URN:NBN:SI:doc-ZXALXHO12008Čekada, MihaMaček, Marijandocuments/doc/Z/URN_NBN_SI_doc-ZXALXHO1_001.pdfdocuments/doc/Z/URN_NBN_SI_doc-ZXALXHO1_001.txt384articlestr. 277-2820352-90457103572URN:NBN:SI:doc-ZXALXHO1engStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCargondušikionsko nanašanjemasna spektroskopijaplazmapovršinska obdelavatitanEnergijsko ločljiva masna spektroskopija ioniziranih in nevtralnih delcev v hladni plazmiEnergy and mass spectroscopy of ions and neutrals in cold plasma