{"?xml":{"@version":"1.0"},"edm:RDF":{"@xmlns:dc":"http://purl.org/dc/elements/1.1/","@xmlns:edm":"http://www.europeana.eu/schemas/edm/","@xmlns:wgs84_pos":"http://www.w3.org/2003/01/geo/wgs84_pos","@xmlns:foaf":"http://xmlns.com/foaf/0.1/","@xmlns:rdaGr2":"http://rdvocab.info/ElementsGr2","@xmlns:oai":"http://www.openarchives.org/OAI/2.0/","@xmlns:owl":"http://www.w3.org/2002/07/owl#","@xmlns:rdf":"http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#","@xmlns:ore":"http://www.openarchives.org/ore/terms/","@xmlns:skos":"http://www.w3.org/2004/02/skos/core#","@xmlns:dcterms":"http://purl.org/dc/terms/","edm:WebResource":[{"@rdf:about":"http://www.dlib.si/stream/URN:NBN:SI:doc-ZHL86PAH/1c744c54-c3df-446e-8761-aa89d0c547d0/PDF","dcterms:extent":"440 KB"},{"@rdf:about":"http://www.dlib.si/stream/URN:NBN:SI:doc-ZHL86PAH/d9ea30db-e735-4f67-a943-cb470dd800b0/TEXT","dcterms:extent":"16 KB"}],"edm:TimeSpan":{"@rdf:about":"1985-2025","edm:begin":{"@xml:lang":"en","#text":"1985"},"edm:end":{"@xml:lang":"en","#text":"2025"}},"edm:ProvidedCHO":{"@rdf:about":"URN:NBN:SI:doc-ZHL86PAH","dcterms:isPartOf":[{"@rdf:resource":"https://www.dlib.si/details/URN:NBN:SI:spr-Z2J12Z6C"},{"@xml:lang":"sl","#text":"Informacije MIDEM"}],"dcterms:issued":"1994","dc:creator":"Praček, Borut","dc:format":[{"@xml:lang":"sl","#text":"letnik:24"},{"@xml:lang":"sl","#text":"številka:3"},{"@xml:lang":"sl","#text":"str. 187-192"}],"dc:identifier":["ISSN:0352-9045","COBISSID:17061381","URN:URN:NBN:SI:doc-ZHL86PAH"],"dc:language":"sl","dc:publisher":{"@xml:lang":"sl","#text":"Strokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale"},"dc:subject":[{"@xml:lang":"en","#text":"Electronika"},{"@xml:lang":"sl","#text":"elektronika"},{"@xml:lang":"sl","#text":"nanašanje aluminija"},{"@xml:lang":"sl","#text":"polprevodniški elementi"},{"@xml:lang":"sl","#text":"tanke plasti"},{"@xml:lang":"sl","#text":"vakuumsko naparevanje"}],"dcterms:temporal":{"@rdf:resource":"1985-2025"},"dc:title":{"@xml:lang":"sl","#text":"Karakterizacija v vakuumu naparjenih tankih plasti Al na Si rezine|"},"dc:description":{"@xml:lang":"sl","#text":"Nanašanje tankih plasti aluminija na silicijeve rezine je pomemben del polprevodniške tehnologije. V članku so podani rezultati karakterizacije tankih plasti aluminija s spektroskopijo Augerjevih elektronov v kombinaciji s C-V metodo in interferometrijo. Prikazani rezultati so dobljeni s preiskavo šestih karakterističnih vzorcev. Tanka plast aluminija je bila nanešena na tri vzorce z elektronskim curkom, na preostale tri pa z indirektnim uporovim ogrevanjem na volframski spirali. Na enem vzorcu iz obeh skupin je bila pred nanosom plasti aluminija, na silicijevih rezinah s termično oksidacijo izdelana samo tanka plast silicijevega oksida. Na drugih dveh je pred nanašanjem Al plasti z difuzijo bora izdelan np spoj ter na preostalih dveh z difuzijo fosforja pn na spoj. Debelina, kemična sestava in elektronske lastnosti tako naparjenih plasti aluminija se najbolj razlikujejo pri tistih plasteh, ki so nanesene na silicijev dioksid, zaradi redukcije tega z aluminijem. Prav tako smo ugotovili, da so Al plasti nanešene z elektronskim curkom veliko boljše v pogledu gibljivih in negibljivih nabitih delcev, katere vnašajo na silicijev dioksid"},"edm:type":"TEXT","dc:type":[{"@xml:lang":"sl","#text":"znanstveno časopisje"},{"@xml:lang":"en","#text":"journals"},{"@rdf:resource":"http://www.wikidata.org/entity/Q361785"}]},"ore:Aggregation":{"@rdf:about":"http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:doc-ZHL86PAH","edm:aggregatedCHO":{"@rdf:resource":"URN:NBN:SI:doc-ZHL86PAH"},"edm:isShownBy":{"@rdf:resource":"http://www.dlib.si/stream/URN:NBN:SI:doc-ZHL86PAH/1c744c54-c3df-446e-8761-aa89d0c547d0/PDF"},"edm:rights":{"@rdf:resource":"http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/"},"edm:provider":"Slovenian National E-content Aggregator","edm:intermediateProvider":{"@xml:lang":"en","#text":"National and University Library of Slovenia"},"edm:dataProvider":{"@xml:lang":"sl","#text":"Strokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale"},"edm:object":{"@rdf:resource":"http://www.dlib.si/streamdb/URN:NBN:SI:doc-ZHL86PAH/maxi/edm"},"edm:isShownAt":{"@rdf:resource":"http://www.dlib.si/details/URN:NBN:SI:doc-ZHL86PAH"}}}}