URN:NBN:SI:doc-SH90M3PP2008Čekada, MihaMozetič, MiranPanjan, PeterVesel, Alenkadocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/URN_NBN_SI_doc-SH90M3PP.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/URN_NBN_SI_doc-SH90M3PP.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/URN_NBN_SI_doc-SH90M3PP.txt1/2284 straniarticlestr. 8-110351-971621909799URN:NBN:SI:doc-SH90M3PPslvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCfuzijski reaktorjijedkanjeogljikplazmavodikOdstranjevanje amorfnih hidrogeniziranih ogljikovih tankih plasti s kisikovimi atomiRemoval of amorphous hydrogenated carbon thin films by oxygen atoms