URN:NBN:SI:doc-V9PYRP3R2001Osredkar, Radkodocuments/doc/V/URN_NBN_SI_doc-V9PYRP3R_001.pdfdocuments/doc/V/URN_NBN_SI_doc-V9PYRP3R_001.txt231articlestr. 102-1050352-90452382932URN:NBN:SI:doc-V9PYRP3RengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCintegrirana vezjamodeliranje procesovplanirizacijapolprevodnikitanke plastiA study of the limits of spin-on-glass planarization processŠtudija omejitev planarizacijske tehnike s tanko plastjo tekočega stekla (SOG)