1083 KB18 KB198520262025Ding, JianDing, YanFan, XingWang, JiayiYang, Yunchunštevilka:3letnik:55str. 167-172ISSN:0352-9045DOI:10.33180/InfMIDEM2025.303COBISSID_HOST:281493251URN:URN:NBN:SI:doc-SJR9BZRFenStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMbandpass filterinsertion lossmicro electromechanical system (MEMS)mikroelektromehanski sistem (MEMS)milimetrsko valovanjemillimeter wavepasovni filtervložna izgubaAn air-gapped cavity filter based on MEMS process for 5G millimeter wave applications| Zračni votlinski filter na MEMS osnovi za 5G aplikacije|This article presents a 5G millimeter Wave bandpass filter using air-gapped structure, which is fabricated through highprecision micro electromechanical system (MEMS) process. The grounded and open stub lines, as well as impedance transformation stub lines, which generating four transmission poles (TPs) and two transmission zeros (TZs), are proposed to achieve the design goal. Four TPs support a 24.25-27.5-GHz passband, while two TZs provide a sharp out-of-band rejection. Step-to-step design process is given to guide the 24.25-27.5-GHz bandpass filter design. The 24.25-27.5-GHz bandpass filter is fabricated and measured, which has a minimum insertion loss of 0.9dB within the passbandV članku je predstavljen pasovni filter 5G za milimetrske valove, ki uporablja strukturo z zračnimi kapami in je izdelan z visoko natančnim postopkom mikroelektromehanskega sistema (MEMS). Za dosego cilja zasnove so predlagani ozemljeni in odprti kraki ter kraki s transformacijo impedance, ki ustvarjajo štiri prenosne pole (TP) in dve prenosni ničli (TZ). Štirje TP podpirajo prepustni pas 24,25- 27,5 GHz, dva TZ pa zagotavljata zavrnitev izven frekvenčnega pasu. Podan je postopek načrtovanja 24,25-27,5-GHz prepustnega pasu. Izdelan in izmerjen je 24,25-27,5-GHz pasovni filter, ki ima najmanjšo izgubo 0,9 dB znotraj prepustnega pasuTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale