GLASILO DRUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO SLOVENIJE
LJUBLJANA, NOV. 90
ST. 21 - 1990/2
ß
A' :
J •	Vt ' •
^ i.'i . v
JUGOSLOVANSKI
t 1' •• /t > W v •. !._
VAKUUMSKI

KONGRES
• i " ■ •
'fei:

'J - -'* ^ i, .
-v .

• *
'6 --.i
ISSN 0351-9716
VSEBINA
□ Mikrostrukturna karakterizacija tankih plasti
□	11. jugoslovanski vakuumski konqres
□	Podeljena prva Kanskyjeva nagrada
□	4. skupščina JUVAK, novi člani odborov JUVAK, kratka predstavitev novih častnih
	članov JUVAK, aktivnosti v obdobju 1986-90
□	2. evropska vakuumska konferenca
□	Smiljan Jerič, dipl.ing. prejel Kidričevo naqrado za življenjsko delo
□	Novi publikaciji DVTS
□	Pregled standardov s področja vakuumske tehnike
□	Koledar
□	Kratke novice in obvestila
□	VAKUUMIST
□	Izdaja Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije
□	Glavni in odgovorni urednik: Andrej Pregelj
□	Uredniški odbor: U, Jenko, P, Panjan, S. Jerič, A. Zalar, A, Banovec, F. Lah, E. Perman, S, Sejjad, V, Nemanič, M. Orab, B. Stariha,
M. Mozetič In B. Strnad
□	Naslov: Uredništvo Vakuumisia, Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije, Teslova 30, 61000 Ljubljana, telefon (061) 267-341
□	Po mnenju republiškega komiteja za kulturo RS št. 4210-149/61 Z
dne 9/9-1981 je publikacija oproščena plačila davka od prometa proizvodov,
□	Oblikovanje besedila, grafična priprava in tisk Biro M, Ljubljana, Žibertova 1
□	Naklada 300 Izvodov
MIKROSTRUKTURNA KARAKTERIZACIJA TANKIH PLASTI
Peter Panjan in Djordje Mandrino, Institut Jožef Stefan
1. UVOD
Za strukturno karaklerizacijo tankih plasti se v praksi uporabljata rentgen in presevni elektronski mikroskop. Iz meritev dobimo informacije o kristalni strukturi, fazi, mrežnem parametru, velikosti kristalnih zrn, morfologiji, gostoti defektov (dislokacij, zložitvenih napak, dvojčkov, itd.), napetostih v plasti itd.Naštete parametre potrebujemo pri interpretaciji meritev fizikalnih lastnosti, kot so npr. specifična električna upornost, trdota itd. V nadaljevanju bo podrobneje opisana uporaba rentgena in presevnega elektronskega mikroskopa za analizo tankih plasti.
Rentgenska analiza je najprimernejša metoda za analizo tankih plasti, ki so debelejše od lOOnm. Če je vpadni kot rentgenske svetlobe glede na podlago majhen, je volumen, ki ga analiziramo relativno velik. S tako geometrijo merilnega sistema izboljšamo intenziteto refleksov plasti in zmanjšamo ali celo izločimo reflekse podlage. Če je vpadni kot rentgenske svetlobe npr. 6.4°, potem je pot rentgenske svetlobe skozi plast enaka devetkratni debelini plasti.
Kotna ločljivost rentgenskih naprav je veliko boljša kot pri elektronskem mikroskopu, zato dobimo iz rentgenskih uklonskih spektrov veliko bolj natančne podatke o strukturi, kot iz elektronskih uklonskih spektrov. Prednost elektronskega uklona pa je v tem, da lahko z elektronskim mikroskopom analiziramo majhno področje vzorčka, ki si ga sami izberemo (za sodobne mikroskope je premer takega področja lahko <5nm).
2. RENTGENSKA UKLONSKA ANALIZA TANKIH PLASTI
Za analizo tankih plasti (lOOnm) se uporabljata difrak-tometra s Seemann-Bohlinovo konfiguracijo (sl.lb) ali Read kamera (sl.la). Pri obeh konfiguracijah je vpadni
v rBE'U \ / STO»
'COtLlMAtC«
a	PHOrOSBlfWC flLM-
Slika 1: Shematskiprikaz geometrije Read kamere (a) in Seeman-Bohlinove konfiguracije (bj.
kot rentgenskega curka fiksen in je običajno med 6 in 14° glede na podlago. Pri Seemann- Bohlinovi konfiguraciji je vpadni curek fokusiran tako, da fokusa vpadne in uklonjene svetlobe ležita na obodu uklonskega kroga (glej sliko), po katerem se giblje detektor. Pri Read kameri vpadni curek koiimiramo z dvema režama, ukionski spekter pa posnamemo na film, ki je nameščen okrog vzorčka na radiju 5cm.
Ker je vpadni kot monokromatske rentgenske svetlobe fiksen, z difraktometrom s Seemann-Bohlinovo konfiguracijo ne moremo analizirali tankih plasti, ki so zrasle epitaksijsko. Pri interpretaciji uklonskih spektrov polikri-stalnih tankih plasti ne smemo pozabiti, da pripadajo različni refleksi kristalnim zrnom z različno orientacijo, kar velja seveda tudi za uklon na vzporednih kristalnih ravninah z različnimi Müllerjevimi indeksi, kot npr. refleksi (111), (222), (333), ...
Iz rentgenskega uklonskega spektra lahko dobimo informacijo o strukturi in sestavi plasti (iz pozicije refleksov), oteksturi (iz relativne intenzitete posameznih refleksov), o velikosti in mikrodeformaciji kristalnih zrn (iz širine refleksov na polovični vičini), napetostih v plasti (iz premika vrhov} in debelini preiskovane plasti (iz integralne intenzitete posameznih refleksov).
Rentgenski spektrometer, ki ga uporabljamo na Institutu Jožef Stefan (Laboratorij za elektronsko mikroskopijo) je Guinierjevega tipa (G 600- Huber), s Seemann-Bohlinovo konfiguracijo. Vpadni kot monokromatske rentgenske svetlobe CuK„i (i=0.01541 nm) je 6°, širina vhodne reže števca O.l mm, intenzitete se merijo korakoma v intervalih 0.02°, čas štetja pri vsakem koraku pa je običajno 2 sekundi. Posnete spektre lahko računalniško obdelamo, pri čemer obsega obdelava korekcijo izmerjenih vrednosti medmrežnih razdalj s pomočjo meritev na standardu iz kalijevega klorida in prilagajanje profilov uklonskih vrhov Gaussovi, Lorentzovi ali parabolični funkciji. Ker pri difraktometrih Guinierovega tipa absolutna določitev difraktometerske ničle ni možna, ga moramo kalibrirati, ali pa uporabiti notranji standard. Za notranji standard lahko uporabimo fin prah kalijevega klorida, ki ga nanesemo na površino vzorca, v nekaterih primerih pa nam za standard lahko služijo tudi refleksi podlage.
Uporabnost difraktometra s Seemann-Bohlinovo konfiguracijo bomo ilustrirali na nekaterih meritvah. Na sliki 2 sta prikazana uklonska spektra 1.2 p.m debelih ZrN tankih plasti, ki s"io jih napršili v napravi Sputron na silicijeve rezine / orientacijo (100). Plasti sta bili na-pršeni sočasno pri temperaturi 250°C in 600°C. V spek-
tru plasti, ki je bila napršena pri nižji temperaturi so najizrazitejši vrhovi (111), (200) in (220). Relativna intenziteta retleksov je takšna kot bi pričakovali po ASTM (American Society for Testing and Materials) karticah za masiven polikristalen vzorček. V uklonskem spektru ZrN plasti, ki je zrasla na temperaturi 600°C. pa sta najmočnejša refleksa (333) pri uklonskem kotu i")! =60.64° in (311) pri 02 =33.54°. Iz geometrije merilnega sistema se da pokazati, da je plast ZrN v tem primeru zrasla preferenčno in sicer tako, da so ravnine {100) v kristalnifi zrnih, za katere je pri uklonskih kotih in izpolnjen Braggov pogoj, vzporedne z ravnino podlage. Na sliki 3 pa so prikazani rentgenski uklonski spektri tankih plasti LiTaC^ po depoziciji (c), po pregrevanju toplotni obdelavi (b), ter za primerjavo spekter LiTaOs v praškasti obliki (a).
Parameter, ki ga lahko določirrro iz rentgenskih spektrov, je mrežna konstanta. Ker so kristalna zrna v tankih plasteh majhna in ker je koncentracija defektov velika, so uklonski vrhovi pogosto zelo široki. Mrežno konstanto lahko določimo z natančnostjo = 0.001 nm, medtem ko je natančnost meritev na monokristalnih vzorčkih = 10"^ nm. Natančnost 0.001 nm je v večini primerov dovolj
33"	se* 6S-
T>ieta-Scan: Hu ) 11-DispI sy
Slika 2: Rentgenski spekter tankih plasti ZrN na siliciju (100). ki sta bili sočasno napršeni t- napravi Sputronpritemperatun25(fC (a) ineOCPC (b). Debelina plasti je bila = spektra 1.2 um.
alLiToOr imleipfsh nonoBriiiola
iL)
L—LJJJJJU
b.| LiTofi] ptf	Icnli (ilm
_La*_jLW„ - __________
C.) UToQi anorfrn ICMk (ilffl
30*
35*

ZS' acgree (61
Siika 3: Rentgenski uklonski spekter napršpne tanke plasti LiTaO po nanosu (a), po topi--ini obdi^-lavi (b) in za primerjavo spekter Li t. tO v prnš-kasti obliki (c) /3/.
dobra, da identificiramo fazo preiskovanega materiala. Izmerjena vrednost mrežne konstante je odvisna tudi od sestave, vendar moramo biti pri interpretaciji rezultatov zelo previdni. je mrežna konstanta zelo odvisna tudi od zun.mjih in notranjih napetosti v plasti. Zunanje napetosti najpogosteje nastanejo zaradi razlik v termičnem koeficientu razteznosti podlage oz. plasti (te napetosti določimo iz premika refleksov), medtem ko so notranje napetosti posledica defektov v kristalni strukturi.
iz širine refleksov na polovični višini, lahko določimo velikost kristalnih zrn, gostoto linijskih defektov, kot so dislokacije in dvojčki in mikrodeformacije. Po Scherrer-jevi enačbi je širina refleksov na polovični višini (ß) v
0,01
0.008
^ 0.006
g 0.004
0.002
t/D^D--22nm
0.2
0.4 0.6 8ln(tfieta)
0.8
Slika 4: Po Schererjevi enačbi je širina refleksov pomnožena s kosinusom uklonskega kota, premo sorazmerna sinusu uklonskega kota. Iz strmine premice lahko določimo mikrodefor-macijo kristalne strukture (e), medtem ko je razdalja od izhodišča do presečišča te premice z ordinatno osjo obratno sorazmerna z povprečno velikostjo kristalnih zrn (D). Kot vidimo iz slike zgoraj je povprečna velikost kristalnih zrn i' tanki plasti ZrN, ki smo jo napršili na silicijevo podlago (100) pri temperaturi 600 C 22 nm. medtem ko je mikrode-formacija kristalne strukture 0.82x10'^
Thets; lC,4r,-i .036	\ • 1 1	1	Fit:
fUrtCi : .ijy	'fl	j —HC', net	1 0
Int-n: -"ei C-psl	•'1 1	i-s ( •	
	1 1	1 >1 \	
4 Ifll 2.715? •- ,«>51 o'	1 i	■•P	
/	! 1	1 \	
■ /	1 ; 1 1	1 \	
a'	1 1	1 V	
/	1 '	1 . \	
/ ' '	• r 1 1	1 \ 1 nS	
/	1 1	\	
/'	( !	] \	
a'	i 1	1 a	S
/	1 i	1	\
-	1 j		Ä,
n '		•	
	! 1	1	^ "-..i J. n
16.1' 15.3"	i-f	5- 16.r-	16.
9)?S5: '91.-P5I		1	
iwn	rum-.ter'Ml- <01
sia »?v. I" t2i
S'ika 5: Aproksimacija refleksa (111) v uklonskem spektru tanke plasti ZrN s Gaussovo funkcijo.
nastednji zvezi z velikostjo kristalnih zrn (D) in mikrode-formacijo kristalne strukture (e):
ßcos t')	4 gsin \')
X ~ D'*' X
V diagramu, kjer na ordinato narišemo širino uklonske črte pomnoženo s cosO, na abciso pa sini'), strmina premice določa mikrodetormacijo kristalne strukture, medtem ko "je razdalja od izhodišča do presečišča premice z ordinatno osjo 1/D, kjer je D povprečna velikost kristalnih zrn (si.4). Širino refleksov določimo tako, da njihovo obliko aproksimiramo z Gaussovo (sl.5), Lorent-zovo ali parabolično funkcijo.
mrežni konstanti, stopnji preferenčne orientacije in sestave. Kontrast različnih strukturnih posebnosti lahko izboljšamo tako, da naredimo sliko v svetlem (iz neuklon-jenega elektronskega curka) ali temnem polju (iz izbranega uklonjenega elektronskega curka). Na ta način lahko izberemo zrna z različno orientacijo. Vzorčke lahko pripravimo za t i. "face-on" ali "edge-on" mikroskopijo. V prvem primeru opazujemo tanko plast pravokotno, v drugem pa vzporedno z ravnino plasti. Z "edge-on" mikroskopijo (cross-sectional TEM - XTEM) dobimo informacije po globini plasti. S to tehniko, ki jo bomo v nadaljevanju podrobneje opisal, lahko opazujemo mi-krostrukturo plasti na meji s podfago in seveda po celotnem preseku.
3. PRESEVNA ELEKTRONSKA MIKROSKOPIJA TANKIH PLASTI
S sodobnim elektronskim mikroskopom, kakršen je tudi JEM-200Q FXtirme JEGL, ki ga imamo na Institutu Jožef Stefan (Laboratorij za mikrostrukturno analizo, ki sodi v Oddelek za keramiko) lahko naredimo strukturno in elementarno analizo zelo majhnih področij (okrog 5nm). Z istega področja tanke plasti lahko dobimo informacijo o velikosti kristalnih zrn, morfologiji, gostoti defektov.
Glavna težava, ki je povezana sTEM, še bolj pa s XTEM analizo, je priprava vzorčkov. Vzorčki, ki jih analiziramo morajo biti za elektrone presevni. Debelina vzorčka je odvisna od vrste materiala in od energije elektronskega curka in je ponavadi med 50 in 300 nm. Priprava vzorčkov ]e zlasti zahtevna pri zelo trdih materialih. Vzorčke za "face-on" mikroskopijo pripravimo tako, da na 200)im debele podlage, nanesemo izbrano tanko plast, iz vzorčkov z ultrazvočnim svedrom izrežemo diske s premerom 3mm, sledi tanjšanje s t.i. dimplanjem (v vzorec naredimo obrus s posebnim kolutom, ki ga mažemo z
Si3N4
TiSi,

Slika 6: TEM posnetek preseka večplastne strukture Cr/Ni. Na sliki lepo vidimo meje med posameznimi plastmi in stebričasto mikrostrukturo kro-moyih in nikljevih plasti. Posnetek je bil narejen na Jeol-ovem elektronskem mikroskopu (avtorposnetka dr. V.Kraševec) /4.'.
Slika 7: 485 nm debela plast titanovega disilicida. ki jo vidimo na TEM posnetku, je nastala po pregrevanju 200 nm debele plasti titana, ki smo jo napršili n ' sHicijcvo podlago (100). Posnetek je bil n.T' jen n,i Jeol-ovem elektronskem mikroskopu /avto' posnetka dr. V.Kraševec) /5/.
Slika 8: TEM posnetek tanke plasti TiN, kije zrasla na podlagi iz HSS. Lepo se vidi vpliv MC karbid-nega vključka na mikrostrukturo plasti/6/.
diamantno pasto) in nazadnje tanjšanje z ionskim jedkanjem. Vzorčke za "edge-on" mikroskopijo pa pripravimo tako, da podlage na katere smo nanesli plast, zlepimo z epoksi lepilom v sandvič. Z diamantno žago izre-žemo iz sendviča tanke rezine, ki jih nato zbrusimo in spoliramo z obeh strani. 200)im debele ploščice z voskom pritrdimo na steklene podlage in z ultrazvočnim svedrom izvrtamo 100 pm globoke luknje s premerom 3mm. Ploščice obrnemo in jih ponovno brusimo do globine do katere smo izvrtali luknje. Zadnja faza tanjšanja je ionsko jedkanje. Za ionsko jedkanje smo uporabili napravo, ki so jo razvili na Institutu za tehnično fiziko v Budimpešti (evropski patent 141272). Sestoji se iz dveh "TELETWIN" ionskih izvorov (Ar*, 5-10KV, 300mA. premer curka 0.4 mm, divergenca curka 1° in delni tlak argona 2x10"^ Pa). !v5ed jedkanjem podlage je vpadni ko) ionov glede na normalo podlage 60 do 70°, kjer je hitrost razprševanja največja, in 85 do 87° (oz. 2 do 5° glede na površino podlage) med jedkanjem plasti;
z jedkanjem pod nizkim kolom se izognemo radiacijskim poškodbam plasti, hkrati pa dobimo zelo ravno površino.
V ilustracijo uporabnosti presevne elektronske mikroskopije presekov plasti so prikazane tri slike: presek Ni-Cr-Ni-Cr-... večplastne strukture (si.6), presek titan silicidne plasti, ki je zrasla na silicijevi rezini (si.7) in presek titan nilridne plasti, ki je zrasla na podlagi iz jekla (sl.8).
4. ZAKLJUČEK
Razvoj in uporaba tankih plasti so tesno povezani z razumevanjem zveze med parametri rasti plasti, njihovo mikrostrukturo in sestavo, ter rezuHirajočimi fizikalnimi lastnostmi plasti. Ivled standardne preiskovalne metode, s katerimi lahko naredimo podrobno kristalografsko in mikrostrukturno analizo tankih plasti, sodijo rentgenske naprave in presevni elektronski mikroskop. V prispevku so opisane prednosti in slabosti obeh tehnik, prikazani pa so tudi nekateri rezultati meritev.
5. LITERATURA
/1/J.Sundgren, A.Rockett, J.E.Greene and U.Helmersson, J.Vac.Sci. Technol.. A4(6), (1986) 2770
/2/ L.C.Feldman and J.W.Mayer, Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis, Nortfi- Holland. New York (1986)
/3/A.Kandušar, Dj.lvlandrino, f^.Kosec, B.Navinšek in B.B.Lavrenčič. Zbornik predavanj o elektronskih sestavnih delih (v tisku), Radenci 1990, sir. 315
/4/ A.Zalar, A.Barna, P.B.Barna, P.Panjan and S.Hofmann, Vacuum (v tisku)
/5/ P.Panjan, A.Zabkar, B.Navinšek, V.Kraševec, V.Marinko-vič, O.Mandrino, Godec, M.Ivlaček and A.Zalar, Vacuum, Vol. 41, 4-6, (1990) 1278
16/ Phisics and Chemistry o) Protective Coatings, American Institute of Physics Conference Proceedings N 149, New York 1986, Ed. by W.D.Sproul, J.E.Green and J.A.Thornton
XI. JUGOSLOVANSKI VAKUUMSKI KONGRES -GOZD MARTULJEK 1990
XI. jugoslovanski vakuumski kongres je bil organiziran pod pokroviteljstvom Izvršnega sveta skupščine Slovenije od 17. do 20. aprila 1990 v prostorih hotela Špik v Gozd fVlartuljku. Zveza društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije JUVAK, je izvedbo kongresa zaupala Društvu za vakuumsko tehniko Slovenije, ki ga je v sodelovanju z Inštitutom za elektroniko in vakuum<;ko tehniko in z Metalurškim inštitutom organiziralo in tudi uspešno izpeljalo.
Sorazmerno nizka kotizacija za udeležbo na kongresu je zahtevala pridobitev sredstev za organizacijo tudi iz drugih virov. Največ pomoči je organizator dobil od Inštituta za elektroniko in vakuumsko tehniko, Metalurškega inštituta in nekaj tudi od Republiškega komiteja za raziskovalno dejavnost in tehnologijo Slovenije. Del sredstev smo pridobili še od tujih tvrdk, ki so med kongresom v mali dvorani hotela Špik razstavljale manjše vakuumske komponente, instrumente in prospektni
material. Razstavljale! so bili: Balzers, Comef. Eivak, lEVT, Leybold, Mikroiks - Mipot, Plasma und vakuum Technik, Uniexport - Vacuum Generators in Varian.
Uvodni govor na otvoritvi je imela predsednica organizacijskega odbora kongresa M. Jenko, pozdravne besede pa so nato izrekli še predsednik JUVAK-a A. Zalar, čian IS skupščine Slovenije E. Vrenko, direktor lEVT S. Jurca in predstavnik Metalurškega inštituta V. Prešern.
Znanstveni program je bil razdeljen na vabljena predavanja, govorne prispevke in dve poster sekciji.
Vabljeni predavatelji so predstavili najnovejše tuje in domače dosežke iz področja vakuumske znanosti, tankih plasti, znanosti površin, elektronskih materialov in vakuumske metalurgije.
Prof. J.H. Leck iz Velike Britanije je imel otvoritveno predavanje s področja vakuumske znanosti: Recent development of total and partial pressure in vacuum systems.
Naš rojak dr. Bogdan Zega z "Batteile Institute" iz Švice je zastopal področje vakuumskih tankih plasti. Naslov njegovega predavanja je bil: Trde prevleke - Trendi in razvoj nove opreme. Sledila sta mu dva domača predavatelja z Inštituta Jožef Stefan prof. B. Navinšek (Vpliv podlage na kvaliteto trdih prevlek TiN- PVD) in prof. J. Gasperič (Visokotemperaturne superprevodne tanke plasti).
Področje "Površine trdnih snovi in preiskovalne metode" je zastopal prof. Milorad Milun z Inštituta za fiziku Sve-učilišta u Zagrebu z zanimivim predavanjem; Spectroscopic investigation of the initial stages of oxidation of mono and poly-crystalline metal surfaces.
Materiale za elektroniko sta predstavila dva ugledna vzhodnoevropska znanstvenika, prof. R. Harman iz Tehnične Univerze v Bratislavi (New physical effects in heterostructures, superlattices and quantum wells) in prof. W. V\/losinsky iz Univerze v Varšavi (Ceramic-to-melal joints and the Vacuum technology).
Uvodni predavanji s področja vakuumske metalurgije sta imela D. Dietrich s sodelavci iz Leybolda (Recent achievements in vacuum melting and casting and in the production of high purity powders) in prof. B. Koroušič z Metalurškega inštituta v Ljubljani (Uporaba vakuuma v sodobnih jeklarskih procesih).
V prvi poster sekciji so bili predstavljeni prispevki vakuumske znanosti in tankih plasti. Istočasno je bila tudi zakuska. V prijetnem vzdušju in strokovni diskusiji, so udeleženci vztrajali pozno v noč.
Druga poster sekcija je bila zadnji dan kongresa. Predstavljeni postri so bili z naslednjih področij: znanost površin, materiali za elektroniko in vakuumska metalurgija. Za strokovno diskusijo in izmenjavo mnenj je bilo
kar premalo časa, nekateri udeleženci so se že odpravljali domov.
Vse prispevke je pregledal znanstveni odbor. Vabljena predavanja in vsa sprejeta prijavljena dela smo objavili v Zborniku predavanj - Bilten JUVAK 24, ki je bil natisnjen pred pričetkom kongresa in razdeljen udeležencem obprihodu-
DVT Slovenije je na kongresu predstavilo še eno publikacijo: knjižico pokojnega prof. E. Kanskega; Nastajanje in rast vakuumskih tankih plasti, ki jo je izdalo v samozaložbi.
V spomin na priznanega strokovnjaka, neumornega učitelja in častnega člana JUVAK prof. E. Kanskega je bila na XI. jugoslovanskem vakuumskem kongresu prvič podeljena tudi Kanskyjeva nagrada. Posebna komisija je izbrala dve najboljši na kongresu predstavljeni deli. Kanskyjevo nagrado za leto 1990 si delita: Hrvoje Zore z Inštituta Rudjer Boškovič, Zagreb za delo: Efekt op-tičke bistabilnosti u tankim slojevima cink selenida i cink sulfida in Peter Panjan z Inštituta Jožef Stefan, Ljubljana, za delo: Karakterizacija TiN in ZrN tankih plasti.
Problematika proizvodnje in uporabe vakuumske opreme v Jugoslaviji je bila obravnavana za okroglo mizo. Zanimanje predstavnikov za to problematiko je bilo veliko, debate so bile dolgotrajne, kakšni pa bodo rezultati dogovorov, pa bo pokazal čas.
Častni člani Zveze društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije - JUVAK so postaii: na predlog DVTSrbije prot. Branka Čobič in prof. Milan Kurepa ter na predlog DVT Slovenije prof. Jože Gasperič. Častnim članom bodo vročene spominske plakete na X!l. jugoslovanskem vakuumskem kongresu, ki ga bo organiziralo Društvo za vakuumsko tehniko Hrvatske leta 1993.
In še nekaj statističnih podatkov XI- jugoslovanskega vakuumskega kongresa. Predstavljenih je bilo 82 del: največ jih je bilo s področja vakuumskih tankih plasti 27, nato vakuumske metalurgije 17, vakuumske znanosti 17, znanosti površin 14 in elektronskih materialov 7.
Glede na število aktivnih udeležencev (101) lahko sklepamo, da je zanimanje za vakuumsko tehniko in njej sorodnih področij razmeroma veliko, čeprav se povsod čuti poleg zaskrbljujoče politične tudi težka ekonomska situacija raziskovalnih institucij in industrije.
Po mnenju mnogih udeležencev je XL jugoslovanski vakuumski kongres v celoti uspel, za kar gre zasluga požrtvovalni ekipi organizatorjev.
Na koncu se iskreno zahvaljujem vsem posameznikom in organizacijam, ki so kakorkoli pripomogli k realizaciji kongresa.
M.Jenko
Podeljena prva Kanskyeva nagrada
v spomin na prof.dr. Evgena Kanskega, priznanega znanstvenika in učitelja na področju vakuumske znanosti in tehnike je Zveza društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije (JUVAK) na pobudo Društva za vakuumsko tehniko Slovenije v letu 1989 ustanovila Kanskyevo nagrado. Namen nagrade, ki bo podeljena ob vsakokratnem jugoslovanskem vakuumskem kongresu je, da vzpodbudi delo mladih jugoslovanskih vakuumistov, ki so aktivni na enem od naslednjih področij: vakuumska znanost, tanke plasti, površine trdnih snovi in preiskovalne metode, vakuumska metalurgija in materiali za elektroniko. Komisijo za podelitev Kanskyeve nagrade imenuje Izvršni odbor JUVAK-a, ta pa v prvi vrsti upošteva originalnost dela, ki mora biti predstavljeno na jugoslovanskem vakuumskem kongresu in njegov prispevek k znanstvenemu in razvojno- raziskovalnemu delu na vakuumskem področju v Jugoslaviji. Drugi kriteriji so razvidni iz pravilnika za Kanskyevo nagrado. S pravilnikom je določeno, da sredstva za nagrado preskrbi vsakokratni organizator jugoslovanskega vakuumskega kongresa.
Prva Kanskyeva nagrada je bila podeljena na XI. jugoslovanskem vakuumskem kongresu, ki je bil od 17. do 20. aprila 1990 v Gozd Martuljku. Komisija za oceno prijavljenih del so sestavljali štirje člani: prof.dr. V. Marinkovič (Univerza v Ljubljani), ing. Z. Sternberg (Rudjer Boš-kovič Zagreb), prof.dr. B.^erovič (IBK, Vinča) in dr. A. Zalar(IEVT, Ljubljana).
Komisija, ki je upoštevala pravilnik in kriterije za Kanskyevo nagrado, je v ožji izbor za nagrajence uvrstila štiri dela. Na osnovi predstavitve del na samem kongresu sla bifa nato izbrana dva nagrajenca, ki stasi nagrado razdelila. Prva Kanskyeva nagrajenca, ki sta prejela nagrado 20. aprila 1990 v Gozd Martuljku sta Peter Panjan, dipl.fiz. iz Inštituta Jožef Stefan v Ljubljani in Hn/oje Zore, dipl.fiz. iz Inštituta Rudjer Boškovič iz Zagreba. Oba nagrajenca delata na področju vakuumskih tankih plasti, njuna dejavnost pa je razvidna iz kratkega opisa nagrajenih prispevkov.
P. Panjan je bil nagrajen za prispevek Karakterizacija TiN in ZrN tankih plasti, v katerem je skupaj s soavtorji predstavil rezultate meritev električnih, optičnih in mehanskih lastnosti tankih plasti TiN in ZrN, ki jih je pripravil z reaktivnim naprševanjem v napravi Sputron in v cilindričnem magnetronu, ter z ionskim prekrivanjem v napravi BAI 730. Z rentgenskimi metodami je preiskal tudi strukturo, sestavo, velikost zrn in mikrodeformacijo kristalne strukture. V uvodu prispevka so navedenefizikalno kemijske lastnosti tankih plasti TiN in ZrN, za katere je značilno, da imajo zelo visoko trdoto, nizko električno
prevodnost, hkrati pa so odporne na obrabo in so kemijsko inertne. V eksperimentalnem delu so predstavljene meritve specifične električne upornosti in temperaturnega koeficienta upornosti. Iz meritev je razvidno, kako sta odvisna od parametrov priprave plasti; od delnega tlaka dušika med naprševanjem, temperature in električne napetosti na podlagi. Odbojnost in presoj-nost tankih plasti TiNx in ZrN«, sta bili izmerjeni s svetlobo z valovno dolžino od 0,3 do 2 jim in pokazalo se je, kako sta odvisni od debeline in sestave plasti. Z meritvami mikrotrdote tankih plasti TiN in ZrN pa je bilo ugotovljeno, kako le-ta zavisi od stehiometrične sestave, vrste podlage, načina priprave plasti in od obremenitve merilne konice. Zanimiv prispevek k preiskavam so tudi rentgenske analize plasti, s katerimi so preiskali strukturo in sestavo plasti, njihovo teksturo ter velikost zrn in mikrodeformacijo.
Drugi nagrajenec Hrvoje Zoro, dipl.fiz. je v svojem delu obravnaval pojav optične bistabilnosti v tankih plasteh ZnSe-ZnS. Optična bistabilnost v tankih plasteh je bila odkrita leta 1978 na tankih plasteh ZnS. Pojav je pojasnjen z realno absorpcijo v tanki plasti; del energije vpadne svetlobe se porabi za spremembo lomnega količnika (disperzivna bistabilnost), del pa za spremembo absorpcije v bližini absorbcijskega roba polprevodnika (absorb-tivna bistabilnost). Te lastnosti tankoplastnega polprevodnika se lahko ojačajo v večslojni strukturi, ki ima izrazito nelinearno karakteristiko prepustnosti ali odbojnosti v odvisnosti od vpadne intenzitete svetlobe. Poleg tega se pojavlja značilna histereza, ki je odvisna od gostote vpadne energije svetlobe, poznani pa sta dve stabilni stanji sistema, zato govorimo o bistabilnosti. Mag. Zore je v delu preiskal večslojni sistem z aktivnim bistabilnim materialom, ki vpliva na delovanje bistabil-nega optičnega elementa. Raziskana sta bila dva različna ozkopasovna filtra Fabry-Perot-ovega tipa. Prvi je filter z vmesnim slojem ZnSe, ki absorbira svetlobno energijo in se mu zaradi segrevanja spremeni realni del lomnega količnika (pojav bistabilnosti). Drugi filter ima vmesni sloj ZnS, medtem ko se absorbcijska plast ZnSe nahaja v reflektorjih. Meritve so bile narejene z Ar-laser-jem X = 541,5 m. Pn/i filter ima nižji prag bistabilnosti in je v skladu s pričakovanji, ker se absorptivna plast nahaja v resonančni strukturi.
Obema nagrajencema, dipl.fiz. Petru Panjanu in mag Hrvoje Zorcu iskreno čestitamo, Kanskyeva nagrada pa naj bo v bodoče čast in vzpodbuda za mlade jugoslovanske vakuumiste.
A. Zalar
4. skupščina JUVAK
Po stari navadi jugoslovanski vakuumisti, izkoristimo vsak jugoslovanski kongres tudi za izvedbo skupščine. Da se zaporedne številke kongresov in skupščin ne ujemajo več, je vzrok, državno administrativna zahteva izpred dobrih 10 let, ko so se morala vsa društva in zveze na novo registrirati. Tako smo pričeli leta 1979 skupščine šteti znova: na 8. jugoslovanskem vak. vakongre-su na Bledu je bila prva, na 9. kongresu 1983 v Zagrebu druga, na 10. leta 1986 v Beogradu tretja in letos na 11. kongresu v Gozd Martuljku četrta. Tudi letošnja skupščina je potekla po programu: volitve organov skupščine, poročila, diskusija o poročilih, razrešitev starih in volitve novih odborov, načrli za naprej itd. - dokaj formalno; zaradi živahnih pogovorov in diskusij se je sicer maio podaljšala, vendar bistveno novih smernic ali odločitev ni prinesla. Naj na kratko podamo najpomembnejše:
Prisotni so bili delegati iz vseh treh društev (še vedno samo iz treh) in še mnogi vakuumisti, ki jim ni vseeno, kako se bo naša panoga razvijala v bodoče - skupno okrog 40. Z ozirom na postavke statuta je prišlo do zamenjave predsednika zveze JUVAK. Dr. Zalarju je potekel drugi mandat in za novo predsednico je bila izvoljena dr. Monika Jenko. Ostale na novo izvoljene člane organov JUVAK-a podajamo v priloženi preglednici.
Zaslužnim vakuumistom indolgoletnim sodelavcem JUVAK-a, ki so bili imenovani za častne člane na predhodni skupščini v Beogradu 1.1986 (prof. Brana Perovič, Rajko Stojanovič, dipl. ing.. Zoran Sternberg, dipl. ing. in pokojni prof. dr. Evgen Kansky), so bile podeljene umetniško izdelane diplome. Novi častni člani so letos postali: dr. Branka Čobič in prot.dr. Milan Kurepa (DVT Srbije) in prof .dr. Jože
□
□
□
□
Gasperič (DVT Slovenije). Njihove življenjepise, povzete iz predlogov za imenovanje, podajamo skrajšane na koncu teksta. JUVAK je doslej skupno imenoval 9 častnih članov.
□	Izvoljeni so bili tudi delegati Jugoslavije za generalno skupščino lUVSTA v Haagu 1.1992: A. Zalar, M. Jenko in H. Zore.
n Sklenjeno je bilo, da bo 12. jugoslovanski vakuumski kongres organiziralo DVT Hrvatske leta 1993.
□	Kot nadaljevanje skupščine je potekala v okviru kongresa organizirana okrogla miza z naslovom: Problematika proizvodnje in uporabe vakuumske opreme v Jugoslaviji. Udeležilo se je je okrog 40 vakuumistov in vodstvenih delavcev iz industrije in inštitutov. Zanimiv pogovor, ki gaje vodil V. Vardjan, je osvetlil mnoge aspekte ponudbe in povpraševanja po vakuumskih napravah. Po mnenju večine je marketinški pristop osnova za razširitev ekonomskega trgovanja in proizvodnje na našem strokovnem področju.
Kratka predstavitev novih častnih članov JUVAK
Prof.dr. Jože Gasperič se je rodil 1932 v Ljubljani. Na Fakulteti za elektrotehniko je diplomiral leta 1958, ma-gistrirai 1964, doktoriral pa 1972 in sicer s področja mikroelektronike. Zaposlen je bil do 1986 na lEVT v Ljubljani, v letih 86-87 je prevzel mesto gostujočega predavatelja na univerzi v Tirupatiju in gostujočega znanstvenika na Indian Institute of Science Bangalore v Indiji. Sedaj je zaposlen na Inštitutu Jožef Stefan. Pod-
NOVI ČLANI ODBOROV JUVAK-a Izvoljeni na 4. Skupščini 18.4.1990 v Gozd ftflartuljku za obdobje 1990-1993			
	Srbija	Hrvatska	Slovenija
IG Predsednik Podpredsednik Organizac.sekretar Financ.sekretar Člani	T. Nenadovič N. Popovič B. Cekič B, Perovič	R. Stojanovič H. Zore V. Vudrag M. Milun	M, Jenko A. Zalar A. Pregelj M. Kern A. Banovec J. Gasperič
Nadzorni odbor	D. Peruško	J. Rukavina	L. Koller
Disciplinski odbor	Ž. Bogdanov	T. Čordašič	B.Jenko
Komisija za izobraževanje in strokovne probleme	M. Kurepa	Z. Sternberg	A, Zalar
Komisija za uporabo in vzdrževanje vakuumske opreme	M. Milosavljevič J- Jureta Č. Milosavljevič	T- Čordašič V. Obelič R. Stojanovič	V. Rebec L. Pipan V. Vardjan
ročje njegovega znanstveno raziskovalnega delovanja je vakuumska tehnika in mikroelektronske vakuumske tehnologije. V letih 76-86 je bil na lEVT vodja raziskovalno razvojnega oddelka za omenjena področja. Prof. Gasperič je vseskozi aktivno deloval v društvih in zvezah: v DVTS, JUVAK, SMEITJ, lUVSTA in drugih. Kol predsednik JUVAK-a si je veliko prizadeval za ustanovitev novih društev za vakuumsko tehniko v BiH in Črni gori. Bil je glavni urednik knjige "Osnove vakuumske tehnike", ter mnogih Zbornikov referatov jugoslovanskih vak. kongresov. Vedno je sodeloval pri vseh oblikah izobraževanja za strokovnjake iz prakse, hkrati je v pedagoško in strokovno delo uvajal tudi mlajše sodelavce. Prejel je več nagrad ter častnih priznanj.
Prof.dr. Branka Čobič je bila rojena 1930 v Bosanskem Petrovem Seiu. Leta 1956 je diplomirala na naravoslovno matematični fakulteti iz fizikalne kemije. Doktorirala je leta 1962 s področja ionske sorpcije in ustvarjanja visokega vakuuma. Zaposlena je na Institutu B. Kidrič v Vinči, kjer študira probleme fizike in tehnike vakuuma ter procese atomskih trkov v plinih in kristalih. S tega področja je objavila blizu 90 člankov v domačih in tujih revijah ter na znanstvenih konferencah. Sodelovala je pri izdaji treh učbenikovo vakuumu. O vakuumski tehniki in tehnologijah je predavala podiplomskim študentom na univerzi ter tečajnikom v okviru Društva za vak. tehniko Srbije. V izvršnem odboru društva je opravljala mnoge funkcije. Bila je članica 1.0. JUVAK ter mednarodnega komiteja lUPAP.Za svoje delo je prejela več strokovnih in družbenih priznanj.
Prof.dr. Milan Kurepa je bil rojen 1933 v Bački Palanki. Leta 1957 je končal univerzo - smer fizikalna kemija v Beogradu, doktoriral je leta 1963; sedaj je profesor na prirodoslovno- matematični fakulteti v Beogradu in vodi Laboratorij za fiziko atomskih trkov na Institutu za fiziku v Zemunu. S tegapodročja je napisal okrog 100člankov, od katerih je polovica objavljenih v tujini. Poleg tega je sam ali z drugimi avtorji napisal štiri srednješolske in en visokošolski učbenik o fiziki, tehniki in še posebej o metrologiji vakuuma. Njegovo veliko zavzemanje za razvoj tega področja se kaže v vrsti strokovnih tečajev, ki jih je vodil v imenu DVT Srbije. V okviru Društva je sodeloval tudi pri številnih akcijah in pri popularizaciji novih tehnologij vezanih na vakuumsko tehniko. Aktiven je v zvezi JUVAK in kot priznani znanstvenik je bil in je
še tudi član mnogih drugih znanstvenih združenj. Za svoje delo je prejel več priznanj.
Nekatere pomembnejše aktivnosti JUVAK v času
od julija 1986 do 20. aprila 1990 (iz zapisnika
Skupščine JUVAK 18.4.1990)
1.)	V tem času je bilo organiziranih sedem sej izvršnega odbora JUVAK (v povprečju dve na leto), ki so bile izmenično v Ljubljani, Zagrebu in Beogradu.
2.)	Sodelovanje z lUVSTA; predstavnik JUVAK-a v lUVSTA se je udeležil vseh sej Izvršnega odbora lUVSTA in skupščine lUVSTA; sodelovali pa smo tudi v sekcijah in komitejih lUVSTA.
3.)	Organizacija 58. seje 10 lUVSTA v Portorožu, od 23.-25.9.1988
4.)	Organizacija 4. Združene vakuumske konference Jugoslavije, Avstrije in (vladžarske od 20.-23. septembra 1988, Portorož.
5.)	Skupaj z DVT Srbija organizacija posvetovanja "Ka-rakterizacija materiala", Donji fvlüanovac, 9.-12. maja 1989.
6.)	Organizacija XI. jugoslovanskega vakuumskega kongresa, Gozd Martuljek, 17.-20. aprila 1990
7.)	Izdaja Biltena JUVAK 23 (Referati o karakterizaciji materiala) in Biltena JUVAK 24 (Zbornik iz XI. jugoslovanskega vakuumskega kongresa)
8.)	Sodelovanje s SMEIT-om
9.)	Sodelovanje z Raziskovalno skupnostjo Slovenije
10.)	Sodelovanje pri organizaciji 2. Evropske vakuumske konference, ki je bila od 21 .-25. maja v Trstu
11.)	Priprave na 5. Združeno vakuumsko konferenco Avstrije, Madžarske in Jugoslavije, ki bo organizirana skupaj s 3. Evropsko vakuumsko konferenco na Dunaju od 23.-27. septembra 1991
12.)0rganizacija	4. Skupščine JUVAK, 18.4.1990, Gozd Martuljek
A. Pregelj
2. EVROPSKA VAKUUMSKA KONFERENCA
Prva evropska vakuumska konferenca je bila organizirana leta 1988 v Salfordu v Angliji kot protiutež tovrstnim konferencam v ZDA in na Japonskem. Druga evropska vakuumska konferenca (EVC-2) pa je potekala od 21. do 25. maja 1990 v Trstu skupaj zli. Italijansko vakuumsko konferenco (AIV-XI) in s sponzorstvom Med-
narodne vakuumske zveze za vakuumsko znanost, tehniko in aplikacije (lUVSTA). Predsednika konferenc sta bila dr. J, Colligon iz Anglije in dr. E. Olzi iz Italije. Ob konferenci sta tematsko pokrili področja, ki so kakorkoli v povezavi z vakuumom s tem, da je bil poudarek na EVC-2 na modernih tehnologijah, ki uporabljajo va-
kuumsko tehniko. Okrog 350 udeležencev je predstavilo preko 160 del v obliki referatov a!i postrov. Plenarni predavanji sta bili tokrat dve. Prof. C. Benvenuti iz Ženeve je imel predavanje o novih getrskih materialih, prof. C.W. Chu iz ZDA pa je predaval o visokotempera-turnih superprevodnih materialih. Jugoslovanskih udeležencev je bilo tokrat razmeroma veliko, največ iz US, lEVT in Metalurškega inštituta iz Ljubljane ter iz Beograda z Inštituta "Boris Kidrič".
Organizatorji so se posebej potrudili, da so podrobneje predstavili načrte v zvezi z novim sinhrotronom v bližini Trsta, kamor je bila organizirana tudi strokovna ekskurzija in ogled že obstoječih raziskovalnih laboratorijev. V okviru konference je bila organizirana tudi txjgata razstava, na kateri je razstavljalo preko 30 proizvajalcev in prodajalcev vakuumske opreme. Žal na razstavi ni bilo nobenega razstavljalca iz Jugoslavije, kar kaže nemoč in nezainteresiranost za vključitev na evropski trg na tem področju.
V okviru konference je bil organiziran tudi obisk Mednarodnega centra za teoretično fiziko, ki ima vse pomembnejšo vlogo za razvoj fizikalne in tudi drugih znanosti v
tem delu sveta in s svojo aktivnostjo in finančno pomočjo neposredno dviguje znanstveni in strokovni nivo na inštitutih in univerzah držav v razvoju. Vodstvo tega centra, na čelu z nobelovcem profesorjem Abdus Sala-mom, pa v zadnjem času skuša povezati tudi raziskovalne institucije v vzhodni Evropi in tudi v mediteranskem področju- Jugoslavija in še posebej Slovenija, bi se morali v te tokove vsekakor aktivno vključiti.
V tednu, ko je potekala konferenca, je bilo organiziranih tudi več drugih sej, kot na primer seja Sekcije za vakuumsko tehniko pri lUVSTA in seja organizacijskega odboraS. Evropske vakuumske konference, ki bo od 23. do 27. septembra 1991 na Dunaju, tokrat skupaj s 5. Združeno vakuumsko konferenco Avstrije, Madžarske in Jugoslavije. Organizacija te konference že teče, na jugoslovanskih vakuumistih pa je, da z obstoječo, v mnogih primerih zastarelo opremo, z znanjem in maksimalno iznajdljivostjo dosežejo nivo svojih kolegov v Evropi, ker sicer na evropskih konferencah ne bodo mogli sodelovati.
A. Zalar
Smiljanu Jeriču, dipl.ing. podeljena Kidričeva nagrada za življenjsko delo
Upravni odbor Sklada Borisa Kidriča je na predlog Komisije za podelitev nagrad za izume in izboljšave na svoji seji 27.2.1990 sprejel sklep o podelitvi nagrade za življenjsko delo na področju elektronskih sestavnih delov -Smiljanu Jeriču, dipl.ing. kemije - zaposlenemu vso delovno dobo na iEVT-u z naslednjo utemeljitvijo:
Inž. Smiljan Jerič že več kot štiri desetletja deluje na raziskavah in razvoju tehnologij za elektronske sestavne dele.
Večina tehnoloških raziskav, ki jih je Smiljan Jerič opravljal z izredno zavzetostjo, osebno skromnostjo in trdim delom, je pripeljala do novih tehnoloških znanj, ki so bila prenesena v proizvodni proces.
Področje dela Smiljana Jeriča so raziskave in razvoj tankih plasti za elektronske sestavne dele, Med njimi so glavni končni izdelki optoelektronski elementi (vakuumske fotodiode, fotopomnoževalke, infra rdeči detektorji, slikovne cevi za nočno gledanje, sončni kolektorji), diskretni pasivni elementi (ohmski upori, keramični kondenzatorji), polprevodniški aktivni elementi in integrirana vezja.
Na področju fotoelektronike je inž. Jerič razvil širok spekter elektronskih komponent, ki so bile v času razvoja na svetovni ravni. V zadnjih desetih letih pa ta ugoto-
vitev velja za razvoj sončnih kolektorjev, za infrardeče senzorje, epitaksijske plasti Si in tankoplastne kovinske upore.
Vsa dela in rezultati raziskav inž. Jeriča kažejo na njegovo široko in sistematično znanje ter sposobnost za aplikacijo in realizacijo najsodobnejših in najzahtevnejših tehnoloških procesov v vakuumski in tankoplastni tehnologiji pri razvoju in proizvodnji elektronskih sestavnih delov.
Tolikšne konkretne delovne rezultate aplikativnih raziskav na področju vakuumskih tehnologij je moč dosegali le ob najtesnejšem sodelovanju raziskovalcev različnih disciplin ter širokega spektra tehnologov. Za vzpostavljanje zdravega in vzpodbujajočega vzdušja pri takem delu je nujno potrebna visoka moralna zavest vodilnih znanstveno raziskovalnih delavcev. Na Inštitutu za elektroniko in vakuumsko tehniko je mednje v vseh obdobjih svojega delovanja brez dvoma spadal Smiljan Jerič.
Ob visokem priznanju mu vsi iskreno čestitamo in mu izrekamo željo po nadaljnjem sodelovanju tudi v statusu "aktivnega upokojenca".
Kolektiv lEVT, ožji sodelavci in uredništvo Vakuumista
NOVI PUBLIKACIJI DVTS
EVGEN KANSKY: Rast vakuumskih tankih plasti, Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije 1990, 61 St.
Knjižica, ki jo je prof.dr. E. Kansky napisal malo pred smrtjo, je prva s področja vakuumskih tankih plasti, ki je izšla pri nas. Tekst zanjo je bil prvotno napisan kot eno izmed poglavij za knjigo o tankih plasteh. Ker pa le-ta iz več razlogov ni izšla, smo se v Društvu za vakuumsko tehniko Slovenije (DVTS) odločili, da tekst prof. Kanske-ga izdamo v samostojni obliki. V ta namen je bilo originalno besedilo le malenkostno spremenjeno.
V uvodnem delu knjižice so opisani osnovni pojmi, s katerimi opisujemo vakuumske tanke plasti. Sledi podroben opis kondenzacije v idealnih in realnih okoliščinah, nastajanje klic in rasti tankih plasti- Precej pozornosti je posvečeno faznim spremembam pri kond-enzaciji in neravnotežnim stanjem. Pojavi, ki spremljajo nastajanje in rast vakuumskih tankih plasti, so opisani mikroskopsko in fenomenološko.
Knjižica je napisana na izviren način; podobne v tuji literaturi ne najdemo. Namenjena je vsem tistim raziskovalcem in tehnologom, ki se ukvarjajo z vakuumskimi tankimi plastmi. Koristen vir znanja pa bo zlasti vsem tistim mladim, ki se strokovno usmerjajo na to področje.
Cena knjižice je 80 din za člane Društva za vakuumsko tehniko Slovenije in 90 din za vse ostale. Naročite jo lahko v DVTS, Teslova 30, Ljubljana, ali po telefonu 263 461 in 267 341 (Lidija Koller, Andrej Pregelj). Prodajajo pa jo tudi v Mladinski knjigi (konzorcij).
Zbornik del XI. jugoslovanskega vakuumskega kongresa - Bilten JUVAK 24, izdalo DruStvo za vakuumsko tehniko Slovenije, 1990,600 strani, 17 X 23,5 cm, broširano
Knjiga je bila natisnjena koncem aprila 1990. Obsega 76 člankov in 6 povzetkov. Vsebinsko so razporejeni v pet poglavij in sicer:
-	vakuumski elementi, sistemi, proizvodnja in merjenje vakuuma (16 člankov + 1 povzetek)
-	vakuumske tanke plasti (24 + 3}
-	površine trdnih snovi in preiskovalne metode (13 + 1)
-	vakuumska metalurgija (16 -f 1)
-	materiali za elektroniko (7).
V Društvu za vakuumsko tehniko Slovenije je na razpolago še nekaj izvodov (po 250 din). Interesenti jih lahko dobite na istem naslovu kot zgoraj predstavljeno knjižico dr. Kanskega.
DVTS
PREGLED STANDARDOV S PODROČJA VAKUUMSKE TEHNIKE
A. Mednarodni standardi ISO (pripravlja jih tehnični odbor ISO/TC 112)
Pri zapisu vsakega standarda si sledijo: oznaka standarda (ISO- standard, ISO/DIS - predlog standarda), datum objave standarda in angleški naslov standarda.
ISO 1607-1
1980-02-00
Positive-displacement vacuum pumps; Measurement of performance characteristics; Part 1: Measurement of volume rale of flow (pumping speed)
ISO 1607-2 1989-11-00
Positive-displacement vacuum pumps; Measurement of performance characteristics; Part 2: Measurement of ultimate pressure
ISO 1608-1
1980-02-00
Vapour vacuum pumps; Measurement of performance characteristics; Part 1: Measurement of volumerate of flow (pumping speed)
ISO 1608-2
1989-12-00
Vapour vacuum pumps; Measurement of performance characteristics; Part 2: Measurement of critical backing pressure
ISO 1609
1986-03-00
Vacuumtechnology; Flange dimensions
ISO 2861-1 1974-08-00
Vacuum technology; Quick-release couplings; Dimensions;
Part 1: Clamped type
ISO 2861-2
1980-08-00
Vacuum technology; Quick-release couplings; Dimensions;
Part 2: Screwed type
ISO 3529-1
1981-12-00
Vacuum tectinology; Vocabulary; Part 1: General terms Trilingual edition
ISO 3529-2
1981-12-00
Vacuum technology; Vocabulary: Part 2: Vacuum pumps and related terms Trilingual edition
ISO 3529-3 1981-12-00
Vacuum technology; Vocabulary; Part 3: Vacuum gauges Trilingual edition
ISO 3530
1979-09-00
Vacuum technology; Mass-spectrometer-type leak detector calibration
ISO 3669
1986-02-00
Vacuum technology; Bakable flanges: Dimensions
ISO 3753
1977-07-00
Vacuum technology; Graphical symbols
ISO/DIS9803
1990-05-00
Vacuum technology; Pipeline fittings; Mounting dimensions
B. Zahodnonemški standardi in tehnična regulativa
Standardi so uvrščeni v stvarno skupino 2515 kataloga DIN.
DIN 28400 Beiblatt 1
1982-10-00
Vacuum technology; Terms and definitions; Alphabetical index
DIN 28400 Teill
1990-05-00
Vacuum technology; Terms and definitions; General terms International relationship ISO 3529-1-1981 (TC 112), NEQ
DIN 28400 Tell 2 1980-10-00
Vacuum technology; Terms and definitions; Vacuum pumps
DIN 28400 Teil 3
1980-10-00
Vacuum technology; Terms and definitions; Vacuum gauges
DIN 28400 Tell 4
1976-03-00
Vacuum technology; Terms and definitions; Vacuum coating
DIN 28400 Tell S
1981-03-00
Vacuum technology; Terms and definitions; Vacuum riryinq and lyophilisation
DIN 28400 Teil 6
1980-10-00
Vacuum technology; Terms and definitions; Surface analysis techniques
DIN 28400 Tell 7 1978-07-00
Vacuum technology; Terms and definitions; Vacuum metallurgie
DIN 28400 Teil 8 1980-10-00
Vacuum technology; Terms and definitions; Vacuum systems, components and accessories
DIN 28401 1976-11-00
Vacuum technology; Graphical symbols, summary
DIN 28402 1976-12-00
Vacuum technology: Quantities, symbols, units, summary
DIN 28403
1986-09-00
Vacuum technology; Quick release couplings; Clamped type couplings
DIN 28404
1986-10-00
Vacuum technology; Flanges; Dimensions
DIN 28410
1968-11-00
Vacuum technology; Mass Spectrometer Partial Pressure Gauges; Definitions, Characteristics, Operating Conditions
DIN 28411
1976-03-00
Vacuum technology; Acceptance specifications for mass spectrometer-type leak-detector, terms
DIN 28416
1976-03-00
Vacuum technology; Calibration of vacuum gauges within the range of 10'^ to 10"^ mbar, general method: pressure reduction by continuous flow
DIN 28417
1976-03-00
Vacuum technology; Measurement of throughput by the volumetric method at constant pressure
DIN 28418 Teil 1
1976-05-00
Vacuum technology; Standard mt'ihod for vacuum gauge calibration by direct compari5;r.ri with a reference vacuum gauge
□	med vabljenimi predavatelji je bil tudi naš rojak dr. Bogdan Zega z Inštituta "Battelle" v Ženevi
□	med predavanjem
□	odmore med predavanji so udeleženci izkoristili za strokovne diskusije, navezovanje stikov in prijateljske pogovore (Vardjan, dr. Gasperič, dr. Zalar, Drab, prof. Nenadovič)
□	kongresa so se letos prvič udeležili tudi slovenski metalurgi; sekotp je vodil prof. F. Vodopivec
□	delovno predsedstvo na 4. skupščini JUVAK, ki je potekala v drugem dnevu kongresa: Nenadovič, Jenko, Zalar in Stojanovič
. JUGOSLOVANSKI	KONSRBJ
XI YUGOSLft/VACUIM CON(»ESS
□	predsednica organizacijskega odbora kongresa dr. Monika Jenko med otvoritvenim govorom
□	kongres je pozdravil tudi direktor lEVT dr. Stane Jurca
□	uvodno predavanje je imel prof. J.H. Leck z Univerze Liverpool
□	slavnostna večerja
□	družabni program smo popestrili z izletom na blejski grad; za skupinski posnetek nam je posijalo tudi sonce
DIN 28418 Teil 2
1978-09-00
Vacuum technology; Standard method for vacuum gauge calibration by direct comparison with a reference vacuum gauge, ionization vacuum gauge
DIN 28418 Tell 3 1980-08-00
Vacuum technology; Standard method for vacuum gauge calibration by direct comparison with a reference vacuum gauge, thermal conductivity gauges
DIN 28426 TelM 1983-08-00
Vacuum technology; Acceptance specifications for rotary plunger vacuum pumps, sliding vane rotary vacuum pumps and rotary piston vacuum pumps lor the ranges of rough and medium vacuum
DIN 28426 Tell 2
1976-03-00
Vacuum technologh; Acceptance specifications for roots vacuum pumps for the range of medium vacuum
DIN 28427
1983-02-00
Vacuum technology; Acceptance specifications for diffusions pumps and vapour jet vacuum pumps for vapour pressures of the pump fluid 1 mbar
DIN 28428 1978-11-00
Vacuum technology; Acceptance specifications for turbo molecular pumps
DIN 28429
1985-08-00
Vacuumtechnology; Acceptance specifications for sputter ion pumps
DIN 28430
1984-11-00
Vacuum technology; Rules for the measurement of steam jet vacuum pumps and steam jet compressors using steam as the working fluid
DIN 28431
1987-01-00
Vacuum technology; Acceptance specifications for liquid ring vacuum pumps
VGB R 126 L
1986-00-00
Recommendation for the design and operation of vacuum pumps for steam turbine condensers
Zbral in uredii: M. Žaucar CJK Ljubljana

OBCNI ZBOR DVT SLOVENIJE
Redni občni zbor Dmštva za vakuumsko tehniko Slovenije bo v sredo 19. decembra 1990 ob 11. url v knjižnici Inštituta za elektroniko in vakuumsko tehniko, Ljubljana, Teslova 30.
DNEVNI RED
1.	Otvoritev občnega zbora
2.	Izvolitev delovnega predsedstva, kandidacijske komisije in zapisnikarja
3.	Poročilo predsednice o delu 10 DVT Slovenije v obdobju 1985 - 1990
4.	Finančno poročilo
5.	Poročilo nadzornega odbora
6.	Razprava o poročilih
7.	Razrešnica dosedanjemu izvršnemu odboru
8.	Volitve novega predsednika, članov izvršilnega in nadzornega odbora ter tovariškega razsodišča
9.	Razno
Predstavitev in ogled lEVT Predstavitev Ml in ogled vakuumskih naprav
Člani Društva za vakuumsko tehniko Slovenije vljudno vabljeni
KOLEDAR
1990
1. ■ 4. OKTOBER 1990:11. evropska konferenca o znanosti površin (ECOSS -11), Salamanca, Španija. Informacije: Jose L. de Segovia, Lab. de Fisica de Superficies, Inst, de Cienica de Materiales, Serrano 144, E -_28006 Madrid (Spain)_
1.-5. OKTOBER 1990:5. simpozije fiziki površin, Libilice, Češkoslovaška. Informacije: Jan Koukal, Inst, of _Physics, ČSSR Acad. Sei., Na Slovance, CS - 180 40 Praha 89, ČSSR_
1.-5. OKTOBER 1990:3. mednarodna konferenca o optiki tekočih kristalov, Cetraro, Italija_
I.-5.	OKTOBER 1990:37. mednarodna razstava elektronike, telekomunikacij, avtomatike, robotike, računalništva _in nukieonike___
8. • 12. OKTOBER 1990:37. nacionalni simpozij AVS (American vacuum Society): Toronto, Kanada_
14.-18. OKTOBER 1990:5. mednarodni simpozij o volframu, Budimpešta, Madžarska; informacije: Mrs. Klara _Lang, R. Eotvos Physical Society. H-1027 Budapest. Fou 68. Hungary_
16.	-19. OKTOBER 1990:7. mednarodnakonferencao mikroelektroniki, Minsk, SZ_
17.-19,	OKTOBER 1990: Simpozij o liofilizaciji in vakuumskem sušenju; prostori SITH, Berislavičeva 6, Zagreb; or-_ganizator in informacije: DVT Hrvatske, Berislavičeva 6,41000 Zagreb_
22. - 26. OKTOBER 1990: IV. tečaj O preskusih materialov z neporušitvenimi metodami: odkrivanje napak; Torino.
Instituto di Metrologia "G. Colonetti" - Strada delle Cacce 73; informacije: Calcatelli A,, tel.; 011-348-7834. _telex 212209 IMGCTO, 10135 Torino, Italija_
27. OKTOBER - 2. NOVEMBER 1990: Mednarodna konferenca pod pokroviteljstvom SPIE (The international Society for optical engineering): Fizikalne osnove materialov za moderno optoelektroniko, Eurogress Aachen, _Aachen, ZRN_
31- OKTOBER -2. NOVEMBER 1990:4. mednarodna konferenca o vakuumskem prekrivanju tkanin, Reno. NV, _ZDA_
6,-10. NOVEMBER 1990; Tečaji "CEl-Europe" o proizvodnji VLSi, Como, Italija; informacije: Birgit Jacobson, PO _Box 910, S-61201 Finspong, Sweden_
6.-10, NOVEMBER 1990: Electronica 90 - mednarodna razstava sestavnih delov za elektroniko, München, ZRN
12.	• 15. NOVEMBER 1990: VISION '90. Detroit, ZDA; informacije: Society of Manufacturing Engineers. ONE SME
13.-16.	NOVEMBER 1990:6. mednarodna konferenca o kvantitativnih analizah površin (ASSD); London, Anglija; informacije: M.P. Seah, Chairman, Div. of Material Applications, National Physical Laboratory, Teddinton,
_Middlesex. TW 11. OLW, UK_
27. - 30. NOVEMBER 1990: Simpozij evropskega društva za raziskovanje materialov, Strassbourg, Francija; informacije: CRN Attention P. Siffen. E-MRS 1990 Fall Conference; B.P. 20, F- 67037 Strassbourg. Cedex, _France_____
3. - 7. DECEMBER 1990: CEl - Evrope tečaji z vsebino: Osnove plazemskega naprševanja za mikroeleklroniko; _Davos, Švica; informacije: Mrs. Tina Persson, CEl - Evrope/Elsevier, Box 910, S-61201 Finspong, Sweden
1991
II,-13.	FEBRUAR 1991: vrhunsko srečanje o mikrofiziki površin: procesi povzročeni s curki; Santa Fe, New Mexi-_CO. ZDA___
FEBRUAR 1991: Posvetovanje: Elektrotermija u metalurgiji, Ijevarstvu i toplinskoj obradi; Zagreb; organizator in in-_formacije: JUREMA. SalajevaS, pp. 398, 41000 Zagreb _
POMLAD 1991: Zasedanje tehničnega komiteja -112 mednarodne organizacije za standardizacijo ISO/TC 112 -_Vakuumske tetinologije; Moskva__
1. • 5. APRIL 1991: Simpozij o optiki, eiektfooptiki in spnmorjih. Orlando, Filadeilija. ZDA___
15. • 17. APRIL 1991: Meje tribologije, Stratford Upon Avon. Anglija_
21.	• 24. APRiL 1991: 6. evropska konferenca o MB-epitaksiji in sofodniti načinih rasti kristalov, Tampere, Finska
22.	- 26. APRIL 1991: Mednarodna konferenca o metalurških prekritjih in vakuumskih tankih piasieh (ICMCTF); _San Diego; Kalifornija, ZDA_
5.-11.	MAJ 1991:3. evropska konferenca o rastikristalov, Budimpešta, Madžarska_
6.	- 8. MAJ 1991:2. mednarodna konferenca o sodobnem načrtovanju in posebnih tehnologijah: optoelektronska in-_tegrirana vezja; Clearwater Beach, FL. ZDA_
14.-16.	MAJ 1991: 5. mednarodna razstava in kongres o senzorjih in sistemski tehnologiji: SENSOR 91, Nuremberg, ZRNJ. Informacije: ACS Organisation GmbH - von Münchhausen Strasse 29, D-3050 Wunstorf 2,
_BRD__
15.-17.	MAJ 1991: MIEL 91 - XIX. jugoslovanska konferenca o mikroelektroniki, Beograd; informacije: MIDEM, _MIEL Titova 50, 61000 Ljubljana, tel.: 061/316 886_
3. - 7. JUNIJ 1991:18- evropska konferenca o kontrolirani fuziji in plazemski fiziki. Berlin. ZRN_
10.-14. JUNIJ 1991:5. mednarodni simpozij o fiziki sevanja, Dubrovnik; informacije: A. Ljubičič, tel.; 041-434-426, _Inštitut Ruder BoškoVič, pp 1016, 41001 Zagreb_
24. - 30. JULIJ 1991:17. mednarodna konferenca o fiziki elektronskih in atomskih trkov (ICPEAC), Brisbane, Avstralija. Informacije: W.R. Newell, Dept. of Physics. Univ. College of London, Gower Street, U.K., London _WC 1E 6BT_
28. JULIJ - 2. AVGUST 1991:14. mednarodna konferenca o interakcijah atomov v trdni snovi; Salford. Manchester, _Anglija___
28. JULIJ - 8. AVGUST 1991:33- srečanje ameriške zveze fizikov v medicini (AAPM), San Francisco ZDA_
30. JULIJ - 2. AVGUST 1991: VACUUM 1991 - razstava in srečanje strokovnjakov s področja vakuumske znanosti in tehnologije - vzporedno z zgoraj omenjeno 14. mednarodno konferenco o interakcijah ICACIS 14; Sal-_ford, Anglija_
20. - 24. AVGUST 1991: Mednarodna konferenca o prehodnih strukturah in kvazikristalih; Balatonszeplak, _Madžarska; organizator: Roland Eolvos Society, Budapest_
26. - 30. AVGUST 1991:12. mednarodna konferenca o masni spektroskopiji, Amsterdam, Nizozemska. Informa-_cije: RAI Organisatie Bureau Amsterdam, Europaplein 12, NL- 1078GZ Amsterdam
27.AVGUST - 6. SEPTEMBER 1991: Diagnostika za sodobne fuzijske eksperimente, Varenna. Italija AVGUST 1991:2. mednarodna konferenca o radioaktivnih jedrskih curkih; Louvain-la-Neuve; Belgija 1- - 7. SEPTEMBER 1991: Mednarodna konferenca o magnetizmu, Edinburg, Anglija_
5.-10. SEPTEMBER 1991:12. svetovni kongres IMEKO - z naslovom "Meritve in napredek", Peking, Kitajska: in-_formacije: Chinese Society for Measurement, P.O.Box 1413, Beijing, China_
9.-12. SEPTEMBER 1991:12. evropska konferenca 0 znanosti površin, ECOSS 12; Stockholm - Uppsala, Šved-_ska: informacije: ECOSS 12 c/o CONGREX BOX 5619, S-11486 Stockholm, Sweden
17.-19. SEPTEMBER 1991: Fizika za industrijo inindusfrijaza fiziko, Krakow, Poljska_
22.	-25. SEPTEMBER 1991:5. konferenca o senzorjih in njih uporabi, Edinburgh, Anglija_
23.	- 25. SEPTEMBER 1991:3. evropska vakuumska konferenca (EVC-3) skupno s 5. združeno vakuumsko kon-
ferenco Avstrije, Madžarske in Jugoslavije, Dunaj;in1ormacije: Wolfgang Husinsky, institui 'ur Allgemeine _Physik; Technische Universität Wien, V^iedner Hauptstrasse 8-10, A-104Q Wien, Austria_
30. SEPTEMBER - 4. OKTOBER 1991: Mednarodna konferenca o ionskih izvorih; Bensheim, ZRN; informacije; Dr. _B, Wolf, GSI, Postfach 110552, 6100 Darmstadt, Germany_
14.-18. OKTOBER 1991:4. evropska konferenca O uporabi metod za analizo površin in faznih mej (ECASIA-91);
Budimpešla, Madžarska. Informacije: L.Kover, MTA ATOMKI, H-4001 Debrecen. p.f.SI, Hungary_
11.-15.	NOVEMBER 1991:38. simpozij Ameriškega vakuumskega društva; Seattle, WA, ZDA_
1992
1.-3. JUNIJ 1992: Konferenca o znanosti plazme, Tampa, Florida, ZDA; informacije: Norman L. Oleson, Univ. of _So Florida,Dept. of Phys., Tampa. FL 33620, USA_
20, - 24. JULIJ 1992:15. mednarodna konferenca o visokoenergijskih pospesevalnikih; Hamburg ZRN_
17.-21. AVGUST 1992: Mednarodni kongres o reologiji, Bruselj. Belgija_
7.-12. SEPTEMBER 1992:10. evropski kongres o elektronski mikroskopiji, Granada. Španija; informacije: Antonio _Rios. Dept. of Cell. Biol. Faculty of Sciences. Univ. of Granada. 18071 Granada. Spain_
12.-16.	OKTOBER 1992:12. mednarodni vakuumski kongres in 8. mednarodna konferenca o površinah trdnih snovi (lUVSTA), Haag, Nizozemska. Informacije: Dr.Anthony J.Van Oostrom. Philips Research Labora-
_tories, P.O.B. 80000. 5600 J.E. Eindhoven, The Netherlands_
9.-13. NOVEMBER 1992:39. Simpozij Ameriškega vakuumskega društva. Chicago, IL. ZDA_
1993
POLET11993:12. jugoslovanski vakuumski kongres; organizator DVT Hrvatske_
15. • 19. NOVEMBER 1993:40. simpozij Ameriškega vakuumskega društva, Orlando, FL. ZDA_
1994
24. - 28. NOVEMBER 1994:41. Simpozij AVS, Denver, CO, ZDA
KRATKE NOVICE IN OBVESTILA
MIEL-90
18. jugoslovansko posvetovanje o mikroelektroniki je potekalo 14. do 16. maja 1990 v Ljubljani v organizaciji MIDEM in pod pokroviteljstvom Iskrinih tovarn s lega področja, fakultet za elektrotehniko iz Ljubljane in Niša ter JAT-a.
Na konferenci je sodelovalo 81 strokovnjakov, od tega 28 iz tujine skupno s 77 deli, ki so posegali na naslednja področja: aplikacije, fizika trdne snovi, modeliranje elementov in tehnologij, hibridne in monolitne tehnologije ter preizkušanje integriranih vezij.
XXXIV. jugoslovanska konferenca ETAN-a in XI. jugoslovansko posvetovanje o modernih anorganskih materialih
Pod pokroviteljstvom Izvršnega sveta Sabora Hrvaške, Gospodarske zbornice Hrvaške in mesta Zagreba je bila
v organizaciji Jugoslovanske zveze za ETAN ter ob soorganizaciji in finančni pomoči nekaterih hrvaških podjetij, v času od 4. do 8. junija v Zagrebu organizirana XXXIV. Jugoslovanska konferenca za elektroniko, telekomunikacije. avtomatiko in nuklearno tehniko (ETAN). V okviru strokovne sekcije ETAN-a za fizikalno kemijo materialov pa je hkrati potekalo tudi XI. Jugoslovansko posvetovanje o modernih anorganskih materialih.
Konferenca in posvetovanje sta potekala v prostorih novozgrajenega dela Elektrotehnične fakultete v Zagrebu.
Delo konference se je odvijalo na plenarnih zasedanjih in po strokovnih komisijah.
Na zborovanjih strokovnih komisij je bilo predstavljeno okoli 310 znanstvenih in strokovnih referatov in štiri vabljena predavanja, na posvetu o modernih anorganskih materialih pa 43 referatov in eno vabljeno predavanje.
Po Obsegu in vsebini je ETAN ena največjih jugoslovanskih konferenc, saj zajema zelo široko področje od elektronike do jedrske tehnike in materialov. Na posvetu o modernih anorganskih materialih pa so prevladovali prispevki iz področja keramičnih materialov in tankih plasti.
Slabost konference se kaže v njeni heterogenosti, tako da je kljub velikemu številu prijavljenih udeležencev in referatov, na predavanjih v posameznih sekcijah prisotnih izredno majhno število poslušalcev.
A.B.
NOVO, NOVO
Vse uporabnike vakuumske tehnike obveščamo, da pripravljamo
Konferenca o vakuumski metalurgiji
10. mednarodna konferenca o vakuumski metalurgiji je potekala od 11.-15. junija 1990 v Pekingu (oziroma v Beijingu kot se po kitajsko reče Pekingu). Obravnavana tematika se je nanašala v glavnem na dve večji področji, ki ju predstavljamo v naslednjem odstavku:
a) Specialna taljenja
-	procesi taljenja čistih kovin in posebnih kovin (železnih, neželeznih, reaktivnih in kovin z visokim tališčem)
-	osnovni talilni procesi
-	sekundarna rafinacija in procesi tlačnega ulivanja
-	postopki pretaljevanja z izgorevajoče elektrodo (VAR, ESR, EBM, PAR, VADER itd.)
-	procesi ekstrakcije, strjevanja in ulivanja rast kristalov in amorfni materiali
TEČAJ ZA VZDRŽEVALCE VAKUUMSKE OPREME, ki bo predvidoma 15. in 16.1.1991
Na tečaju bomo obravnavali probleme, ki jih najpogosteje srečujemo v tehniki grobega in srednjega vakuuma. To so: delovanje, popravila in vzdrževanje rotacijskih črpalk; pregledno bodo podane še druge črpalke, merjenje vakuuma in odkrivanje netesnosti v vakuumskih sistemih.
Prosimo vas, da sporočite morebitne dodatne predloge, ki jih bomo poskušali upoštevati pri pripravi vsebine tečaja.
Prijave sprejemajo: Lidija Koller, Marjan Drab in Andrej Pregelj, ki dajejo tudi vse dodatne informacije, tel. (061) 267-341, telefax (061) 38 61 263- 098.
Tečaj bomo organizirali, če bo prijavljenih vsaj 20 kandidatov.
OVTS
b) Metalurške prevleke
-	prevleke za uporabo pri visokih temperaturah
-	trde prevleke
-	tribološke prevleke
-	korozijsko odporne prevleke
-	dekorativne prevleke
-	tanke plasti v mikroelektroniki
-	visokotempe rat urni superprevodniki
-	snovi za magnetno, optično oziroma za magnetoop-tično shranjevanje podatkov
-	tanke plasti za pretvorbo sončne energije
-	večplastne prevleke za senzorje in druge tehnične namene
-	metode za karakterizacijo
Vakuumsko tesen skoznik za optično vlakno
ČLANARINA
Člani Društva za vakuumsko tehniko Slovenije vsako leto izkažejo svojo pripadnost društvu tudi s plačilom članarine, ki znaša 70 din v letu 1990.
Vse, ki se čutite vakuumiste in želite prejemati naše glasilo, prosimo, da čimprej poravnate to obveznost. Letos je obnovilo svoje članstvo šele 95 vakuumistov. Pričakujemo, da boste tako storili tudi ostali.
Članarino lahko plačate osebno pri Darji Rozman, dipi. ing. na lEVT, Ljubljana, Teslova 30, ali pa jo nakažete s položnico na žiro račun DVTS pri SDK Ljubljana, št. 50101-678-52240.
Ameriška firma Newport iz Kalifornije v svojemzajetnem katalogu za I. 1990 predstavlja visokovakuumsko CF prirobnico s posebnim nastavkom v sredini, ki omogoča tesen prehod optičnega vlakna iz atmosfere v vakuumsko posodo. Prtrobnica je iz nerjavnega jekla - standardne velikosti (O 70 mm); v sredini ima nastavek podoben holandski matici. Tesnjenje med sedežem v pri-robnici in 250 [im debelim optičnim vlaknom izvaja specialno oblikovana sintetična guma. Celotna konstrukcija je taka, da ni možna poškodba vlakna; propustnost spoja je manjša od 5.10"^ mbarl/s. Kompleten proizvod vključuje prirobnico z že vstavljenim vlaknom in to dolžine 1 m z zaščitnim plaščem in standardnim konektor-jem na zunanji (atmosferski strani) ter 2 m golega vlakna na vakuumski strani.
Mednarodni simpozij o volframu
Nov emblem AVS
v času od 14. do 18. oktobra letos bo v Budimpešti potekal 5. mednarodni simpozij o volframu.
To je na svetu največji dogodek za industrijo in druge institucije, ki so kakorkoli vezane na to kovino. Organiziran je vsaka tri leta - alternativno v Ameriki, Evropi in Aziji. Na letošnjem bo predstavljena proizvodnja volfra-ma v raznih delih sveta, uporaba le kovine in tendence uporabljanja v bodoče, proizvodnja žice in novi postopki, industrija žarnic, problemi pri predelavi kovin z visokim tališčem itd.
Ameriško vakuumsko društvo (AVS) ima od januarja letos nov znak, oziroma nov LOGO, kot pravijo. Opustili so starega, pri katerem so Dile črke AVS vrisane v krog, ki je simboliziral dve magdeburški polkrogli in izmed več predlaganih izbrali prikazanega na sliki. Anketa je ponujala članom tudi možnost kombinacije znaka z enim od naslednjih napisov:
"Member Society of the American Institute of Physics"
"Vacuum: The High Technology Environment" "Vacuum: Environment for Progress", toda anketiranci so izbrali k svojemu emblemu pripis: "American Vacuum Society - Member Society of the American Institute of Physics". Novi "logo"že krasi glave vseh njihovih publikacij in dopisov.
Dvostopenjska turbomolekularna črpalka
Na Japonskem so razvili črpalko za ekstremno visok vakuum, kakršno so že dolgo pričakovali proizvajalci polprevodnikov za odčrpavanje plinov iz tehnološkega procesa. Njihova dvostopenjska turbomolekularna črpalka je magnetno vležajena, rotorja sta koaksialno nameščena, ohišje obeh je iz aluminijeve zlitine in montirano kot celota. Končni tlak, ki so ga dosegle prve tri poskusne črpalke, je bil 10"^ ^ mbar, medtem ko običajne enostopenjske turbomolekularne črpalke dosegajo le 10"''° mbar. Slika prikazuje prerez tandema turbomolekularne črpalke.
Cos »j^d
Soc O/* DI oas 3 ' ScafO'* b I □ jeü
Owe 1 et —.
HI gh voCkAjm
^fj^ij'^ ' laager I
Aocor bloass
N^ Stacor blMftft
^ Song »z-^^^RoU« « I tfCt;raToQr>ec
Coi^o I	t^e rocor
—-^odiol ol.ctro
^ A- lal « IveCi-omagnftC
		N	
			L C"
			1 iQt^l' I puAp
	1		
AfVIERICAN VACUUM SOCIETY
XXVI. jugoslovanski simpozij o elektronskih sestavnih delih in materialih - SD-90
v organizaciji strokovnega društva MIDEM iz Ljubljane je bil od 19. do 21. septembra 1990 v hotelu Radin v Radencih organiziran simpozij SD-90. Na tradicionalnem simpoziju SD se vsako leto zberejo raziskovalci, proizvajalci in uporabniki elektronskih, elektromehan-skih sestavnih delov, optoelektronike in materialov iz vse Jugoslavije. Izmenjajo si izkušenje in informacije o raziskavah in smereh razvoja v Jugoslaviji in v svetu.
Letošnji simpozij je bil posvečen materialom. Velik in intenziven odziv na to temo kaže, da so materiali osnova vsega kar počenjamo. V mikrostrukturi materialov tičijo lastnosti sestavnih delov, njihova kakovost, trajnost in zanesljivost. Obenem pa se na tem področju pojavljajo iz dneva v dan novi materiali in kompoziti, ki odpirajo neslutene možnosti.
Poleg vabljenih predavanj je bilo predstavljenih še 50 del v obliki posterjev.
Letos je bilo poleg tehnične vsebine simpozija pripravljena še študijska tema z naslovom "Logistika razvojnih projektov". Namen te študijske teme je bil pritegniti pozornost in vzpodbuditi razmišljanja udeležencev o organ(?acijsko f^konomski strani izvajanja razvojnih projektov s ciljem pridobivanja novih proizvodov.
A.B.
NOVE PUBLIKACIJE ZVEZE INŽENIRJEV IN TEHNIKOV SLOVENIJE
V okviru svojih dejavnosti je ZITS založila in izdala naslednje nove strokovne knjige:
1.	JUS KATALOG ZA LETO 1990
Katalog jugoslovanskih standardov za leto 1990 v slovenskem jeziku vsebuje pregled vseh veljavnih standardov izdanih do 31. decembra 1989. Vsebuje tudi zakonske predpise o standardizaciji, o jugoslovanskih standardih ter predpise o tehniških normativih in normah kakovosti. Cena: 800,00 din
2.	SPLOŠNI TEHNIŠKI SLOVAR
Slovar(l. in II. del) obsega 1600 strani z 20.000 gesli in več kot 200.000 izvedenkami. Slovar je najboljši pripomoček za oceno in izbiro pravilnega tehniškega izrazja, za strokovno izpopolnjevanje ter je hkrati čvrst temelj za širjenje tehniške kulture. Cena: 760,00 din
3.	OSNOVE PLINSKE TEHNIKE
Leo Knez, dipl.inž.
Publikacija obravnava osnove plinske tehnike in je zamišljena kot učna knjiga, ki bo inženirjem in tehnikom dopolnila pomanjkljivo znanje ali osvežila spomin, Knjiga (190 strani) je napisana poljudno znanstveno, zgoščeno in razumljivo. Cena: 250,00 din
Vse navedene publikacije lahko naročite na naslovu: Zveza inženirjev in tehnikov Slovenije 61000 Ljubljana Erjavčeva 15
41. Posvet o metalurgiji in kovinskih gradivih, Portorož 4. in 5. oktober 1990
Gospodarsko stanje vseh proizvajalcev kovinskih materialov v Sloveniji ni zavidljivo. Iz informacij v javnih glasilih ni jasno ali se tega vlada dovolj zaveda kljub temu, da predstavljajo ta gradiva bazo za velik segment slovenske strojne, elektro in predelovalne industrije, ki ustvarja skoraj 1/3 DP v Sloveniji, To stanje je v večji meri posledica sistemskih pogojev gospodarjenja (mnogo dražje so surovine in energija kot v zahodno evropskih državah) kot lastnih slabosti. Ocenjuje se, da proizvajalci lahko vplivajo na sedanje stanje največ v četrtin-skem deležu. Tudi sicer je iz mnogih nejasnih razlogov proizvodnja kovinskih materialov v zobeh dela parla-
mentarne vladne večine, ne glede na to, da ima trg doma in v tujini in bi bila ob enakih pogojih gospodarjenja kot npr. v ZR Nemčiji, gospodarsko uspešna. To stanje do konca leta 1989 ni imelo zaznavnega vpliva na raziskovalno in razvojno delo v stroki, zato je bil v dneh 4. in 5. oktobra t.l. organiziran v Portorožu že 41. Posvet o metalurgiji in kovinskih gradivih. Dokaj številni udeleženci so prišli iz podjetij, obeh univerz in različnih inštitutov, skupno iz 32 organizacij.
V programu posveta je bilo 34 govornih in 62 posterskih prispevkov ter obravnava načrta raziskovalnega dela za leto 1991- Govorni prispevki so bili razdeljeni v štiri skupine: splošna tematika s težiščem na obravnavi razvojnih in energetskih problemov, proizvodnje kovinskih materialov, predstavitev del mladih raziskovalcev (8 prispevkov), ekologija (8 prispevkov), novi materiali (7 prispevkov) in novi postopki in tehnologije (4 prispevki).
Posterski prispevki so bili urejeni po vsebini in ciljih programov, ki so bili v letu 1989 finansirani iz proračunskih sredstev.
Posvet je pokazal, da raziskovalno in razvojno delo na področjih proizvodnje in uporabe kovinskih materialov napreduje po kakovosti, po obsegu in po relevantnosti za slovensko okolje in tudi po odmevnosti v tujini navkljub gospodarskim težavam stroke. Posebno priznanje je doživel organiziran in kakovosten nastop mladih raziskovalcev in ekološki prispevki, ki so predstavili uspehe in probleme tega dela aktivnosti in industrijske ukrepe za izboljšanje okolja.
Načrt raziskovalnega dela za leto 1991 so predstavili vodje projektov in programov oziroma sklopov. Sprejet je bil s priporočilom, naj se pri uresničenju da prednost temam, ki bodo hitreje pripeljale do izboljšanja gospodarnosti proizvodnje kovinskih gradiv in do izboljšanja podobe te dejavnosti v javnosti s posebno zavzetostjo za zmanjšanje porabe energije in za odpravo še zadnjih direktnih ekoloških problemov. Udeleženci so priporočili raziskovalcem tudi večjo zavzetost prt usposabljanju novih raziskovalcev in pri objavljanju rezultatov svojih raziskovanj. Resna pripomba udeležencev je bila, da je trajanje posveta prekratko, da je čas 10 minut, ki je bil na voljo za govorne predstavitve in sploh za predstavitev vseh 96 prispevkov prekratek, zato bi bilo potrebno trajanje posveta podaljšati za i dan ali pa temeljito zmanjšati program dela.
Pred posvetom sta bili izdani 2 brošuri z osnovnimi informacijami o programu in vsebini dela posveta, v začetku leta 199i pa bo izdan tudi zbornik del. Prireditev posveta je materialno podprl Republiški sekretariat za raziskovalno dejavnost in tehnologijo.
F. Vodopivec
VAKUUMSKA TEHNIKA
Program proizvodnje:
Nudimo sledeče usluge:
Pavle Pezdirc,
Kočevje 31 A, 68340 Črnomelj tel. (068)52-630
-	bre/oljne vakuumske črpalke
-	eno m dvostopenjske oljno tesnjene vakuumske črpalke
-	servisni aparati za hladilno tehniko
-	vakuumski merilniki in preklopniki izdf''iava visoko vakuumskih sistemov
-	stroji za vakuumsko pakiranje proizvodov
-	leak detekcija
-	popravilo vseh vrst rotacijskih črpalk

VAKUUMSKA TEHNIKA-
KAMBIC ANTON
ZDELAVA IN SERVISIRANJE LABORATORIJSKE OPREME
68333 SEMIČ, tel. in fax (068) 56-200
tehnična informacija
OLJA ZA VAKUUMSKE ČRPALKE
SI ŽELITE DOBER VAKUUM ? BREZ TEŽAV Z DOBRIMI VAKUUMSKIMI OLJI
Na osnovi večletnih izkušenj ter potrditvi v praksi smo osvojili proizvodnjo naslednjih vakuumskih olj.
r

VAKUUM OIL K2
- najboljše olje za vse vrste rotacijskih vakuumskih črpalk
parni tlak: i x lO"* mbar pri eO^C viskoznost: 15 mm^/s pri 100°C
nadomešča uvozna olja
kol so: N62; Edwards 15; OL P3
VAKUUM OIL K3
gostejše olje, ki ga priporočamo za že iztrošene črpalke
parni tlak: 1 x 10'^ mbar pri 80°C viskoznost: 18,5 mm^/s pri 100°C
embalaža; olje dobavljamo v posodah 5,10,25 in 200 litrov
KADIFFOIL33
olje za difuzijske vakuumske črpalke
parnitlak: 1 x 10"®pri25°C
viskoznost: 254 mmvs pri 20°C
embalža: olje dobavljamo v plastenkah 1,5,10 litrov
Obenem dovolite, da vas opozorimo še na ostali
PROIZVODNI PROGRAM:
Vakuumski sušilniki, zračni sušilniki in sušilniki za lak v laboratorijski in industrijski izvedbi. Coil Coating - Hot Air Cyclus peči.
Testne komore, keramični kroglični mlini, lyolilizatorji, viskozimetri. Aparati za koncentracijo odpadnih tekočin.
Informacije in prodaja:
»BELA KRAJINA« obrtna zadruga Črnomelj
J
Ulica21. oklobra 10 Tel.:n.c. (0$8) 51-614, 51-446 fax 51-318
STROJI IN NAPRAVE ZA PAKIRANJE IN DOZIRANJE
AVTOMATSKO PLANETARNO MEŠALO APM-50
MESalO APM-50 je namenjeno za gnetenje toaSenega lesia, stepanje ja)c m smetane ler mešanje peSčerih in penasiih mas v pekarnah. slaSčičarnafi in kijhcniah Možno ga je uporaOiii za homogen iz aci|o različnih mas v obratih l^emiCne m larmacevtske industrije.
MeSalni Kotel je ogrevan z el. uporovnimi grelci s lermoslalsko regulacijo lerpperature. Z vpenjalnrmi ekscenin js kotel vpet na nosilne roiice. katere so premične po viSini in eleklfomotorno gnane
Zara2litne maseje možno uporabiti različna meSafa.ki so zelo hilro zamenljiva. Hitrost mešala je nastavljiva brezsiopenjsko (hilrost glavnega vrtenja od 20 do 100 oDraiovmm.j. Tehnološki postopek mešanja lahko poleka avlomaisko po programu, ki ne nastavljiv - hitrost vrtenja, pospeševanje, pojemanje m dvigovanje ko ha.
St'Oj je roBustne konstruköje in sodobno oblikovan, ne zahteva poset)nega vzdrževanja m ima dolgo življenjsko dobo. Vsi deli, ki pridejo v Slik z mešalno mnso, so izdelani iz plemenitega nerjavečega jekla.
STROJ ZA AVTOMATSKO DOZIRANJE IN PAKIRANJE
Pakiranje se vrii v yoseone eno» (posode), ki jih siroj sam oblikuje iz plasliCne lolije. Folija (poliester, PVC. polipropiien. polietilen ipd ) se odvija z bale Siroj v eni limji oblikuje posode. ]ih napolni 2 marmelaao, medom ipd , posode herme-lično zapre z aluminijasto folijo, jih izseka iz Iraku m odloži na transportni trau Delovanje siroja je popolnoma avtomatsko Krmiljen je z najsodobnejšimi elektronskimi elernenii, ki zagotavljajo enostavno upravljanje m zanesljivo delovanje.
Vsi deli siroja. Ki pn obratovanju prihajajo v stik s polnilno maso. so izdeiani iz plemenitega nerjavečega jekla. Komandni pult za upravljanje stroja
Enostavna konstrukcija zagotavlja veliko zanesljivost delovanja Krmiljenje je možno tudi z uporabo rnikroprocesorja
STROJ ZA PLASTIFICIRANJE
Stroj je namenjen za plastiliciranje papirja, dokumentov, načrtov slik m raznih drugih g raličnih artiklov
Piastificiranje se lahko vrši enostransko ali obojestransko Hitrosi stroja m temperatura valjev sta nastavljivi v odvisnosti od debeime m kvalitete 'oiije
max delovna šinna	800 mm
ma> debelina papiria	2 mm
debelina foiiie	0.03 do 0.25 mm
pnkiiučnamoč	4.3 kW
dimenzue stroia	117011620x900 mm
leža stroia	100 ka cca
z mogli IVOS 1	do 7.5 nvmin
STROJ ZA IZDELAVO VREČK
Stroj izdeluje vrečke za različna pakiranja m sicer iz PvC (ali papir-.PVC) cevi. ki je navita na jedro Dolžino vrečke nastavljamo poljubno, a stroj sam podaja PVC cev. režejo m enostransko van Možna je tudi izvedba z vzdol2nim varjenjem vrečke po robu. 11. izdelava vrečk iz dveh trakov Stroj je izdelan v namizni izvedbi
Sifina cevi ivretkel	100 mm
dolžin a vrečke	20 do 1000 mm
onkliucnamoč	300 W
stisnien zrak	6 bar
d imen z lie stroja	510x550x340 mm
zmoQiiivostdo	3000 kosov/h
STROJ ZA KOSOVNO PAKIRANJE
Stroj za pakiranje žličk SPZ 01 je namenjen za pakiranje ploščatih predmetov, npr. sladolednih žličk v papirne vrečke, ki jih tudi sam izdela iz dveh samolepilnih papirnatih trakov. Vrečke so medsebojno povezane, ločiti jih je možno po petforaciji.
Stroj je opremljen s škarjami, ki odrežejo skupino vrečk z žličkami Število Žličk v enem paketu (senjij je poljubno nastavljivo. Podajanje žlitk je avtomatično s pomočjo vibracijskega podajainika.
širi na v hod ne oa papina	100 mm
razmaki med žličkami	38 mm
konsini prostor v vrečki	88x28 mm
prikiiučna moč	500 W
stisnien zrak	6 bar
dimenzije stroia	1 t00ill00il300mm
Zm0Ql|iV05l	3000 koso v h
STROJ ZA PAKIRANJE LANCET
Stroj za pakiranje lancet SPL 01 je namenjen kosovnemu pakiranju krvnih lancet, ki se uporabljajo v medicmi. Stroj pakira lancete posamično m sicer po dve istočasno v papirne vrečke, ki so med seboj povezane v serije po deset kosov Posamične vrečke z Ze vpakirano lanceio so ločene s perlora-cijo Vse operacije. Kot je podajanje! an cei. izdelava papirnih vrečk, rezanje m odlaganje v zaiogovnik, so avtomatske
širinavhodneoapapiria	110 mm
razmak med lan četami	20 mm
koristni prostor v vrečki	45x14 mm
dimenziie stroia	1000x1000x1530 mm
prkliučna moč	700 W
zmoQliivost	5000 kosov h
LIPAR
68333 Semič - YU
telefon: (068) 56-197 telefax: (068) 56-455
VAKUUMSKE ČRPALKE VACUUM PUMPS
PLS VAC £-10 do E-400 so oljno tesnjene rotacijske vakuumske črpalke, direktno priključene na motor. Rezervoar olja, ki ima vgrajen tudi oljni filter, je pritrjen za črpalko. Enosmerni ventil je vgrajen v sesalno cev, da vzdržuje vakuum, ko se črpalka ustavi in preprečuje vstop olja v vakuumsko posodo.
The PLS VAC E-iO to E-400 are oil-sealed rotary vane vacuum pumps, directly conected on motor. The oil resen/oir with a build- in oil filter is fitted beseide the pump. A valve is incorporated in the intake port in order to maintain vacuum when the pump is stopped and prevent oil from flowing into the low pressure container
model			E-10	E-20	E-40	E-100	E 250	E400 1
e'ekiivna crpalna količina	eleciivD trough pul	m^.'h	10	20	40	100	250	400 1
konüir Hak	end pressure	moar	o.s	0.5	0,5	3	3	3 1
val(ijum	uacuutn	%	93.9	99.9	999	99.7	99,7	99.7 .
maksimalna kol olja	maximum quariiiy ol oil	1	l.i	1.7	2	3	5	15
moč moiorja	motor power	kW	0.18	0.55	1,1	33	5.5	11
št. obraiov	roiation speed	Tr.'mir	1400	1400	1400	1400	1400	1000
Aiirrna	Awide	mm	220	260	310	380	570	1060
6 višina	B height	mm	210	250	290	340	470	750
C floižina	C tefght	mm	400	530	535	820	960	1180
E-250
LIPAR
66333 Semič - Yugoslavia Telefon: (068) 5fi-197 Telefax: (068) 56^55
@
elvak
»ELVAK«
ELEKTRONIKA,
VAKUUMSKA TEHNIKA,
IZDELAVA LUMINESCENTNIH SVETIL
LUDVIK PIPAN
Cesla X/17 61260 Ljubljana-Polje Tel.: 061/484-200
Proizvodni program:
VAKUUMSKI MERILNIKI
PIRANI VAKUUMMETER - merilno področje od 10^ do 10'^ mbar z nastavljivimi točkami (po naročilu), z eno ali več mernimi sondami
PENNING VAKUUMMETER - merilno področje od 10'^ do 10'® mbar
VAKUUMSKI SUŠILNIKI
VAKUUMSKI SISTEMI PO ŽELJI KUPCA
VAKUUMSKE NAPRAVE ZA IMPREGNACIJO
IZDELAVA SVETLOBNIH NAPISOV
Popravila
•	VAKUUMSKIH MERILNIKOV
•	VAKUUMSKIH SISTEMOV IN NAPRAV
•	VAKUUMSKIH ČRPALK
•	LEAKDETEKCIJA
VAKUUMSKI SISTEMI: ročno aü računalniško krmiljeni VAKUUMSKE KOMPONENTE: črpalke, merilniki,
ventili, spojke, povezovalni in drugi elementi
IISW
INSTITUT ZA ELEKTRONIKO IN VAKUUMSKO TEHNIKO
61111 UUBLJANA. TESLOVA ULICA 30. POB 59. YUGOSLAVIA
Telefun: 061 267-341. 267-377. 263-461 Telel'nx: 061 263-098 Telc.x: 31629 YU lEVT