URN:NBN:SI:doc-UFUCV3IA2013Cheung, RebeccaMastropaolo, EnricoSviličić, Borisdocuments/doc/U/URN_NBN_SI_doc-UFUCV3IA_001.pdfdocuments/doc/U/URN_NBN_SI_doc-UFUCV3IA_001.txt143articlestr. 22-260352-904510513748URN:NBN:SI:doc-UFUCV3IAengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCcantileverfrequency tuningMEMSpiezoelectric actuationpiezoelectric sensingpiezoelektrični senzorjipiezoelektrično vzbujanjeresonatorjiresonatorsročicesilicijev karbidsilicon carbideuglaševanje frekvenceDvovhodni piezoelektrični MEMS resonator na ročico iz silicijevega karbidaTwo-port piezoelectric silicon carbide MEMS cantilever resonator