URN:NBN:SI:doc-Z3RU21AE2003Osredkar, Radkodocuments/doc/Z/URN_NBN_SI_doc-Z3RU21AE_001.pdfdocuments/doc/Z/URN_NBN_SI_doc-Z3RU21AE_001.txt233articlestr. 79-850352-90454307796URN:NBN:SI:doc-Z3RU21AEslvStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCfotolitografijaFourierova transformacijaoptikapreslikaveuklonvalovanjeBasics of optical imaging theory applied to the photolithographis process simulationOsnove teorije optičnih preslikav, prirejene za potrebe simulacij fotolitografskega procesa