243 KB10 KB198520251999Bizjak, MartinKoller, Lidijaštevilka:2letnik:29str. 68-70ISSN:0352-9045COBISSID:21124869URN:URN:NBN:SI:doc-UCFO7LUYenStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMelektrični kontaktinikeljpasivacijaspektroskopijasrebroAES characterization of protective thin layers on the AgNiO.15 contact material after its treatment in the RF plasma| AES karakterizacija nanosov tankih zaščitnih plasti na AgNi0.15 kontaktnem materialu po obdelavi v RF plazmi|Well-known surface protection of Ag-contacts with the thin gold layer is rather expensive. We studied some cheaper types of protective layers. Thickness of the layer must be optional to avoid the corrosion effect of the surroundings and at the same time to insure sufficiently good electric conductivity between the two coated surfaces. Material that is used for the layers must be at least as good electric conductor as the ground material unless the contact characteristics deteriorate. Protection of contact surfaces is therefore a compromise between the increase of the contact stability and the deterioration of the initial contact characteristics. Three different protective lavers were depisited on the AgNiO.15 contact material. After their treatment in the radio frequency plasma they were analyzed with the Auger spectrometerZnana površinska zaščita Ag kontaktov s tankim nanosom zlata je cenovno neugodna. Študirali smo nekatere cenejše pasivacijske plasti, ki jih lahko nanesemo dovolj tanko, da preprečimo korozijski učinek okolice in hkrati ohranimo dovolj veliko električno prevodnost stika med pasiviranima površinama, ki ustreza dobremu električnemu kontaktu. Zaščitna plast na kontaktni površini poslabša kontaktne lastnosti, če ni z električno bolj ali enako prevodnega materiala kot osnovni kontaktni material. Zato pomeni uvedba pasivacije kontaktnih površin kompromis med povečanjem stabilnosti kontakta in verjetnim poslabšanjem začetnih kontaktnih lastnosti. Tri različne pasivacijske tanke plasti smo nanesli na AgNiO.15 kontaktni material. Nanose tankih plasti po obdelavi v radiofrekvenčni plazmi (RF) smo analizirali s spektrometrom Augerjevih elektronovTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale