URN:NBN:SI:doc-VACFRN8T1999Chab, V.Drobnič, MatijaEvangelakis, G.A.Jagielski, JacekMozetič, MiranZalar, Antondocuments/doc/V/URN_NBN_SI_doc-VACFRN8T_001.pdfdocuments/doc/V/URN_NBN_SI_doc-VACFRN8T_001.txt293articlestr. 117-1200352-90451726036URN:NBN:SI:doc-VACFRN8TengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCimplantacijaionimikroelektronikapovršinetanke plastititanov dioksidPreparation of thin coatings of titanium compounds with ion implantationPriprava tankih prevlek titanovih spojin z ionsko implantacijo