibe samostojno nastavljanje vzporednosti pomika igle po mer-jencu. Po avtomatskem nivellranju je možna meritev profila površin na dolžini J mm.
Alpha-step omogoča izbiro merilnega področja merjenja profilov tankih palsti od 250 nm do 25 ^un^.
Nastavljanje hitrosti drsenja merilne igle in pomika p^irja na pisalniku omogoča horizontalno povečavo do 2500. Vertikalna povečava na najbolj občutljivem merilnem področju z obsegom
230 nm je kar 200.000-kratna. Ločljivost s standardno snemalno Iglo s premerom 12,5 ^m je 5 nm. Vertikalni pomik mizice z osi je omejen, zato je maksimalna debelina vzorca omejena n.i 10 mm.
Instrument je umerjen na kalibrlranl standard, slednji pa na master standard, ki je preverjen pri National Bureau of Standards v ZOA.
Alpha-Step 100 je zgrajen tako, da omogoča meritve profilov na podlagah različne kvalitete pri raziskavah in v industriji. Značilni primeri uporabe so v Industriji polprevodnikov in v ml-kroelektroniki za kontrolo tankih plasti na silicijevih rezinah In v ostalih postopkih procesiranja, kot so maskiranje, pasivacija, epitaksija, oksidacija, fotorezistno oblikovanje in dalje pri na-parevanju In naprševanju in pri kemijskem in ionskem jedkanju.
Instrument omogoča 7 nastavljanjem pritisne sile igle od I do 20 ng merjenje tudi mehkejših plasti, kot so na primer foto-röZistnl filmi In zlate plasti.
Prve Izkušnje pri meritvah z merilnikom Alpha-Step 100 kažejo na to, da je to zelo koristen priponvček pri našem raziskovalnem delu, saj so sedaj nekatere predstave o tankih plasteh povsem drugačne.
Andrej Banovec, dipl.ing. lEV r Ljubljana
OeiSKAU SMO BALZERS
Organizacijo strokovne ekskurzije Je letos prevzelo vakuumska društvo Hrvaške. Ogledali naj bi si tovarno Balzers, ki je svetovno znan proizvajalec vakuumske opreme in izdelkov, narejenih Z vakuumskimi tehnologijami.
ja prispeli v Innsbruck. Naslednjega dne smo prestopili mejo z l.iechstensteinom in ob dogovorjeni url prispeli v matično zgradbo firme Balzers. Gostitelji so nas lepo sprejeli in nam predstavili nastanek, razvoj in današnji obseg tovarne.
Prvi dan smo s kratkim avtobusom prek Podkorena in Brenner-	vojni ustanovljena tovarna se je v hitro rastoči panogi s svo-
|iml izdelki kmalu uveljavila. Ob koncu šestdesetih let se jI je pridružila nem'ka firma Pfeiffer s programom predrčp.ilk,Roots in turbovrtalk. Konec sedemdesetih let so ustanovili le podružnico v ZOA s prograrnom tankoplastnih tehnologij. Matiina firma je v štiridesetih letih prerasla v koncem, ki kroji smer razvoja vakuumskih naprav in tehnologij.
Tako je postalo jasno, da bomo lahko videli le dejavnosti, ki se odvijajo v matični firmi in bližnjih podružnicah v Švici. Razdelili so nas v tri skupine In nas pod strokovnim vodstvom po riatančnem urniku vodili in vozili po Balzersu.
C^ledaii smo si proizvodne in montane prostore naparjevalnih sistemov, že od deleč je opazna razlika v obliki komor. Namesto kovinskih oz. steklenih zvonov z navpičnim dvigovanjem se danainje kormre odpirajo s stranskimi vrati. Ta se odpirajo v brezpr^en prostor, ostali del pa je dostopen "od zunaj". Vzdrževanje in remont poteka tako nemoteče za brezprašnost. Nenadomestljivim rotacijskim črpalkam pri večjih sistemih pomagajo obvezm Roots črpalke, s katerim! se vzdržuje predvakuum difuzijsklm ali turbo črpalkam. Slednje svojo visoko ceno opravičijo pri črpanju vročih plinov in tam, kjer se zahteva skrajna čist vakuum, kjer pa so zelo primerne tudi krio črpalke. Difuzijsklm čroalkam gre še naprej vodilno mesto po razširjenosti in vzdržljivosti. Velik napredek je opazen pri podrobnejšem o-gledu kontrolnih omar. Vse več procesov črpanja in napareva-nja poteka avtomatsko in s pomočjo računalnika. Pnevmatski ventili in elektronske komande v recipientu on-ogočajo hitrejše In zanesljivejše procesiranje, kar vpliva na kvaliteto in ceno izdelka.
Preporativni laboratorij, kjer prlrpavljajo vzorce organskih tkiv za elektronski mikroskop, je bil za običajnega vakuumista v detajle manj razumljiv, saj potrebnosti hitrega ohlajanja, tanjšanja, naorševanja, naparevanja itd. niso razvidne le iz bežnega ogleda.
V	eni od podružnic so zaključevali izdelavo naprave za napare-vanje CD plošč. Vsaka plošča je v procesu le nekaj sekund, avtomatsko pa potuje po traku več minut. Plast, v katero laser zapisuje informacijo, mora biti povsem brez napak, kar dosežejo z brezprašnostjo prostora In skrbno pripravo substratov.
Od naročila do izročitve takšr« naprave poteče približno tri leta, od česar za samo Izdelavo dve leti, leto pa traja zagon, ko proučujejo In večajo ponovljivost in zanesljivost postopkov.
V	matični stavbi je posebej zanimiv učni latxjratorij, kjer se seznanjajo z vakuumom bodoči vakuumisti. Črpalke In sistemi, ki so tu na voljo, omogočajo Izobraževanje vzdrževalcev opreme, t]odo'''ih operaterjev naprav, ki so še v Izdelavi in vsakogar, ki dela z vakuumom. Vsekakor je bil ta del ogleda zanimiv za člane DVTS, ki Imamo že več let v načrtu pripravo takšnega laboratorija.
Gostitelji so nas povabili še na kosilo, kjer smo v sproščenem tonu povprašali to In ono. Zahvalili smo se za prijazen sprejem, si ogledali še samo rresto Vaduz in se napotili po isti F>ati domov.
Vinko Nemanič, dipl.ing. iE V T Ljubljana
IX. JUGOSLOVANSKO POSVETOVANJE iz SPLOŠNE IN tPORABNE SPEKTROSKOPIJE
Bled, 1986
Bled je bil v dneh od 1^.4. do I8.t>. 1996 gostitelj IX. Jugoslovanskega posvetovanja Iz splošne in uporabne spektroskopije. Posvetovanje je organizirala Spektroskopska sekcija sloven^ega kemijskega društva, pokrovitelji pa so bili Zveza kemijskih društev Jugoslavije, Raziskovalna skupnost Slovenije, Lek Ljubljana in Iskra Merilna elektronika Horjul. Spektroskopska sekcija je bila organizator že VI. psovetovanja, prav tako na Bledu. Program te že tradicionalne prireditve je sledil naravnanosti, ki mu jo je vtisnilo že prvo posvetovanje leta 1966 na Ravnah na Koroškem. 2e takrat je bilo jasno, da se bo ta veja znanosti močno razširila in uveljavila tudi pri nas, tako v raziskovalnih kot v industrijskih laboratorijih. Zelja takratnega prireditelja je bila, da bi spektroskopija dobila svoje posvetovanje, ki bi služIlo prikazu stanja in dosežkov na področjih jugoslovanske sp otroško-pije. Izmenjavi Izkušenj in tudi Izobraževanju na višjem nivoju ter nujnemu kontaktlranju med nosilci razvoja In uporabniki.
Tudi letos je organizator povabil za uvodna predavanja priznane
domače in tuje strokovnjake iz nekaj področij spektroskopije, kot je Infrardeča spektroskopija, atomska absorpcija In emisijska optična spektroskopija, jedrska magnetna resonanca, ESR, MSssjbauerjeva spektroskopija In površinska analiza. Referati in posti-rjl pa so poleg dosežkov na teh področjih prikazali tudi dosežke iz področij masne in rentgenske spektroskopije, spek-trofotometrije In fluorescenčne spektrofo tome trije. Poleg osem uvodnih predavanj je bilo 22 referatov in prek 130 posterjev. Aktivnih udeležencev je bilo okrog JOO.
Ot) sedanji krizi in upadanju vlaganj v novo opremo, predvsem v raziskovalnih in nekoliko manj v industrijskih laboratorijih, se je bati zastoja na tem področju. Skoda, ki tako nastaja po dolgoletnih prizadevanjih za doseganje svetovne ravni, bo le težko popravljiva.
dr. Eva Perman lEVT Ljubljana
3. MEDNARODNI SIMPOZU O OPTICNI IN CPTC^LEKTRI JNSKI APLIKATIVNI ZNANOSTI IN INŽENIRPMGU
Innsbruck 1986
V naslovu navedeni simpozij je poleg razstave tehničnih Instrumentov obsegal ie enajst zanimivih konferenc:
-	močni laserji In njih industrl}sl<a uporaba
•	načrtovanje Integriranih optiinih tokokrogov
-	tehnologije tankih plasti
-	tehnologije optičnih materialov za boljši izkoristek energije in uporabo sončne energije
•	avtomatska optična kontrola
•	načrtovanje, analize in proizvodnja optičnih sistemov za moderne tehnike
-	načrtovanje, Izdelava In testiranje sodobnih optičnih instrumentov
-	uporaba umetne inteligence
optični Instrumenti pri laserjih v biomedicinl
•	tehnologije materialov za IR detektorje
•	daljinska detekclja površine Zemlje z uporabo "l.andsat" kartografije in "Spot" senzorskega sistema.
Naprosil! smo nala dva znanca dr. Permanovo z lEVT in mag. Hrvojo Zorca - sodelavca instituta Rudjer Boškavič iz Zagreba, da nam napišeta nekaj vtisov z udeležbe na simpoziju. Rada sta se odzvala vabilu:
V kongresnem centru v Innsbrucku je bila od U. 4. öo 18. 4. 1986 konferenca o tehnokigiil materialov za IR detektorje v o-kviru niza konferenc, ki so sestavljale simpozij. Organizatorji simpozija so bili ANRT (Association Nationale de la Recherche Technique, Francija) in SPIE (The International Society for Optical Engeneerlng), ki Jim je pomagala vrsta sponzorjev s priznanimi imeni na tem področju. Konferenc je bilo enajst, vsaka Je imela svoj organizacijski komite, člani komitejev pa sc bili vrhunski strokovnjaki z vseh koncev sveta. Bilo je več kot 400 predavanj, program pa je poleg referatov vseboval tudi kratke izobraževalne tečaje Iz glavnih tem simpozija.
fti preglednih uvodnih predavanjih je organizator konference o tehnologiji materialov za IR detektorje združil referate v štiri tematske skupine:
•	fundamentalne raziskave
-	karakterizaclja materialov s poudarkom I. na bazičnih lastnostih materialov za IR detekcijo In 2. na transportnih fenomenih
-	rast kristalov žlvosrebrovlh halkogenidov
•	alternativre tehnologije.
Cbravnavana problematika Je bila zelo heterogene In je ni mogoče zajeti v tem kratkem poročilu. Velik del fundamentalnih raziskav je bil posvečen študiju odvisnosti elektronske strukture materialov za IR detekcijo od kemijske sestave, predvsem pri materialu Hg|_^Cdj^Te. Pri epitaksijsklh tehnikah na osnovi molekularnega curka In orgarometalne depozicije iz parne faze so raziskave zajemale predvsem študij propagacije iz substrata glede na kristalno ploskev substrata. Za ožanje področja IR detek-
cije so vse pomerrbnejši tako imerovanl "Superiattices". ki jih izdelujejo z M9E tehniko iz Hg^ ^Cd^Te na substratu CdTe.
Perspektivni so tudi poimagnetnl polprevodniki, kjer so ioni delno zamenjani z magnetnimi ioni, prisotnost magnetnih Ionov vodi do velikega spinskega razcepa elektronskih stanj.
Pri karakterizaclji materialov in raziskavi njihovih osnovnih lastnosti se uveljavljata tehniki eiektrorefieksije in IR refleksije. Za naše raziskave strukture in lastnosti doma izdelanega KtjCdTe je bilo Izredno zanimivo predavanje o podzrnssti strukturi v l-^CdTe in odpravi te strukture s termično obdelavo pri visoki temperaturi. Med referati o transportnih fenomenih je za karakterizacijo kosovnega materiala HgCdTe in epitaksijsklh slojev HgCdTe izstopalo predavanje o temperaturni -odvisnosti Hallovih meritev.
Referati o rasti kristalov žlvosrebrovlh halkogenidov so obravnavali razne epitaksij^e tehnike z uporabo substrata CdTe in aiternatlvnin substratov kot CdZnTe in GaAs.
Postopek za pridobivanje kosovnega l-^CtlTe, ki ga v zadnjem času intenzivno razvijajo, Je postopek THM (travelling heater method). V dveh referatih so avtorji prikazali tehnologijo rasti monokrlstabv iz raztaljenega telurija. Poudarili so prednosti te metode, ki omogoča pridobivanje materiala z zelo malo defekti zaradi rasti kristala pod temperaturo taljenja. Postopek omogoča tudi pridobivanje kristalov z velikimi premeri, vendar Je zelo zahteven. Med referati iz tega področja Je 011 prvič predstavljen tudi detektor, ki uporablja material ZnHgle in njegova karakterizacija.
Med alternativnimi tehnologijami bi omenili material f^j.^^iJ Pt,| ^Eu^Se, ki so ga začeli raziskovati v zadnjem Sašu.
Organizirana Je bila tudi paneina diskusija, ki je obravnavala tri problematike: probleme IzobraŽevanja za področje znanosti o materialih, razvoj novih materialov in možnosti za civilno a-pllkacljo IR detektorjev. F^i prvi temi se je pokazalo, da obstaja pomanjkanje kemikov, ki bi se bili pripravljeni ukvarjati z razmeroma ozkim področjem tehnologije IR materialov. V drugi točki Je tekla beseda o tem, kolikšen pomen ima razvoj novih, bolj eksotičnih materialov, pri čemer so bila mnenja deljena in so se nekateri zavzemali za Izboljšavo 2e znanih materialov, kot je HgCdTe, ter za nadaljnji razvoj ustreznih tehnologij, drugI pa so vztrajali na potrebi po razvoju novih materialov. Tretja točka diskusije se je ukvarjala s problemom aplikacije IR senzorjev v civilni potrošnji. Pri tem [e bila izpostavljena predvsem aplikacija v telekomunikacijah.
Pri zaključku konference so v sklepni besedi poudarili med drugim naslednje: pri kosovnih materialih je treba v bodoče težiti predvsem k idealni strukturi brez dislokacij; pri epitaksijsklh slojih se bodo le nadalje reševali problemi v zvezi z neujemanjem s substrati; pri dilemah uporabe kosovnega materiala ali
^itaksljskih slojev le ne bo odloCilnegs preobrata in bo razvojna pot tekla «poredno. Velik poudarek je na tehnikah za ka-rakterizacijo materialov.
Na konferenci o tehnologijah materialov za IR detekcijo je bila 38 prispevkov, ki jih lahko Štejemo v področje modernih vi-soklh tehnologi}. Nujno je, da tudi doma ne zanemarimo razvoja na teh podroCjih, če nočemo poglÄljati zaostankov t^o na tehnološkem nivoju kot na izobraževanju mladih raziskovalcev.
dr. Eva Perman
*
Konferencije pod pokroviteljstvom SPiE li. - 10. aprila ove go-dine u innsbrucku su neka vrsta nastavka istog tak\og paketa konferenclja odrJanog u aprilu 1983. u Ženevi. Bilo m! je posebno zadovoljstvo da prisustvujem konferencljl pod nazivom "Tehnologije tankih slojeva" koja je trajala puna tri dana. Konferenclja je imala nekoliko podnaslova oko kojih su bile grupirane neke vrlo aktuelne teme.
Proces! kontrole depoziclje izazvali su naročilu paZnju posebno zbog prvog javnog predstavljanja mogučnosti no»og Balzersovog monitora. Naravno, nlsu izostali I novi rezultati istralivanja lan-koslojne tehnologije iz Leybold Heraeusa.
Dizajn tankih slojeva pobudlo je takoder veliki interes pogotovo zato ito je uvodno predavanje održao J.A.DobrowoIskl, danas največ! autoritet u tom području u svljetu. Njegovo predavanje [e zalsta bilo dostojno Imena autora i po mojo) ocjenl prectrstdv-ijalo je jedan od centralnih dogadaja na ovoj konferenci j i. U o-
kvlru ovog podnaslova odrfan je 1 praktikum iz dizajna višesloj-nlh sistema gdje su bili pristupačni programi nekoliko proizvo-dača.
Kontrola kvalitete tankih slojeva neizbježna je u procesu lor-mirarija višesiojnih sistema. U okviru tog podnaslova vrlo zani-mljiv je blo referat W. Kluga iz Leybold Heraeusa o inverznoj sintezi kao metodi kontrole procesa depozlclje.
U području optlčkih konstanti tart<lh slojeva bilo je, naravno, više interesantnih referata no najviše mi se svidao referat iz firme ENEA Italija, u kojem su bile usporedene metode za od-redivanje indeksa loma. Vrlo Interesantna je bila i panel diskusija u trajanju od cca 2 sala u kojoj je bilo šest referenata koji su u S minuta naznačlli jednu temu nakon čega se vodila dugotrajna diskusija u kojoj su sudlonicl pokušali riješlti neke svoje dileme 1 probleme.
Trečeg dana je vrlo Interesantna bila grupa predavanja u vezi "podrJavsne depozicije" (assisted deposition). Mislim, da ta nova tehnologija predstavlja znatan napredak u kvaliteti tankih slojeva i da je Još vrlo perspektivna. Iz tog područja treba oče-kivati uskoro šumu radova.
To bi ukratko bile moje ekspresije iz Innsbrukca uz napomenu da se 10. - 15. marta 1987. odrJava u Strasbourgu Konferenclja a novim trendovlma u tankim slojevima.
mag. Hrvoje Zore institut R. Boškovlč
SEJA 10 lUVSTA V SPITZU
Predzadnja seja 10 lUVSTA pred Baltimcrskim vakuumskim kongresom In skupščino je bila v avstrijskem mestecu Spitz ob Donavi, konec maja, kjer je bli tudi Simpozij o razprševanju (tankih plasti).
Ker Je bila seja zelo dolga, predvsem zaradi zadnjih priprav na kongres In skupščino, bom skušal kar po točkah navesti najvažnejše:
I. Priprave na X. mednarodni vakuumski kongres (Baltimore, ZOft, 27. do 51. 10. 1986). Izdelan je časovni program kongresa, določena kotizacija za udeležence Je po 240 $, za študente le 10 $, Zbornik s 3200 stranmi bo stal 40 $). Do 21. maja 1986 je prispelo 915 izvlečkov oz. povzetkov referatov, vključno s povabljenimi predavanji (üO jih še pričakujejo) iz 31 držav, med njimi tudi Iz Jugoslavije. Največ referatov (400) je s oo-dročja znanosti o površinah, nato Iz tankih plasti (190), iz e-lektronskih materialov 120, Iz vakuumske znanosti 133, iz fuzi-[e 35 ter iz vakuumske metalurgije 30. Selekcijo oz. izbiro za
ustno predstavitev in za poster ter za Izločitev referatov je o-praviia skupina ekspertov, ki smo jih določili že na 50. seji, od 72. do 24. 6. 1986 v Baitlmoru. Le 800 referatov bo lahko sprejetih (izločeno jih bo nad stol). Postavljeni so že kriteriji, In sicer: znanstvena vrednost oz. kvaliteta, primernost tematike, pravočasnost prlspeiosti in "geografsko" poreklo. Tudi primere, ko bi imel en avtor več prijavljenih referatov, bodn upoštevali. Vsi avtorji bodo o rezultatih izbirne sUokov-ne komisije obveščeni po I. juliju 1986. Preliminarni program kongresa bo razposlan konec Julija, končni program skupaj z izvlečki pa bodo prejsll udeleženci ob začetku kongresa.
Naslednji, XI. vakuumski kongres bo v Köinu (ZRN) junija, julija ali septemOra 19B9. Za XII. vakuumski kongres so že prišle uradne ponudbe od več članic, in sicer: Anglije, Brazilije in Nizozemske. Ponudbe pa so poslale mnoge turistične agencije. Le-te smo zavrgli, ker nimajo ustrezne podpore nacionalnih vakuumskih društev oz. zvez.
2. generalna skupščina lUVSTA bo 29. 10. 1986 v ealtimo-ru (ZDA). Pred skupščino bo Se zadnia, 5J. seja iO lUVSTA (25. in 26. iO. 1986). Novoizvoljeni Izvršni odbor bo imel svojo prvo sejo (sicer 54.) 3i. 1(D. in i. II. 1986. Za generalno skupJčino so Je pripravljeni nekateri materiali (spremembe statuta In pravilnikov). Na skupščini bomo sprejemali novo članico Mehiko, tako da jih bo imela lUVSTA skupaj 25.
5. Iz poročila sekretarja STD (znanstveno-tehničnega üireklori-ja) smo izvedeli, da so za novo triletno obdobje prispeli predlogi iz 17 držav oz. zvez za nove Člane strokovnih sekcij, med njimi so tudi predstavniki JUVAK, k! smo jih izbrali na 4. seji 10 JUVAK.
4. 10 lUVSTA bo predlagal generalni skupščini za predsednika za obdobje od leta 1989 do 1992 dr. Joseja de Segovio (Španija), ki Je bil Izbran na tej seji s tajnim glasovanjem izmed štirih kandidatov (od 24 glasov Je dobil 14).
'j. Vsi komiteji so poročali o svojem delu. Kumiie za vzgojo, v katerem sodelujem, ima v tisku knjigo o zyodovini IU>/bTA, kjer je tudi posebno poglavje posvečeno jugoslovanski vakuumski zveri (JUVAK), ki so ga pripravili trije naši avtorji (Gssperič, Kansky, Lah).
6. Francosko vakuumsko društvo je namenilo lUVSTI posebno tlarilo 60.000 SFr za financiranje strokovnih akcij lUVSTA.
/. Ustanovljena Je biia nova sekcija: Uporabna znanost o površinah (Applied Surface Science).
fl. Predsednik Belgijskega vakuumskega društva je povabil navzo-c:e, da sodelujejo s prispevki v njihovem glasilu Belvac News. Posebej pa me je $e osebno prosil, daj povabim jugoslovanske vakuumiste.
dr. .bže Gasper i č lEVT Ljubljana
KOLEDAR
16. - 20. junij 15. mecinanDdni simpozij o dinamiki razredčenih plinov, Grado, Gorica, Italija; inforn-.acije: Isti-tuto di Meccanlca • Universita di Trieste; P. le Europa 1, J4I27 Trieste, Italia
30.6 • 2. julij XI. jugoslovanski vakuumski kongres, Beograd, Vakuumsko društvo Srbije
7. - II. julij 33. mednarodni simpozij o poljski emisiji; Zahodni Berlin, ZRN
7.-11. Julij 5. mednarodna konferenca o sprerriembi.h površine kovin, pvozročenih z ionskimi curki; Kingston, Ontario, Canada
14. - 18. julij 5. mednarodna konferenca o tunelski mikrosko- .
pijl in spektroskopiji; Santiago de Compostela; Španija; Špansko vakuumsko društvo, prof. N. Garcia
16. - 25. julij 8. mednarodni kongres o fiziki in matem.itlki Matseille, Francija; informacije: lAMP 86, CPT CNRS Luminy, P.O.B. 907, F-13288, Maneilies, Cede* 9, France
28.7. • 1. aug. 6. mednarodna konferenca o tehnologiji ionske Implantaclje, Berkeley, Kalifornija, ZDA
11. - 15. aug. 18. mednarodna konferenca o fiziki polprevodnikov, Stockholm, Švedska; informacije:. L Sa-mueison, Dept. of Solid State Phys., Univ. of Lund, P.O.B. 118, S-22100 Lund, Sweden
24. - 29. aug. 6. mednarodna konferenca o tekočih in amorf-nih kovinah, Gar misch Partenkirchen, ZRN; Informacije: E. Lüscher, Fizikalni oddelek Tehniške univerze v Münchnu; D-0046 Garching
I. - 5. sept.
1.-5. sept.
25. - 29. aug. 6. mednarodna razstava neelastičnih trdih ionov 5 površino, Argonne, Illinoys, ZDA
25. - 30. aug. Mednarodna konferenca o jedrski fiziki; Harrogate, Anglija: Institute of Physics, 47 Beigrave Square, London
Sola o sestavljenih poiprevodniških materialih; Davos, Švica, Institut "Europa"
Sola o tehnologijah polprevodniških materialov - Si tehnologija, Davos, Švica
Trajno izobraževanje instituta "Europa"; Dr. B. Jacobson, Linkoping University ot Technology; S-58183 Linkoping, Sweden
Mednarodna konferenca o Rariiarovi spektrosko-piji;Eugene, Oregon, ZDA
4. mednarodna konferenca o epi taksi ji z molekularnimi curki. Vork, Anglija; G.J. Davies, British Telecom Research Labs, Marthesham Heath, Ipswich IP5-7RE, Anglija
IÜ. - 12. sept. 22. jugoslovanski simpozij o elektronskih sestavnih delih in materialih (SD-86); Otočec ob Krki; Elektrotehniška zveza Slovenije, SSESD, 61000 Ljubljana, Titova 50.
22. - 25. sept. 12. mednarodni simpozij o razelektritvah in e-lektričnl izolaciji v vakuumu; Shoresh, Izrael; informacije: R.L.Boxman; 12^^^ ISDEiV Secretariat P.Ü.B. 4413 Tel-Aviv 61044 Israel
Sola o zaščitnih plasteh proti obrabi; Frankfurt, ZRN;trajno izobraževanje Instituta "Europa"
1.-5. sept.
7. - 10. sept.
september
14. - 17. Okt.
27. - 3i. okl.
10. - 12. nov.
18. - 2G. nov.
7. oktober	i. jugoslovansko posvetovanje o opremi za pro-
izvodnjo elektronskih sestavnih delov in mikro-elektroniko, SD-MIEL - domaČa oprema • Ljubljana, Gospodarsko razstavišCe; informacije; MICEM Elektrotehniška zveza Slovenije, Titova 50, tel. D61-;i6-e86
10. mednarodna konferenca o polprevodniSkIh laserjih; Kanazav/a, Japonska
10. fT.ednaroüni vakuumski kongres zdruJen s 6. n"ednarodno konferenco o povrllnl trdnih snovi in s 33. nacionalnim vakuumskim simpozijem ZCA; Baltimore; informacije na DVTS, M. Jenko
9. mednarodna korferenca o uporabi pospeže-valnlkov pri raziskavah in v industriji; Denton, Texas, ZDA
4. mednarodna konferenca o kvantitativnih analizah površin; Teddlngton, Anglija; informacijo: G. SMith, Natl. Physical Lab., Teddinqton, Miü-dlesex, TW 11 OLW, Anglija
2. - 3. dec. Metrology '86 - mednarodni simpozij o merjenju tankih vakuumskuh plastij Grenoble, Francija; Francosko vakuum^o druitvo in institut za jedrsko znanost, Pariz
2. - 5. dec. 6. evropska konferenca o znanosti o materialih v pogojih breztežnosti; [Bordeaux, Francija; Informacije: J.-C. Launay; Laboratoire de chimie du sollfle du CNRS, 351 Cours de la Liberation, 33405 Talence Cecex, Francija
1. - 6. dec. Letošnje zaključno sreCanje Društva za raziskavo materialov (Materials Research Society) v Bostonu, ZDA. V tem času se bo tam zvrstilo 22 tehničnih sirr^iozijev, dodatno pa bo še o-krog 20 krajših tehnično-izobraževalnih tečajev.
16. - 18. feb. 87 Drugo vakuumsko sreCanje o površinah, curkih in adsorbatlh; Santa Fe, New Mexico, ZDA; Ameriško fizikalno društvo
22.	- 27. feb. 07 10. mednarodno srečanje Društva za adhezljo;
Wllliamsturgh, VA, ZDA
23.	- 27. feb. 87 3. mednarodna konferenca o izdelavi ultra-
strukture keramike, stekla In kompozitov; San Oiego, Kalifornija, ZDA
10. - 13. mar. 87 7. konferenca o elektrostatikl; Oxford, Anglija; informacije: The Westings Officer, The Institute of Physics, 47 Beigrave Stjuare, London
3. • 7. maj 87 5. mednarodni simpozij o plinskih dielektrikih, Knoxvilie, ZDA; informacije: D.W. Boul-dln ORNL 4500S, H-158, P.O.B. X, Oak Ridge, TN 37831, ZDA
22. - 26. jun. 97 2. mednarodna konferenca o strukturi površin;
Amsterdam, Nizozemska; informacije: J.F. Van der Veen, FOM Institut for Atomic and Molecular Physics, Kruislaan 4Q7 1090 SJ Amsterdam
22. - 24. sept. 87 Furosensurs - 3. konferenca o senzorjih in njihovi uproabi; Cambridge, Anglija
19. - 23. okl. 87 Evropska konferenca o uporabi analiz površin in stičnih ploskev (ECASIA 97); Stuttgart -Fellbach, ZRN; Informacije: V. Nagorny, Max Planck Institut; Seestrasse 92, D-7000 Stuttgart
jeseni 1988	4. skupna vakuumska konferenca Avstrije,
Macfiarske in Jugoslavije - verjetno v Rogaški slatini (ali v Portorožu), JÜVAK in OVIS
18. - 21. Okt. flö 12. svetovni kongres o obdelavi površine kovin, INTERFINISH 80, Palais de Congres, Pariz, Francija
poleti 1989	11. jugoslovanski vakuumski kongres - v Slo-
veniji; JUVAK In DVTS
jeseni 1999	11. mednarodni vakuumski kongres (lUVSTA)
- Köln, ZRN
poleti 1992	12. jugoslovanski vakuumski kongres - v BiH
ali na Hrvaškem
kratke novice
Društvo za vakuumsko tehniko HrvaŠke je po dolgoletnem pre-iTxjru spet organiziralo tečaj Iz vakuumske tehnike in sicer v fäsruarjü 1966 v Zagrebu. TeCaj je trajal teden dni in je obsegal teoretični del (18 predavanj v treh dneh) In praktični del (10 vaj v dveh dneh In pol). Udeležencev je bilo 23 iz različnih gospodaprskih organizacij. Kot zanimivost navajamo naslove vaj s tečaja DVTH:
Ustvarjanje in merjenje grobega in srednjega vakuuma Merjenje črpaine hitrosti mehanske črpalke Umerjanje v^uummetra
Ustvarjanje In merjenje visokega vakuuma
Merjenje črpaine hitrosti difuzljske črpalke
Leak detekcija s halogenim leak detektorjem
Leak detekcija s helijevim leak detektorjem
Merjenje parcialnega tlaka s kvadrupolno sondo
Naprševanje kovine z magnetronskim Izvorom
Vakuumsko naparevanje. Formiranje večslojnih dielektrlčnlh tankih plasti.
Ii
Kitajsko vakuumsko öruJtvo (CVS) je bilo ustanovljeno 1979. Število Članstva sedaj 2e presega 1800 članov. CVS zajema tri lokalna društva: Sichuan, Shanghai In Beljin, nato komite za ljudsko vzgojo, pa uredniški odbor za svojo uradno publikacijo "Vacuum Science and Technology {China) In osem komisij; Vakuumska metalurgija - ustanovljena 1990 Uporaba vakuuma v elektronskih napravah - ustanovljena 1980 Vakuumska zaščita - ustanovljena 1981 Vakuumske meritve in kallbracije - ustanovljena 1981 Masna spektroskopija In leak detekcija - ustanovljena 1961 Vakuumska fizika - ustanovljena 1981 Vakuum pri jedrskih napravah - ustanovljena 1983 Tanke plasti - ustanovljena 1985.
CVS deluje direktno pod vodstvom Kitajskega združenja za znanost In tehnologijo. Nacionalni kongres s širokim akademskim simpozijem imajo vsaka štiri leta. Lokalna društva imajo specializirana srečanja neredno. Skupščina CVS se sestane vsako leto in daje smernice o raznih problemih, vsakoletnih projektih, o m-vlh članih In gospodarjenju. Urad CVS Oela vsak dan po navodilih izvršnega odbora. Predsednik CVS je prof. Hua Zhong-yi z univerze v Shangnaju.
Poleg omenjenega glasila, ki izhaja po letu 1980 vsaka 2 meseca, Izdajajo tudi "CVS Newsletters", ki prinaša novice Iz tujine In domovine. Pogosto organizirajo strokovne tečaje In Izdajajo knjige • največkrat skupaj 2 univerzami ali raziskovalnimi inštituti. UporaOa vakuuma narašča na Kitajskem na vseh področjih.
Konec aprila je bil v Gorenje-Servisu v Titovem Velenju tridnevni tečaj za vzdrževalce visokovakuumskih ?rpalr.ih naprav. Kot je znano, Gorenje-Servis obnavlja barvne televizijske cevi. pri čemer je ena izmed obnovitvenih faz črpanje do visokega vakuuma.
Tečaj smo - v DVTS - pripravili tako, da smo si najprej ogledali obrat, se pogovorili z delavci o težavah, ki jih srečujejo pri delu z vakuumskimi napravami in o njihovih željah. Nato smo izdelali program predavanj (teoretični del, tri ure dnevno) in vaj (praktični del, pet ur dnevno).
Tečaja so se udeležili vsi vzdrževalci in njihovi vodje, teoretičnega dela pa še drugi, skupaj 18.
Pravi užitek je bilo predavati In delati s temi ljudmi, saj smo v sproščenem pogovoru rešili vrsto "neznank", ki so prej mučile vzdrževalce; vse smo najprej teoretična obdelali, praktično "potrditev" pa snv uspešno opravili na vajah.
Trije dnevi so kar prehitro minili. Ntova spoznanja bodo koristila vsem tečajnikom, predvsem pa se bodo zmanjšali stroški vzdrževanja vakuuniskih naprav ter povečala kvaliteta In "izplen" obnovljenih TV cevi oz. "ekranov", kot jim pravijo v Gorenju.
Od leta 1983 je CV5 vključen v lUVSTA, s katero goji dobre stike že vnaprej In podobno tudi z vakuumskimi društvi Anglije, ZDA, Francije, ZRN, Indije, Japonske in Jugoslavije.
X. mettiarodni vakuunrtäci kongres, 6. mednarodno posvetovanje o trdnt) površinah in 33. srečanje amerSkega vakuumskega društva organizira lUVSTA od 27. do 31. oktobra 1986 v Baltlmoru - Maryland, ZDA.
Prireditev bo potekala v naslednjih sekcijah:
-	Elektronski materiali in predelava
-	Znanost o površinah in uporaba
-	Tanke plasti
-	Vakuumlstlka
-	Tehnologija fuzije
-	Vakuumska metalurgija
-	Skupna problematika.
Nova vrhunska domača tehnologija JOSTIN je postopek za nanašanje 2 do 5 ^m debelih zaščitnih prevlek iz titanovega nltrida (TiN) z mikrotrdoto površine pr^ 2OG0 HV, koeficientom trenja pod 015 ter odlično oprijemljivostjo do vseh hitroreznih jekel In karbidnih trdln. Razvila ga je skupina raziskovalcev na Inštitutu Jožef Stefan pod vodstvom dr. Borisa Navinška. Proces nanašanja poteka pri &8Q - 500 °C in to v plazmi ter ne povzroča nobenih strukturnih In dimenzijskih sprememb na vseh vrstah orodij !n strojnih delov.
Nävi Center za trde prevleke {CTP) - ioclran v I. nadstropju novega stanovanjsko-poslovnega kompleksa v Domžalah - je kot rezultat sodelovanja med Inštitutom Jožef Stefan in SMELT-om Iz Ljubljane, nastal v začetku letošnjega leta. Uporabnikom iz Industrije nudi naslednje usluge:
-	nanašanje trdih prevlek TiN na orodja
-	strokovno svetovanje glede uporabe zaščitnih prevlek, priprave orodij in režimov dela
-	razvoj trdih prevlek za specialna orodja in strojne dele.
DRUSTVO za vakuumsko TEHNIKO SLOVENUE bo orgaiizi-rak> potovanje v Baltiimre na X. meckiarodni vakuumski kongres,
ki bo od 27. do 31. X. 1986. Prijave sprejema DVTS Slovenije, Ljubljana, Teslova 30, kjer dobite tudi podrobnejše Informacije (telefon 263-461/061/).
Na 3. stopnji magistrskega študija "Elektronska vakuumlstlka", ki ga je mariborska univerza uvrstila v svoj program, je vpisanih 18 slušateljev različnih osnovnih profilov. Program je, sedaj tudi že uradno potrjen od Izobraževalne skupnosti Slovenije, izbrani profesorji so najkompetentnejši strokovnjaki iz vse Jugoslavije.

NaSemu druStvu se je lani končno nasmehnila sreča, kar se tiče lastnega prostora. Od lEVT, kjer imamo svoj sedež 2e vse od ustanovitve, smo dobili na razpolago sobico {Oivše skladišče), ki smo jo letos lepo preuredili In opremili. V omare srro znosili arhiv in manjša osnovna sredstva. Velika miza, ki zavzema skoraj ves prostor, doDro sluli našim sestankom, v dopoldanskem času pa jo lahko uporabi Inštitut kot sprejemnico za pomembnejše obiske (če nI drugega prostora na razpolago). Oa bi našo aktivnost še povečali, iellmo vpeljati "jour fix", ko bi se • zaenkrat še ne^vezno - dobivali v n^i pisarni ob strokovnem oziroma organizacijskem delu. Verjetno bo ta dan (p)ostala sreda okrog 17. ure, kajti izkazala se je le nekajkrat, da ta termin večini najbolj ustreza. Vabljeni I
Kot zastopnik DVTS Slovenije, ki je član Elektrotennižke zveze Slovenije, sem se udeležil 16. in 17. maja 1936 v Kopru in Sežani 3. strokovnega srečanja predstavnikov vseh elektrotehniških društev Iz Slovenije in organov 10 EZS.
Ob ogledu Luke Koper s strokovnim vodstvom je bilo v petek, 16. maja, zasedanje "3. srečanja" s strokovnim referatom dr. Janeza Dekleve: Luka Koper kot tehnični sistem, in govorom v počastitev spomina na Nikolo Teslo, Mlhajla Pupina in Milana Vidmarja. V soboto, 17. maja je bilo na programu spoznavanje slovenskega enotnega kulturnega prostora na obeh straneh meje pri Trstu: obisk slovenskih vasi: Dolina, Boršt, Rlcmanje, Q3čine, Prosek, položitev venca Bazoviškim žrtvam pri spomeniku, ki je bil s strani fašistov tolikokrat oskrunjen. Cqieüall smo si tudi zanimive freske Toneta Kralja v lokevski cerkvi pri Lipici in obiskali Kosovelovo sobo s programorr, njegove poezije v Sežani in zaključili srečanje v Hraševicl.
B.P.
OVTS je 22. 4. 1996 v sodelovanju z zastopstvom firme Ley-bold Heraejs organiziral javna strokovna predavanja uglednih strokovnjakov omenjene firme na FNT Montanistika v Ljubljani. Naslovi njihovih tem so bili:
Ltaraba masnih spektrometrov v vakuumski tehnologiji Osnove n%ir$evanfa tankih plasti Laboratorijske naprave za naprševanje tankih plasti Naprave za naprševanje velikih površin Računalniško vodenje nanašanja tankih optičnih piasti.
Predavanja so bila v angleščini; poslušalcev pa je bilo 5B z vseh koncev Slovenije.
Društvo za vakuumsko tehniko Srbije je v času X. Jugoslovanskega vakuumskega kongresa predstavilo strokovni Javnosti zanimivo in za naše vakuumske razmere nujno potrebno novo knjižico;"llustrovanl priručnik za obuku u vakuumsko} tehnologiji i prlmenama!
To je prevod priročnika, ki ga Je leta 1970. izdala lUVSTA v obliki 287 diapozitivov s komentarji; obsega pet strokovnih področij; Osnove vakuuma, vakuumske meritve In merilniki, črpalke, analizatorji preostalega plina in sorpcijske črpalke, vakuum-sko nanašanje tankih plasti. Skupno z zborniki referatov svojih simpozijev In letošnjega kongresa je to že peta knjiga, ki jo je Srbsko društvo Izdalo v zadnjih petih letih.
že dve medkongresnl obdobji ('79 Bled - '03 Zagreb - "06 Beograd) sta minili v stalnem pričakovanju, da bodo vakuumis-tl iz BiH ustanovili svoje društvo - četrtega Slana JUVAK-a. Manjša poizvedovanja In nagovarjanja s strani JUVAK-& so bila opravljena tudi v Makedoniji in Crnl gori, toda trenutno kaže najbolje ravno v Bosni, saj tu deluje več močnih strokovnih skupin; naj omenimo le najbolj znane;
-	v tovarni ZRAK Sarajevo se pod vodstvom dr. Vretenarja u-kvarjaK) predvsem s tankimi dielektričnimi plastmi;
-	v ENERGOINVESTU razvijajo tankoplastne tenziometre (IRCA), vakuumsko sušijo In zalivajo merlins transformatorje z degazi-ranim oljem itd.
-	v BIRSA - Blhač preizkušajo tesnost hladilnih sistemov in vakuumirajo sisteme pred polnjenjem;
-	vakuumsko metalurške probleme rešujejo v Železarni Sisak;
-	poleg omenjenega uporabljajo vakuum in vakuumske tehnologije zagotovo še v prenekateri tovarni Energoinvesta, Rudi Ca-jevca in še kje drugje.
Predstavniki Jugoslavije v strokovnih sekcijah lUVSTA v naslednjem obdobju bodo:
v strokovni sekciji za vakuumsko znanost: dr. E. Kansky
v strokovni sekciji za fuzijo: dr. B. Nsvir^ek
v strokovni sekciji za tanke plasti: mag. A. Zalar
v strokovni sekciji za znanost o površinah: mag. H. Zore
v strokovni sekciji za elektronske materiale in procesiranje; dr. J. Turkovič
v strokovni sekciji za	vakuumsko metalurgijo: dr. M. Gligič
v strokovni sekciji za	uporabno znanost o površinah: dr. T. Nenadovid

Ljubljana je pridobila nov, zelo moderen presevnl (»transmisll-ski) mikroskop japonske firme JEOL. Nabavil ga |e IJS in se tam ravnokar montira.
Splošni podatki so: tip JEM 2Q00 FX z dodatkoma: vrstiCni mikroskop in energijsko-disperznI spektrometer (EDS). LoClIivost: tofkovna 0^0 nm, linijska 0,14 nrr,. Povečava i^OOD.OOG x. Pospeševalna napetost 200 k V.
I>uitvo za vakuumsko tehniko Slovenije je letos le dvakrat organiziralo svoj standardni Izobraževalni tečaj "Osnove vakuumske tehnike", ki traja intenzivno dva äni in pol. Na pivem tečaju 28. - 30. januarja Je bilo udeieJencev 29, na drugem -27. - 29. maja - pa 26.
S.2.
i^pravek in apravlčiio
V IGKRl AVTOMATIKI TOZD TELA v Ljubljani imajo novo vakuumsko peč PSEN-VFC 126, namenjeno predvsem z£ termično obdelavo (žarjenje, kaljenje, popuščanje) orodnih jekeL Je enakomerna (S. x d. x v. » 220 * 300 x 200 mm); polni se vo-doravra; možno je prisilno hlajenje (InI, do 3 bar) viožka, ki je težak lahko do 600 N; Časovno temperaturni program se vodi z računalnikom. CbrnoCje temperatur je 500 - 1320 najboljši vakuum, ki ga doseže s po eno rotacijsko in difuzijsko črpalko, pa je 1,3.10'^ mbar.
V prejšnji številki (Vakuumist 10 - januar 1966) je prišlo pri montaži članka ma^. Zaiarja o prvi evropski konferenci ECASIA P5 (str. 13) do zamenjave odstavkov; zadnji bi moral biti na začetku. Prosimo, da nam avtor In bralci oprostijo nenamerni spodrsljaj.
Uredništvo
Članarina
Ftomvno prosimo, da vplačate članarino za leto 1986, ki zn^ 400 din. Članarino n^^ite na žiro račun pri SDK Ljubljarta 50101-678-52240 oziroma vplačajte osebno v DVTS na Er^titutu za elektroniko in vakuumska tehniko, Ljiiiljana, Teslova 30 (pri tov. Prafek Borutu, dipLing.).
VAKUUMIST - Glasilo Društva za vakuumsko tehniko Slovenije, Teslova 30, 61 III Ljubljana, Telefon 263-461. Ureja Uredniški odbor: Andrej Pregelj, Monika Jenko, Peter Pavli, Borut Praček, Vinko Nemanii, Marko žumer, Jože Gasperič