URN:NBN:SI:doc-RCBFIILG2004Mihailović, DraganUplaznik, Markodocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/urn_nbn_si_doc-rcbfiilg.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/urn_nbn_si_doc-rcbfiilg.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/urn_nbn_si_doc-rcbfiilg.txt1/2246 straniarticlestr. 13-180351-971618438439URN:NBN:SI:doc-RCBFIILGslvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCfotolitografijananolitografijaBasics of electron nanolithographyOsnove elektronske nanolitografije