883 KB17 KB198520252013Cheung, RebeccaMastropaolo, EnricoSviličić, Borisštevilka:1letnik:43str. 22-26ISSN:0352-9045COBISSID:10513748URN:URN:NBN:SI:doc-UFUCV3IAenStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMcantileverfrequency tuningMEMSpiezoelectric actuationpiezoelectric sensingpiezoelektrični senzorjipiezoelektrično vzbujanjeresonatorjiresonatorsročicesilicijev karbidsilicon carbideuglaševanje frekvenceTwo-port piezoelectric silicon carbide MEMS cantilever resonator| Dvovhodni piezoelektrični MEMS resonator na ročico iz silicijevega karbida|TEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale