16 KB1840 KB14 KB198120222001Čekada, MihaPanjan, Peterštevilka:1letnik:214 stranistr. 17-20ISSN:0351-9716COBISSID:15965991URN:URN:NBN:SI:doc-QO5KWNIDslDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistelektronska mikroskopijaionsko jedkanjepriprava vzorcevtanke plastiPriprava tankoplastnih vzorcev za presevno elektronsko mikroskopijo| Preparation of thin samples for transmission electron microscopy|The procedure for specimen preparation for thin film analysis by transmission electron is described. In the first part the mechanical procedure (thinning) is given for classical as well as cross-section transmission electron microscopy. In the second part insight on ionic etching is given including a physical background of the parameters choiceOpisan je postopek priprave vzorcev za analizo tankih plasti s presevnim elektronskim mikroskopom. V prvem delu je opisana mehanska priprava vzorca (tanjšanje) tako za klasično kot tudi za presecno presevno elektronsko mikroskopijo. V drugem delu govorimo o ionskem jedkanju vzorcev z razlago fizikalnega ozadja izbire parametrovTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaDruštvo za vakuumsko tehniko Slovenije