URN:NBN:SI:doc-ZHL86PAH1994Praček, Borutdocuments/doc/Z/URN_NBN_SI_doc-ZHL86PAH_001.pdfdocuments/doc/Z/URN_NBN_SI_doc-ZHL86PAH_001.txt243articlestr. 187-1920352-904517061381URN:NBN:SI:doc-ZHL86PAHslvStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCElectronikaelektronikananašanje aluminijapolprevodniški elementitanke plastivakuumsko naparevanjeKarakterizacija v vakuumu naparjenih tankih plasti Al na Si rezine