15 KB1491 KB13 KB198120222000Nemanič, VincencZajec, Bojanletnik:203 straništevilka:3/4str. 12-14ISSN:0351-9716COBISSID:15668775URN:URN:NBN:SI:doc-WLXHA8G4slDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistionizacijamerilnikirazplinjevanjetlakvisoki vakuumVpliv vakuumskega merilnika na tlak in sestavo preostale atmosfere|The ultimate pressure in avacuum vessel is defined as a quotient between the total autgassing rate and pumping speed. In high vacuum and espacialli un UHV,the method for determination of outgassing rate and pumping speed becomes important since the pressure gauge may influence the result. It is well known that the hot ionization gauge may be a permanent gas source, while the processes on the cathode surface may comletely change the composition of the gas. In the paper, we show the influence of the quadrupole madd spectrometer, mounted in a well outgassed UHV vessel, upon the total pressure reading and residual gas composition. It was clearly shown that the hot cathode is the main source of gasKončni tlak v posodi je določen s kvocientom hitrosti razplinevanja stene posode in hitrostjo črpalke. Z znižanjem tlaka postaja merilna metoda, s katero določamo hitrost rayplinjevanja posode ali črpalke, vse bolj pomembna. Poznano je, da so merilniki na vročo katodo izdaten vir plinov, procesi na katodi pa lahko povsem spremenijo sestavo plina. Za zgled navajamo meritev tlaka s kvadrupolnim masnim spektrometrom v predhodno dobro razplinjeni UVV-posodi, kjer je vroča katoda glavni vir plinaTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaDruštvo za vakuumsko tehniko Slovenije