URN:NBN:SI:doc-TSVHDED72015Možek, MatejPečar, BorutResnik, DragoVrtačnik, Danilodocuments/doc/T/URN_NBN_SI_doc-TSVHDED7_001.pdfdocuments/doc/T/URN_NBN_SI_doc-TSVHDED7_001.txt335articlestr. 4-100351-971611259220URN:NBN:SI:doc-TSVHDED7slvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCbubble tolerancečrpanje dvofaznega medijamehka litografijanumerical simulationsnumerične simulacijePDMS elastomerPDMS-elastomerpiezoelectric peristaltic micropumppiezoelektrična peristaltska mikročrpalkasoft lithography