URN:NBN:SI:doc-V9CXBHY22003Čekada, MihaDolinšek, JanezPanjan, Peterdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/urn_nbn_si_doc-v9cxbhy2.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/urn_nbn_si_doc-v9cxbhy2.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/urn_nbn_si_doc-v9cxbhy2.txt2/3236 straniarticlestr. 17-220351-9716221131008URN:NBN:SI:doc-V9CXBHY2slvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCfizika trdne snovimagnetronsko naprševanjetanke plastiMagnetronsko nanašanje volframskih tankih plasti