URN:NBN:SI:doc-Y1KWADG41993Kveder, MihaMozetič, MiranPaulin, AlojzPregelj, Andrejdocuments/doc/Y/URN_NBN_SI_doc-Y1KWADG4_001.pdfdocuments/doc/Y/URN_NBN_SI_doc-Y1KWADG4_001.txt223articlestr. 112-1160352-90452786URN:NBN:SI:doc-Y1KWADG4engStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCfizika plazmegeneriranje plazmeplazmasondetehnologija plazmevodikova plazma